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[发明专利]一种减小感压薄膜焊接应力的电容压力传感器-CN202011444346.2在审
发明人：裴晓强;成永军;孙雯君;丁栋;习振华;董猛;吴成耀;宋伊;高洁 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G01L1/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种减小感压薄膜焊接应力的电容压力传感器，通过增加了感压薄膜专用机架，并将感压薄膜与感压薄膜专用机架独立焊接，独立结构的感压薄膜机架与上下机架体接触部分少，受到机架体的热冲击及机械振动影响较小，因此消除了传统结构感压薄膜与机架之间的二次焊接应力，改善了因机械应力、温度等引起的感压薄膜与金属外壳之间的应力对测量的影响，显著减小了感压薄膜与金属外壳边缘之间产生的寄生电容，提高了电容薄膜压力计测量精度。
一种减小薄膜焊接应力电容压力传感器

[发明专利]一种SF6漏率标定无级调节装置及方法-CN202011486930.4在审
发明人：陈联;成永军;董猛;孙雯君;郭美如;张瑞年;冯天佑;王玉洁;管保国 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-16 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： G01M3/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种SF6漏率标定无级调节装置及方法。本发明通过外接SF6标准气体，采用微调阀实现配气室SF6进气压力的无级调节，由固定流导小孔和动态流量法原理实时、准确计算出产生的SF6标准漏率，能够实现宽范围SF6标准漏率的快速产生和无级调节，具有漏率调节范围宽、调节精度高、使用方便、工作可靠等优点，可以满足高压电气设备中微量SF6泄漏的精确测量和漏率标定需求，且仅需一台SF6标准漏率产生装置就能满足不同SF6漏率范围测试时的高精度漏率标定需求。
一种 sf6 标定无级调节装置方法

[发明专利]一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空计-CN202011453071.9在审
发明人：李刚;成永军;何申伟;孙雯君;习振华;裴晓强;张瑞芳;杨利;高洁 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种绝压接触式MEMS电容薄膜真空计，采用接触式结构能够使真空计的测量曲线，即真空度‑电容曲线具有分段线性的特点，解决了感压薄膜大挠度变形非线性的问题，提升了真空计的测量性能；同时，接触式结构可以防止感压薄膜在高压力作用下受到破坏，提高真空规的测量范围。
一种接触 mems 电容薄膜真空计

[发明专利]一种基于浓硼掺杂的MEMS感压薄膜的制备方法-CN202011444277.5在审
发明人：李得天;柯鑫;李刚;成永军;孙雯君;吴成耀;刘珈彤;汪宁;陈会颖 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于浓硼掺杂的MEMS感压薄膜的制备方法，通过采用浓硼掺杂技术中自停止腐蚀工艺可精准控制薄膜厚度，可制备微米级薄膜，从而提高电容测量重复性，有效保证真空计实际生产制备；同时采用硼硅玻璃去除方案，能够有效去除薄膜表面生成的硼硅玻璃，消除硼硅玻璃造成的杂生电容影响，同时，可有力保证薄膜与玻璃的后续键合工艺品质。
一种基于掺杂 mems 薄膜制备方法

[发明专利]一种红外激光光路调节的成像装置及裸眼成像系统-CN202011423918.9在审
发明人：贾文杰;成永军;习振华;孙雯君;董猛;任正宜;范栋;陈会颖;李玉成 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-08 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G02B7/105 文献下载
摘要：本发明公开了一种红外激光光路调节的成像装置及裸眼成像系统。该装置中，目标光源发出光，经长通滤波片滤除后，剩下的散射光经第一平凸透镜进行收集与汇聚，通过通光小孔投射到第二平凸透镜上，经第二平凸透镜聚焦于微型CCD摄像机上，最终在成像屏幕上得到成像光斑。该系统中，人经过裸眼观察成像光斑后，通过透镜距离调节装置调节第一平凸透镜和第二平凸透镜的间距，实现成像放大倍率的控制。
一种红外激光调节成像装置裸眼系统

[发明专利]一种MEMS电容式真空规及其制作方法-CN201811577729.X有效
发明人：李得天;孙雯君;王呈祥;成永军;郭美如;袁征难;李刚;赵澜 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种MEMS电容式真空规及其制作方法，能够实现高线性输出以及强抗过载能力。本发明的MEMS电容式真空规，第三电极上为刻有环形槽的硅片，通过环形槽形成中间岛结构，当感压薄膜即第二电极受到压力作用时，与第三电极接触，感压薄膜和第三电极之间有氮化硅层将两者隔绝开来避免了短路，第三电极的中间岛能支撑感压薄膜，能防止感压薄膜在过载情况下由于挠度太大而产生不可逆的损伤。中间岛结构能有效的保护感压薄膜，能够实现高线性输出以及强抗过载能力。可以广泛的运用在一些过程控制和工业应用领域中。
一种 mems 电容真空及其制作方法

