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[发明专利]去除2,2,3,3-四氟丙基甲基丙烯酸酯中有机盐和金属杂质的方法-CN202111630286.8有效
发明人：周浩杰;许东升;杨平原;夏正建;杨鑫楷;施军民;马潇;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C07C67/48 文献下载
摘要：本发明适用于光刻胶技术领域，提供了一种去除2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯中有机盐和金属杂质的方法，包括以下步骤：(1)将2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯粗品加入反应容器中，加入阻聚剂；(2)温度控制在50‑100℃，真空度控制在200‑2000Pa，根据不同温度出料，将低沸杂质和2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯分不同馏分进行接收；(3)将2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯馏分通过颗粒过滤器进行过滤；(4)使用纯水对2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯进行洗涤；(5)洗涤完成后，将水相导出，重复多次。本发明的方法得到的2,2,3,3‑四氟丙基甲基丙烯酸酯产品中有机盐含量大幅度降低，同时金属杂质含量单金杂可降低至1ppb以下。
去除丙基甲基丙烯酸酯有机金属杂质方法

[发明专利]丙烯酸树脂及其制备方法和应用-CN202010922491.0有效
发明人：马潇;周浩杰;杨鑫楷;夏正建;杨平原;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2020-09-04 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： C08F220/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种丙烯酸树脂及其制备方法和应用。所述丙烯酸树脂的制备方法包括如下步骤有：将丙烯酸单体、溴化亚铜、配体、引发剂和还原剂于反应溶剂中进行混合处理，后进行聚合反应；其中，所述还原剂为银单质，且所述还原剂足量。所述丙烯酸树脂制备方法以零价银单质作为温和的还原剂，可使聚合过程的一价铜离子保持恒定，使活性聚合反应过程可控，使得聚合生成丙烯酸树脂具有更低数均分子量分布，如丙烯酸树脂数均分子量分布1.2。
丙烯酸树脂及其制备方法应用

[发明专利]用于浸没式光刻胶的含氟化合物及其制备方法、光刻胶-CN202110110177.7有效
发明人：马潇;周浩杰;杨平原;夏正建;李庆伟;杨鑫楷;岳力挽;顾大公;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C07C273/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于浸没式光刻胶的含氟化合物及其制备方法，该方法包括：在反应容器中加入预备化合物、4‑二甲氨基吡啶、l‑乙基‑(3‑二甲基氨基丙基)碳二亚胺盐酸盐以及三氯甲烷，混合均匀形成反应体系；向反应体系中滴加N,N‑二甲基丙二胺，反应生成含氟化合物；其中，预备化合物的化学结构为n≧1，为整数。本发明还提供一种添加含氟化合物的浸没式光刻胶。采用本技术方案提供的制备工艺制作出的含氟化合物，添加至光刻胶中能够防止纯水中的杂质污染光刻机镜头，有效降低杂质对镜头的污染。采用本发明提供的技术方案替代现有的加疏水层的配方，具有工艺简单、生产周期短、生产效率得到提高、节约生产成本等优点。
用于浸没光刻氟化及其制备方法

[发明专利]一种ArF光刻胶中的酸敏单体的制备方法-CN202110460097.4在审
发明人：周浩杰;马潇;夏正建;陈情丽;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2021-04-27 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： C07D493/18 文献下载
摘要：本发明适用于光刻胶材料制备技术领域，提供了一种ArF光刻胶中的酸敏单体的制备方法，所述酸敏单体具体为5,5‑二甲基‑4,8‑二氧杂三环[4.2.1.03,7]壬基‑2‑甲基丙烯酸酯。本发明采用5,5‑二甲基‑4,8‑二氧杂三环[4.2.1.03,7]壬基‑2‑醇、甲基丙烯类反应物和碱性催化剂进行反应，使得本申请反应的产率大大得到提高，产率可高达90％以上。同时，本申请以沉淀和重结晶对反应液进行后处理，后处理方法简单快捷、易操作，而且污染较小，得到产物的纯度较高，其纯度可达99.99％。
一种 arf 光刻中的单体制备方法

[发明专利]一种高纯1，3-丁二醇二甲基丙烯酸酯的制备方法-CN202110095543.6在审
发明人： 夏正建;马潇;周浩杰;周浩南;陈情丽;顾大公;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2021-01-25 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C07C67/54 文献下载
摘要：本发明适用于光刻胶材料制备技术领域，提供了一种高纯1，3‑丁二醇二甲基丙烯酸酯的制备方法。所述制备方法具体包括以下步骤：将粗1，3‑丁二醇二甲基丙烯酸酯加入到分子蒸馏预热釜内150‑170℃预热1h，将分子蒸馏系统抽真空并维持在10‑50Pa进行分子蒸馏，获取重组分，重新导入预热釜，并重复3次后，经降温和调压后获得高纯1，3‑丁二醇二甲基丙烯酸酯。本发明操作温度最高仅达170℃，和传统的填料塔蒸馏相比，既可以降低能耗，又降低了设备的体积，而且操作简单，容易控制，并且分离出来的产品纯度极高，达到99.99％及以上，大大降低了生产成本。
一种高纯丁二醇二甲基丙烯酸酯制备方法

