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[发明专利]观察窗密封结构及具有该密封结构的设备-CN201710054587.8有效
发明人：龚勋;杨晓东;董杰;金哲山;刘冬雪;徐成业;逄万吉;高欢;周东淇 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： E06B3/62 文献下载
摘要：本发明提供了一种观察窗密封结构及具有该观察窗密封结构的设备，所述观察窗密封结构用于安装于腔室的观察通道上，观察通道包括台阶装配面；该观察窗密封结构包括：环状的第一垫圈，第一垫圈贴紧装配于台阶装配面上；安装于第一垫圈远离腔室的一侧的观察玻璃，观察玻璃包括相对的第一表面和第二表面，第一表面面向腔室，第二表面的四周边缘与观察通道的内壁之间形成有缝隙；密封圈，密封圈容置于缝隙内，并与观察玻璃及观察通道的内壁完全接触；及，环绕观察通道的四周设置的挡块，挡块安装于腔室的壁体上，且挡块至少覆盖住缝隙，与观察玻璃的第一表面之间密封。本发明提供的观察窗密封结构安装方便，且易拆除密封圈，密封性能好。
观察窗密封结构具有设备

[发明专利]一种用于沉积装置的下极板及沉积装置-CN201610589352.4有效
发明人：杨晓东;董杰;金哲山;周东淇;张兴洋;胡毓龙;王谦;高欢;龚勋 -专利权人：京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
申请日： 2016-07-22 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供一种用于沉积装置的下极板及沉积装置，涉及显示技术领域，可提高产品品质，降低生产成本。该下极板包括第一子极板和第二子极板，第二子极板位于第一子极板的下方；第一子极板包括间隔设置的多个第一凸起，任意相邻第一凸起之间设置有第一槽孔；第二子极板包括与第一槽孔一一对应的第二凸起；第二凸起穿过第一槽孔与第一凸起的上表面齐平，且第一凸起与第二凸起的上表面拼接在一起，用于承载待沉积薄膜的基板；第二子极板还包括多个第二槽孔，第二槽孔设置在相邻第二凸起之间，用于使支撑柱穿过，以使第一子极板和第二子极板分离；其中，第一凸起和第二凸起内具有加热结构。用于显示装置制造过程中的薄膜沉积工艺。
一种用于沉积装置极板

[实用新型]一种等离子体化学气相沉积装置-CN201620173419.1有效
发明人：杨晓东;董杰;金哲山;王谦;周东淇;张兴洋;胡毓龙;龚勋;高欢 -专利权人：北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-03-07 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本实用新型涉及等离子体化学气相沉积技术领域，公开一种等离子体化学气相沉积装置，该等离子体化学气相沉积装置包括至少一个沉积工艺腔室，每一个沉积工艺腔室中设有下极板；沉积工艺腔室的侧壁对应下极板侧面的部位设有至少一个通孔；每一个沉积工艺腔室的侧壁外侧设有与上述通孔一一对应的顶杆装置，每一个顶杆装置包括：和通孔相通的波纹管，波纹管的第一端通过第一密封板密封，第二端密封安装于沉积工艺腔室的侧壁、以与通孔相连通；位于波纹管内、且一端固定安装于第一密封板的伸缩杆，伸缩杆的另一端伸入通孔内部，当波纹管折叠收缩至一定程度时，伸缩杆可穿过通孔且与下极板的侧面相抵。上述等离子体化学气相沉积装置的稼动率较高。
一种等离子体化学沉积装置

[实用新型]闸门结构及沉积装置-CN201620260829.X有效
发明人：杨晓东;董杰;金哲山;周东淇;张兴洋;胡毓龙;张新星;高欢;龚勋 -专利权人：北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2016-08-03 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种闸门结构及沉积装置，所述闸门结构包括：主体门，主体门包括第一侧板和第二侧板，第二侧板上设有密封圈；壁体，包括第一侧壁，第一侧壁上具有一闸口；能够驱动主体门在第一位置和第二位置之间移动的驱动机构；当第一侧板和第二侧板处于吸合状态时，第二侧板的第一侧面与第一侧壁之间具有第一间隙；在第一侧壁上设有第一调整件，在第一侧板上设有第二调整件；其中第一调整件和第二调整件的位置相对应，当第一侧板和第二侧板处于吸合状态时，第一调整件和第二调整件之间具有第二间隙，且第二间隙小于第一间隙。本实用新型所提供的闸门结构可以避免主体门上的密封圈与壁体发生摩擦或撞击，从而减少了密封圈磨损风险。
闸门结构沉积装置

[实用新型]镀膜设备的下极板结构及镀膜设备-CN201620191641.4有效
发明人：张兴洋;金哲山;董杰;周东淇 -专利权人：北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-03-11 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种镀膜设备的下极板结构及镀膜设备，所述下极板结构包括用于承载待镀膜基板的基板承载板；在所述基板承载板上设置有用于对待镀膜基板进行对位的对位结构，所述对位结构包括用于容置待镀膜基板，以对待镀膜基板进行对位的对位区。本实用新型提供的下极板结构能够保证玻璃每次落放在下极板的位置固定，因下极板独自能够实现对位功能，对下极板的位置要求降低，能够有效减少玻璃传送机械手的停机时间，提高整体设备稼动率。
镀膜设备极板结构

[实用新型]一种基板支撑结构及镀膜设备-CN201620161379.9有效
发明人：胡毓龙;董杰;金哲山;杨晓东;周东淇;高欢;孙志强;王婷婷 -专利权人：北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
申请日： 2016-03-02 - 公布日： 2016-07-27 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基板支撑结构及镀膜设备，涉及镀膜设备技术领域，在保证产品品质的基础上可解决现有技术中基板支撑结构使用寿命缩短的问题。该基板支撑结构包括支撑平台和固定部，支撑平台内设有凹槽和通孔，通孔内设有支撑杆，支撑杆的底端可与固定部抵靠，支撑杆的顶部设有支撑帽，支撑帽可位于凹槽内，支撑帽的上表面到支撑杆底端的距离大于支撑平台的厚度，支撑帽的下表面与凹槽的底面相对，支撑平台可上下移动，支撑帽的下表面与凹槽的底面之间设有隔垫部，隔垫部与支撑杆固定，隔垫部的硬度大于支撑帽的硬度，支撑帽的上表面到隔垫部下表面的距离等于凹槽的深度，隔垫部可使支撑帽与凹槽的内表面分离。本实用新型用于支撑基板。
一种支撑结构镀膜设备