[发明专利]一种分压力质谱计校准装置及方法-CN201711221169.X有效
发明人：李得天;孙雯君;成永军;习振华;袁征难;赵澜;董猛;郭美如 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2017-11-29 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明提供一种分压力质谱计校准装置，主要由微调阀、活塞压力计、配样室、多个高纯气瓶、电容薄膜真空计、一级进样室、二级进样室、采样室、小孔、校准室、分离规及抽气系统构成；配样室分别与活塞压力计、电容薄膜真空计相连，配样室还通过微调阀与相互并联的多个高纯气瓶相连；配样室与一级进样室之间并联多个体积互不相同的采样室，一级进样室与二级进样室之间并联多个体积互不相同的采样室，二级进样室依次串联小孔、校准室；校准室分别与待校准的分压力质谱计和分离规相连；配样室、一级进样室、二级进样室及校准室均与抽气系统相连。本发明不仅能够按照客户需求对实际需要的混合气体进行配置，而且能够保证气体在校准过程中不发生变样。
一种分压力质谱计校准装置方法

[发明专利]一种氮氢混合气体真空漏孔校准装置及方法-CN201811534398.1有效
发明人：赵澜;孙雯君;郭美如;管保国;张瑞芳;马亚芳;高洁;刘珈彤 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： G01M3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种氮氢混合气体真空漏孔校准装置，包括氢气和氮气供气系统，配气室，压力计，取气室，低真空泵，进气室，真空计，高真空泵，渗流装置，质谱计，非蒸散型吸气剂泵，校准系统，抽气系统；配气室上设置压力计；配气室分出两路，一路与取气室和进气室相连；另一路通过管路与高真空泵相连，在配气室和高真空泵之间设置氢气和氮气供气系统及低真空泵；高真空泵和进气室连接；进气室通过管路依次与渗流装置、校准系统、抽气系统相连；在进气室上分别设置压力计和真空计；在渗流装置和校准系统之间设置截止阀；氮氢混合气体真空漏孔连接在校准系统上；校准系统上设置压力计、真空计和质谱计；非蒸散型吸气剂泵连在校准系统上。
一种混合气体真空漏孔校准装置方法

[发明专利]一种便携式动态比较正压漏孔校准装置及方法-CN201810257837.2有效
发明人：张瑞芳;孙雯君;赵澜;陈联;王永军;吉康;孙健;葛瑞宏;赵海绮 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种便携式动态比较正压漏孔校准装置及方法，属于测量领域。所述装置包括十个阀门、参考正压漏孔、两个温度传感器、稳压室、毛细管、限流小孔、恒温室、待校准正压漏孔、质谱计、机械泵、分子泵、质谱分析室以及四个真空计；质谱分析室内中部设有限流小孔；机械泵和分子泵构成抽真空系统。还提供了一种基于所述装置的校准方法。通过设计恒温室，减小了不同时间参考正压漏孔与待校准正压漏孔气体累积时不同的温度对待校准正压漏孔校准可能的影响，保证校准准确度；稳压室体积小，重量低；参考正压漏孔与待校准正压漏孔累积的气体膨胀后用毛细管衰减压力，可满足分子流动态进样条件，所述装置和方法可以实现正压漏孔的现场校准。
一种便携式动态比较正压漏孔校准装置方法

[发明专利]一种基于MEMS技术的电容薄膜真空计-CN201911362566.8在审
发明人：李刚;成永军;何申伟;孙雯君;习振华;张瑞芳;杨利 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MEMS技术的电容薄膜真空计，基于MEMS技术，待测环境中气压的变化使感压薄膜产生位移，引起下基板电极与感压薄膜之间距离发生变化，从而改变了感压薄膜电极与下基板电极之间的电容值，通过测量电容值的大小即可得到待测环境的真空度，本发明能够显著降低真空计的尺寸和能耗，同时，通过根据测量需要使用不同参数的感压薄膜能够有效提高测量的灵敏度。
一种基于 mems 技术电容薄膜真空计

