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- [实用新型]硅片堆叠料盒和下料系统-CN202223523291.1有效
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祁俊东;孔军军
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天合光能科技(盐城)有限公司
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2022-12-28
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2023-07-18
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H01L21/673
- 本申请提供一种硅片堆叠料盒和硅片下料系统,该硅片堆叠料盒包括:底板;硅片托盘,沿底板的厚度方向设置于底板的上方;多个挡条,沿厚度方向延伸且分布安装在底板上并围绕硅片托盘,每个挡条包括皮带及沿厚度方向相对设置的第一导向轮和第二导向轮,皮带包绕在第一导向轮和第二导向轮上;多个连接件,多个连接件分别将对应的挡条的皮带与硅片托盘连接,其中,当硅片托盘沿厚度方向上下移动时,带动皮带同步滚动。本申请的堆叠料盒通过连接件将硅片托盘与皮带连接在一起,当硅片托盘上下移动时,硅片托盘将带动位于承载部内的硅片一起移动,同时硅片托盘也会带动皮带一起滚动。硅片与皮带之间不发生相对移动,从而避免硅片边缘因摩擦而破碎。
- 硅片堆叠系统
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