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- [实用新型]电性隔离器-CN202222143752.6有效
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宋修扬;孙军旗;赵利;张军;袁海兵;孙玉群;任宏志
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北海惠科半导体科技有限公司
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2022-08-15
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2022-12-16
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H01B17/56
- 本申请提供一种电性隔离器,涉及电性隔离技术领域,其中,该电性隔离器包括:绝缘柱、围设在绝缘柱的外侧壁周围的第一防护罩和第二防护罩;第一防护罩的第一端与绝缘柱的第一端面连接,第一防护罩的第二端与绝缘柱的外侧壁之间存在间隔;第二防护罩的第一端与绝缘柱的第二端面连接,第二防护罩的第二端与绝缘柱的外侧壁之间存在间隔;第一防护罩的第二端与第二防护罩的第二端之间存在间隔,第一防护罩和第二防护罩的高度均小于绝缘柱的高度。本申请提供的技术方案能够增加电性材料的附着难度,延缓电性隔离器失去隔离效果的时间,提升设备的稳定性。
- 隔离器
- [发明专利]扩散设备-CN202211048145.X在审
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宋修扬;孙军旗;赵利;孙玉群;任宏志
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北海惠科半导体科技有限公司
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2022-08-30
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2022-11-29
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H01L21/22
- 本申请公开了一种扩散设备,包括碳化硅桨、炉管、固定支架和底座,底座的一端与炉管连接,碳化硅桨的一端与固定支架连接,另一端朝向炉管的炉口;扩散设备还包括抬升装置,抬升装置设置在底座靠近炉管的位置,且位于碳化硅桨的正下方,碳化硅桨上设置有角度传感器和计算模块;角度传感器与计算模块连接,计算模块与抬升装置连接;其中,以平行于所述底座的面为水平面,角度传感器用于记录碳化硅桨空载状态下与所述水平面之间的角度,以及碳化硅桨装载状态下与所述水平面之间的角度;计算模块用于计算碳化硅桨空载状态下和装载状态下的角度差值,并将信号传输给所述抬升装置;抬升装置将碳化硅桨抬升一预设角度,且预设角度等于角度差值。本申请能够改善由碳化硅桨装载晶圆后出现过度弯曲导致的位置误差。
- 扩散设备
- [发明专利]定位安装装置及扩散设备-CN202211021100.3在审
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宋修扬;孙军旗;赵利;孙玉群;任宏志
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北海惠科半导体科技有限公司
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2022-08-24
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2022-11-11
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B25B11/02
- 本申请公开了一种定位安装装置及扩散设备,所述定位安装装置用于定位并安装碳化硅桨,包括夹持机构和底座,所述夹持机构安装在所述底座上;所述碳化硅桨的一端与所述夹持机构连接;所述夹持机构包括控制部、传动部和夹持部,所述传动部的一端与所述夹持部连接,另一端与所述控制部活动连接,所述控制部通过所述传动部,控制所述夹持部朝所述传动部的轴向作往返运动,所述碳化硅桨的一端避让所述传动部的位置,夹设在所述夹持部与所述控制部之间;其中,所述控制部与所述夹持部相对设置,且所述夹持部与所述控制部相对的面至少部分平行。本申请能够改善在安装碳化硅桨时,由于碳化硅桨的受力不均匀导致碳化硅桨位置偏斜的问题。
- 定位安装装置扩散设备
- [实用新型]流量计检测组件和检测系统-CN202221342328.8有效
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宋修扬;孙玉群;孙军旗;赵利;任宏志
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北海惠科半导体科技有限公司
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2022-05-31
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2022-10-21
