“增田义登”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]溶液处理装置和溶液处理方法-CN201880014598.6有效
发明人：小田昭昌;铃木崇夫;石泽英树;增田义登;宝木雅人;清水巧治 -专利权人：瑞环控股有限公司;松下电器产业株式会社
申请日： 2018-11-02 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： B01D3/14 文献下载
摘要：本发明的课题在于，提供即使被处理液的不挥发性成分析出也能够发挥优异的处理效率的溶液处理装置和溶液处理方法。本发明的溶液处理装置(1A)的特征在于，其具备：第1气液分离单元(10)，其将被处理液(L1)加热、使蒸气馏出并且使所保持的浓缩液的一部分出罐；第2气液分离单元(20)，其将从前述第1气液分离单元(10)出罐的浓缩液加热、使蒸气馏出并且使所保持的浓缩液的一部分出罐；以及，控制单元(30)，其控制前述第1气液分离单元(10)，以使在前述第1气液分离单元(10)中被处理液(L1)中含有的不挥发性成分不析出，前述第2气液分离单元(20)的作为将浓缩液加热的部位且与浓缩液接触的接液部位对不挥发性成分呈耐附着性。
溶液处理装置方法

[发明专利]溶剂的回收装置及溶剂的回收方法-CN200510112905.9有效
发明人：川濑泰人;青岛芳之;山内阳一;水野直宏;小田昭昌;五十岚轨雄;增田义登 -专利权人：日本瑞环株式会社;松下环境空调工程技术株式会社
申请日： 2005-10-14 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： B01D3/00 文献下载
摘要：提供一种溶剂的回收装置及溶剂的回收方法，即使不补充电子级的溶剂，也可从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中，回收高浓度的溶剂。一种溶剂的回收装置(1)，是从抗蚀剂剥离工序所排出的废液(L)中回收溶剂的装置，包括：一树脂成分除去装置(10)，除去包含于上述废液中的树脂成分；一第一蒸馏塔(20)，除去包含于废液(L)中的低沸点杂质；一第二蒸馏塔(30)，除去包含于废液(L)中的高沸点杂质；以及一溶剂储存槽(51)，对上述第一蒸馏塔(20)及上述第二蒸馏塔(30)中的一方或双方补充工业级溶剂(L7)。
溶剂回收装置方法

[发明专利]废溶剂的再生方法和装置-CN01117166.9有效
发明人：五十岚轨雄;井上恭;山口典生;增田义登;川濑泰人;青岛芳芝;小田昭昌 -专利权人：松下环境空调工程技术株式会社;日本瑞环株式会社
申请日： 2001-04-27 - 公布日： 2001-11-14 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明涉及已用于溶解保持性树脂组分或者含有在半导体或液晶基体制造时分离在基体上的保护性树脂的过程中废弃的树脂组分的使用过的溶剂的再生方法,其中包括除去树脂组分、除去挥发性杂质如水并对溶剂进行精炼的步骤。首先进行除去树脂组分的步骤。在精炼过的溶剂最终蒸发后,再生的溶剂以冷凝溶剂形态回收。还叙述了用于实施这种方法的装置。
溶剂再生方法装置