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- [发明专利]掩模-CN202210842559.3在审
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文英慜;金桢国;文敏浩;孙智熙;宋昇勇;李娥凛
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三星显示有限公司
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2022-07-18
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2023-02-03
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C23C14/04
- 本发明公开一种掩模。所述掩模包括:突出部,包含上表面、与所述上表面对向的下表面以及连接所述上表面和所述下表面并从所述下表面以预定的角度倾斜的侧表面,并且定义有沉积孔;周边部,包含从所述突出部的所述上表面延伸并定义与所述上表面相同的表面的第一表面以及与所述第一表面对向并与所述突出部的所述下表面具有阶梯差的第二表面,并且围绕所述突出部;以及涂覆膜,布置于所述突出部上。所述突出部包括从所述侧表面突出的突起以及从所述侧表面去除所述突出部的至少一部分而形成的槽中的至少一个,所述涂覆膜覆盖所述突起以及所述槽中的至少一个。
- 掩模
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