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G01R31/00
- 本申请公开了一种流量计检测组件和检测系统,所述检测组件用于检测流量计和主控板之间传输的信号,包括检测板、检测走线、第一接口、第二接口、第一连接线和第二连接线,所述检测走线设置在所述检测板内,且所述第一接口和所述第二接口通过所述检测走线连通,所述第一接口通过所述第一连接线与所述流量计连接,所述第二接口通过所述第二连接线与所述主控板连接,所述检测组件还包括多个检测点,所述检测点对应所述检测走线设置,可通过检测点直接测量流量计和主控板之间的信号值。通过上述设计,用户可直接在检测组件上的检测点上既可以获取对应的信号值,并直接判断出信号的传输是否出现问题,使得检测过程更加的简便。
- 流量计检测组件系统
- [实用新型]蒸镀锅和蒸镀设备-CN202122005244.7有效
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赵利;孙军旗;刘芳军;孙玉群;鲁艳春
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北海惠科半导体科技有限公司
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2021-08-24
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2022-04-15
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C23C14/50
- 本申请公开了一种蒸镀锅和蒸镀设备,用于对晶圆进行蒸镀,蒸镀锅包括:锅体、背面固定机构和正面固定机构;所述锅体包括锅体正面和锅体背面;所述背面固定机构包括开孔和第一固定件,所述开孔设于所述锅体,所述开孔用于放置第一晶圆,所述锅体上除所述开孔之外的区域为壳体区域,所述第一固定件设于所述壳体区域且位于所述锅体背面,所述第一固定件用于固定所述第一晶圆,并使所述第一晶圆的镀膜面的朝向与所述锅体正面的朝向相同;所述正面固定机构包括第二固定件,所述第二固定件设于所述壳体区域且位于所述锅体正面,所述第二固定件用于固定第二晶圆,并使所述第二晶圆的镀膜面的朝向与所述锅体正面的朝向相同;以提升蒸镀锅的利用率。
- 蒸镀锅设备
- [实用新型]蒸镀设备-CN202122005303.0有效
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赵利;刘芳军;孙军旗;孙玉群;鲁艳春
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北海惠科半导体科技有限公司
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2021-08-24
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2022-03-22
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C23C14/24
- 本申请实施例公开了一种蒸镀设备,包括:蒸镀腔体、蒸镀源、蒸镀锅和分流板;蒸镀源,设置在所述蒸镀腔体的底部,用于将蒸镀材料转化成气体分子蒸镀材料;至少两个所述蒸镀锅设置在所述蒸镀源的上方;以所述蒸镀源的顶面为基准面,所述分流板设置的高度,低于至少两个所述蒸镀锅的最高点的高度,高于所述基准面;其中,所述蒸镀腔体中能被至少两个所述蒸镀锅覆盖的区域为有效蒸镀区域,不能被至少两个所述蒸镀锅覆盖的区域为无效蒸镀区域;所述分流板对应所述无效蒸镀区域设置,所述分流板将所述无效蒸镀区域的气体分子蒸镀材料分流至所述有效蒸镀区域。本申请以此减少了蒸镀材料的浪费。
- 设备
- [实用新型]蒸镀设备-CN202122005493.6有效
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赵利;孙军旗;刘芳军;孙玉群;鲁艳春
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北海惠科半导体科技有限公司
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2021-08-24
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2022-01-07
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C23C14/24
- 本实用新型实施例公开了一种蒸镀设备,具有一蒸镀腔体,所述蒸镀设备包括:蒸镀源和蒸镀锅;蒸镀源,设置在所述蒸镀腔体的底部;其中,所述蒸镀源的数量设置至少两个,每个所述蒸镀源间隔排布,且每个所述蒸镀源到所述蒸镀腔体的中心线的距离相等;蒸镀锅,设置在所述蒸镀腔体的顶部,所述蒸镀锅在所述蒸镀腔体内绕所述中心线公转;其中,单个所述蒸镀源用于将蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料,所述气体分子蒸镀材料在所述蒸镀腔体中运动形成单个蒸镀区域;所有所述单个蒸镀区域构成总蒸镀区域,所述蒸镀锅对应设置在所述总蒸镀区域内。本实用新型实施例以此提高了蒸镀的效率。
- 设备
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