[发明专利]甲基丙烯酸六氟异丙酯及其制备方法-CN202110103526.2在审
发明人：杨平原;马潇;杨鑫楷;夏正建;李庆伟;顾大公;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-06-08 - 主分类号： C07C67/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种甲基丙烯酸六氟异丙酯的制备方法，该方法包括：将1份六氟异丙醇与1.5‑4份缚酸剂、2‑4份有机溶剂加入到反应瓶内，混合均匀；向所述反应瓶中增加阻聚剂；将2‑2.5份甲基丙烯酰氯滴加到所述反应瓶内，预设温度下进行酯化反应；反应结束后，将反应液分离纯化得到甲基丙烯酸六氟异丙酯。本发明还提供一种甲基丙烯酸六氟异丙酯。本发明中的甲基丙烯酸六氟异丙酯的制备方法，得到高纯度的甲基丙烯酸六氟异丙酯产物，经效液相色谱仪检测，产物的纯度大于99.5％，金属离子杂质在100ppb以下，满足半导体行业的质量标准。
甲基丙烯酸六氟异丙酯及其制备方法

[发明专利]一种甲基丙烯酸酯类单体及其制备方法-CN202110084005.7在审
发明人：周浩杰;马潇;夏正建;杨平原;杨鑫楷;陈情丽;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： C07D493/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种甲基丙烯酸酯类单体及其制备方法，该单体的制备方法为：将5‑二甲基‑4,8‑二氧杂三环[4.2.1.03,7]壬‑2‑醇与有机溶剂A进行均匀混合并在得到预混液中滴加高效催化剂，然后加入阻聚剂，混合均匀后滴加丙烯酸类化合物，滴加完成后升温进行酯化反应并采用强碱性水溶液对反应完成后得到的反应液中进行分液洗涤至中性，分液洗涤后加入沉淀剂并将得到的沉淀物进行过滤、烘干，得到甲基丙烯酸酯类单体的粗品；在粗品中加入有机溶剂B并进行升温搅拌溶解并将得到粗品溶液进行重结晶，然后进行烘干，得到5‑二甲基‑4,8‑二氧杂三环[4.2.1.03,7]壬‑2‑基甲基丙烯酸酯单体。通过该方法制备得到的甲基丙烯酸酯类单体不仅产量高，而且制备过程中步骤简单、污染小。
一种甲基丙烯酸酯单体及其制备方法

[发明专利]热风式喷雾干燥装置及热风喷雾干燥处理方法-CN202110102228.1在审
发明人：周浩杰;马潇;夏正建;杨鑫楷;杨平原;顾大公;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： B01D1/18 文献下载
摘要：本发明公开了热风式喷雾干燥装置及热风喷雾干燥处理方法，热风式喷雾干燥装置包括进料组件、干燥组件及收集组件；进料组件包括储液池及通过进料管与储液池进行连接的蠕动泵；干燥组件包括加热器、干燥腔体及设置于干燥腔体内的雾化喷头，加热器的物料入口通过连接管与蠕动泵相连接、加热器的物料出口通过连接管与雾化喷头相连接；出料口上设有出料口阀门；干燥腔体的外壁上还设有热风口及排风口；收集组件包括设置于干燥腔体下端的出料口及设置于出料口下侧的装料箱。上述热风式喷雾干燥装置，通过热风口输入热风加热雾化喷头喷出的雾化溶液以对雾化溶液进行固液分离；通过排风口对干燥腔体内挥发掉的液体进行排出，可使固液分离更加充分。
热风喷雾干燥装置处理方法

[发明专利]一种硫化二苯胺的提纯方法-CN202110041607.4在审
发明人：周浩杰;马潇;杨平原;杨鑫楷;夏正建;李庆伟;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2021-01-13 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： C07D279/20 文献下载
摘要：本发明适用于半导体技术领域，提供了一种硫化二苯胺的提纯方法，所述方法包括：提供第一化合物和第二化合物，将所述第一化合物溶解形成第一化合物分散液，将所述第二化合物溶解形成第二化合物分散液，其中，所述第一化合物包括硫化二苯胺粗品，所述第二化合物为螯合物，然后，向所述第一化合物分散液中加入所述第二化合物分散液，得到产品化合物，其中，所述产品化合物为硫化二苯胺纯品，所述产品化合物的纯度高于所述第一化合物的纯度。采用所述方法提纯所述硫化二苯胺粗品，降低了所述硫化二苯胺粗品中的杂质含量，进而提高了硫化二苯胺的纯度，并降低成本。
一种硫化苯胺提纯方法

[发明专利]一种丙烯酸单体洗涤釜-CN202010557616.4在审
发明人：周浩杰;马潇;杨平原;夏正建;杨鑫楷;马新龙;毛智彪;许从应 -专利权人：宁波南大光电材料有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本发明适用于洗涤釜技术领域，提供了一种丙烯酸单体洗涤釜，包括：具有洗涤腔的釜体，釜体的顶部设有一开口；釜盖，釜盖盖设于开口；搅拌杆，搅拌杆转动设置于釜盖并伸入洗涤腔内；设于搅拌杆的洗涤剂容器，洗涤剂容器设有用于容置固体洗涤剂的容纳腔，洗涤剂容器表面设有与容纳腔连通的孔结构；用于驱动搅拌杆转动的驱动装置。本发明提供的丙烯酸单体洗涤釜通过在搅拌杆上设置用于容置固体洗涤剂的洗涤剂容器，丙烯酸单体洗涤釜工作时，固体洗涤剂不会混合在丙烯酸单体中，丙烯酸单体加热洗涤完成后，固体洗涤剂可以直接从洗涤剂容器取出回收，无需另外再进行丙烯酸单体与固体洗涤剂的分离操作，整个流程操作简单，使丙烯酸单体的洗涤效率高。
一种丙烯酸单体洗涤

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