[发明专利]一种基于光学干涉法的真空计动态特性校准装置-CN201911368463.2在审
发明人：习振华;成永军;李亚丽;孙雯君;丁栋;裴晓强;冯天佑 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2019-12-26 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于光学干涉法的真空计动态特性校准装置，利用光学干涉法动态响应快、灵敏度高、非接触性等特点，通过激光干涉仪测量气体折射率并得到标准压力，避免了计算标准压力时因边界条件限制导致的不确定度较大问题，有效的减小了真空计动态特性校准的不确定度。
一种基于光学干涉真空计动态特性校准装置

[发明专利]一种用于环境温度下真空漏孔的校准装置及方法-CN201610794556.1有效
发明人：赵澜;冯焱;成永军;张瑞芳;孙雯君;张琦;陈联;盛学民;丁栋;董猛 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于环境温度下真空漏孔的校准装置及方法，属于测量领域。所述装置中包括主要由参考真空漏孔、参考真空漏孔温度传感器和参考真空漏孔系统阀门组成参考真空漏孔系统，主要由待校真空漏孔、待校真空漏孔温度传感器和待校真空漏孔系统阀门组成待校真空漏孔系统、主要由校准室、真空计和质谱计组成质谱分析系统和抽气系统。通过温度传感器实时测量，利用指数或线性温度修正法，将参考真空漏孔实验室温度下的漏率修正为环境温度下的漏率，避免不同温度对参考真空漏孔漏率的影响，在此基础上，在参考真空漏孔与待校真空漏孔环境温度下，采用比较法可获得多支待校真空漏孔环境温度下的漏率，提高了所述漏率的准确度和校准效率。
一种用于环境温度真空漏孔校准装置方法

[发明专利]一种双通道对称结构的微流量校准装置及方法-CN201710852210.7有效
发明人：赵澜;成永军;冯焱;陈联;孙雯君;丁栋;张瑞芳;管保国;孙冬花 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2017-09-19 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种双通道对称结构的微流量校准装置和方法，该装置由供气系统、截止阀、针阀、压力计、监测压力计、抽气系统、流量校准室、流量比较室、温度采集系统、体积补偿系统、微流量测量仪器组成，通过管路连接构建了左右两个对称布置的通道，对称通道的形状对称，几何尺寸相同。结合体积补偿系统，通过分阶段测量，将出口压力、气体类型与温度对测量的影响降到最低，实现不同出口压力下、不同气体、不同温度下的微流量测量仪器的精确校准。
一种双通道对称结构流量校准装置方法

[发明专利]一种多气体成分的真空漏孔流量测量装置及方法-CN201710805621.0有效
发明人：成永军;盛学民;黄宏;孙雯君;郭美如;张虎忠;陈联;张瑞芳;陈会颖 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2017-09-08 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： G01F1/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种多气体成分的真空漏孔流量测量装置及方法，能够获得任意组分气体标准流量，实现多气体成分的真空漏孔流量的准确测量。采用限流元件和微调阀串接的多路标准流量管路并联后和测量室组成气路，通过微调阀的多路联合调节实现标准气体流量的准确获取。本发明的多气体成分的真空漏孔流量测量方法，依据被测气体质谱图，通过微调阀的调节，获得相应的压力计与真空规测量数据，进而获得流入测量室混合的标准气体流量，实现一定流量值和一定组分比例的标准气体流量的准确提供，使得标准气体流量能够简单准确的获得，克服了现有标准流量计由于流量连续变化、更换或者并联不同结构类型漏率元器件所带来的标准气体流量的不准确的问题。
标准气体流量真空漏孔微调阀流量测量装置标准流量测量室并联多路标准流量计测量数据结构类型流量测量气体质谱限流元件准确测量组分气体串接的压力计真空规元器件漏率气路联合

[发明专利]一种外置式真空维持装置及方法-CN201811544426.8在审
发明人：成永军;冯天佑;孙雯君;陈联;赵澜;习振华;裴晓强;丁栋 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2018-12-17 - 公布日： 2019-05-31 - 主分类号： F17C1/12 文献下载
摘要：本发明提供了一种外置式真空维持装置及方法，能够实现低温容器夹层的真空获得与维持，结构简单、安装方便、工作可靠。本发明装置属于外置式真空维持装置，可以外部完成激活，避免了高温对夹层的影响，特别适用于活性气体的真空维持装置；本发明装置采用非蒸散型吸气片实现吸气，非蒸散型吸气片平衡气压低、吸气容量大、吸气速率高，能够有效抽除夹层出气并维持较高真空度；本发明的非蒸散型吸气片泵采用法兰安装，易于更换吸气片，能有效抽除低温容器夹层产生的气体。
真空维持装置吸气片夹层吸气非蒸散型外置式低温容器安装方便法兰安装高真空度活性气体平衡气压真空获得出气激活外部