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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种吸盘-CN202023202985.6有效
发明人：杨博光;张记晨;姚殿奎;蔡晨;冒鹏飞 -专利权人：上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请日： 2020-12-25 - 公布日： 2021-08-31 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型提供一种吸盘，包括：吸盘本体，所述吸盘本体包括吸附区域和围绕所述吸附区域的环形沉槽，所述吸附区域的直径小于待吸附基底的直径，所述环形沉槽的外径大于待吸附基底的直径，所述消光层至少覆盖所述环形沉槽的底部，且所述消光层的厚度小于所述环形沉槽的深度。本实用新型提供的所述吸盘通过环形沉槽的布置，有效地解决了因基底边缘与吸盘本体凸环重叠，光学缺陷检测分系统无法对基底边缘有效识别从而导致基底边缘不能有效对准的问题。
一种吸盘

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共 1 条

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