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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]固定温度下压印光刻方法-CN200480042984.4有效
发明人：马克·贝克;巴巴克·海达里;埃里克·博尔姆斯乔;埃里克·西安德 -专利权人： 奥布杜卡特公司
申请日： 2004-11-25 - 公布日： 2007-11-14 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种用于将图案从具有有结构的表面(11)的模板(10)转移到承载了受辐射而固化的材料表面层(14)的基板(12)的方法，包含：将所述模板和基板在压印设备中布置成相互平行，所述有结构的表面面向所述表面层；使用加热装置(20)将该模板和该基板加热到温度Tp；以及在维持所述温度Tp的同时执行步骤：将该模板压向该基板以将所述图案压印到所述层中；将所述层曝光于辐射(19)以固化该层；以及后烘焙该层。
固定温度压印光刻方法

[发明专利]用于压印工艺中的改性金属模-CN200580017305.2无效
发明人：马赛厄斯·基尔;戈兰·弗伦尼森;马克·贝克;巴巴克·海达里 -专利权人： 奥布杜卡特公司
申请日： 2005-05-27 - 公布日： 2007-08-01 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及具有抗粘特性的、包含基底金属模和抗粘层的新型金属模，所述抗粘层包含包括磷原子和烃基链的氟化烃基磷酸衍生物或氟化烃基多磷酸衍生物。所述抗粘层直接结合在所述基底金属模的表面上。所述基底金属模可为例如镍，和所述氟化烃基磷酸衍生物或所述氟化烃基多磷酸衍生物可选自膦酸、次膦酸、膦酸酯和膦酸盐、次膦酸酯和次膦酸盐，或它们各自的低聚物，从而使得所述磷原子直接偶联到所述烃基链上。
用于压印工艺中的改性金属

[发明专利]包括环烯烃共聚物的压印印模-CN200610110802.3有效
发明人：巴贝克·海达里;马克·贝克;马赛厄斯·基尔 -专利权人： 奥布杜卡特公司
申请日： 2006-06-12 - 公布日： 2007-02-21 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种在压印工艺中用两步工艺以将图案从模板(1)转印到物体(12)的方法。第一步包括将模板表面的图案与包含一种或多种环烯烃共聚物(COC)的聚合物材料接触，以产生具有与模板表面相反图案的结构表面的柔性聚合物复制件。在第二步骤，从模板解脱柔性聚合物复制件后，柔性聚合物复制件的相反图案被压入衬底上的抗蚀剂层中，以在其中压印模板表面图案的复制件。
包括烯烃共聚物压印印模

[发明专利]衬底及与该结构的制造相关的工艺-CN01811373.7有效
发明人：巴贝克·海达里 -专利权人： 奥布杜卡特公司
申请日： 2001-04-10 - 公布日： 2003-08-20 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于纳米印制光刻的一种衬底(1)，该衬底至少包括布置在衬底的一个表面上的一个第一涂层(2)和一个第二涂层(8)，所述第一涂层(2)由一种正抗蚀剂组成，而所述第二涂层(8)由一种负抗蚀剂组成。本发明还涉及与在衬底(1)上的纳米印制光刻相关的一种工艺，在第一阶段中将一个纳米尺寸的图案(3)通过模板(610)压印在第二涂层(8)中，然后，在第二阶段中，在第一阶段中暴露出的第一涂层(2)的表面上对其进行一个基本上各向同性的显影法，选择显影方法和所述第一和第二涂层所用的材料，使得第一涂层(2)的显影比第二涂层(8)的显影更快，从而在涂层中得到一个底切轮廓。
衬底结构制造相关工艺

[发明专利]有关模板的制造方法和制成的模板-CN01809984.X无效
发明人：巴贝克·海达里 -专利权人： 奥布杜卡特公司
申请日： 2001-04-10 - 公布日： 2003-08-06 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：一种模板制造的方法，优选用于纳米压印光刻，其中模板包括一个第一材料的平板(1)和布置在板上的第二材料的三维结构(6，8)，在本方法中，为了形成所述结构，所述第二材料引入加在所述板上。依照本发明，通过至少150℃的热处理，所述第二材料然后与所述第一材料的板固定，用于制造所述模板。本发明还涉及用本方法制造的模板。
有关模板制造方法制成

[发明专利]用于纹理制作的装置与方法-CN00816989.6有效
发明人：巴贝克·海达里 -专利权人： 奥布杜卡特公司
申请日： 2000-12-04 - 公布日： 2003-04-09 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：纳米尺寸纹理平板印刷术的相关装置，此装置包括一第一主部(1)，带有一第一原则上平面的表面(2a)，以及一第二主部(3)，带有第二原则上平面的表面(9a)，所述第一和第二表面彼此对置并配置得原则上彼此相对平行，二者之间具有一可调节的间隔，而所述第一和第二表面配置得分别构成一个用于一基底(5)和一模板(10)的支承，或者反之亦然。按照本发明，所述第二主部还包括一凹腔(16)，用于容放一种介质，以及用于调节所述介质压力的装置，一由一挠性膜片(9)构成的所述凹腔的壁板，其背离凹腔(6)的一面构成所述第二表面(9a)。本发明还涉及一种使用此装置的方法。
用于纹理制作装置方法

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