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- [实用新型]一种气敏传感器-CN202120704503.2有效
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姜卫粉;张天杰;宋晓燕;高海燕;贾敏;杨晓辉;张巧丽;王玉生
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华北水利水电大学
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2021-04-07
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2021-12-17
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G01N27/12
- 本实用新型提供一种气敏传感器,用以解决现有的气敏传感器接触电阻高的问题。本实用新型的气敏传感器包括:支撑衬底,呈板状结构;绝缘隔离层,固设于支撑衬底上侧板面上;接触电极,固设于绝缘隔离层的上侧面上,成对设置且成对的两个接触电极相对布置;多孔硅层,设于绝缘隔离层上且将接触电极覆盖;接触电极连接有电极引线结构并用于将电信号导出。将接触电极设置在多孔硅层下方,先在绝缘隔离层上形成接触电极,然后设置多孔硅层,由于绝缘隔离层的性质较为稳定,在其上形成接触电极时不受温度、反应原料的限制,能够沉积更加良好的接触电极,进而使接触电极和多孔硅层形成欧姆接触,降低接触电极和多孔硅层之间的接触电阻。
- 一种传感器
- [发明专利]碳纳米管/硅巢状阵列的制备方法-CN200710054981.8无效
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李新建;姜卫粉
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郑州大学
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2007-08-16
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2008-03-26
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B82B3/00
- 本发明公开了一种碳纳米管/硅巢状阵列的制备方法,包括以下步骤:将电阻率小于3.0Ω·cm的P型单晶硅片置入高压釜,填充由浓度介于8.00~22.00mol/l的氢氟酸和0.01~0.50mol/l的硝酸铁溶液,在温度50~200℃下腐蚀10分钟~36小时,制备出衬底材料硅纳米孔柱阵列(Si-NPA);将衬底材料硅纳米孔柱阵列置入管式炉内,在保护气体气氛下升温至500~1200℃,随载气送入溶有金属有机盐的碳源溶液,原位1~60分钟生长碳纳米管,气体保护下将炉子降至室温即得到具有场发射和湿度敏感性能的碳纳米管/硅巢状阵列。开启场强为0.56V/μm,增强因子达25000,外加场强为3.1V/μm时电流密度可达6.8mA/cm2;测试频率为100Hz时,器件响应达2600%,响应时间为20s,恢复时间为10s,本发明工艺简单,重复率高。
- 纳米硅巢状阵列制备方法
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