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[发明专利]应用于真空腔内夹持机构的定位组件及定位方法-CN202210353168.5有效
发明人：禅明;黄善发;李靖;吴金马;王金;臧宇 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于真空腔内夹持机构的定位组件及定位方法，其中，定位组件包括：设于两个机械臂之间、包括机械臂固定部和机械臂抵触部的限位块，其中，所述机械臂固定部与一所述机械臂中的电机控制端固定连接，所述机械臂抵触部在两个机械臂的电机控制端靠近时，与另一所述机械臂中的电机控制端相抵触，形成限位配合；设于所述夹持机构下方可检测到托盘的位置的光电感应器；分别与所述光电感应器及用于控制两个所述机械臂旋转位置的电机相连接的控制模块。通过设置限位块和光电感应器，使得应用于真空腔内夹持机构的定位组件及定位方法具备易于实施、使用方便、准确性高、适用范围广泛的特点。
应用于空腔夹持机构定位组件方法

[发明专利]一种便于调节的blade总成结构-CN202210283946.8有效
发明人：禅明;王金;臧宇;黄善发;吴金马;李靖 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本申请公开了一种便于调节的blade总成结构，其包括上面板、下面板以及设置于上面板与下面板之间的blade，还包括第一螺钉、第二螺钉、调平螺钉以及调平弹簧，上面板底面开设有第一螺纹孔与第二螺纹孔，第一螺钉贯穿下面板与上面板连接，第二螺钉贯穿下面板与上面板连接，上面板上开设有供调平螺钉穿过的第一通孔，blade上开设有与第一通孔对应的第二通孔，调平螺钉通过第一通孔与第二通孔贯穿上面板与blade，调平弹簧套设于调平螺栓上，调平弹簧的一端与上板面抵接，另一端与blade抵接，下面板与blade之间设置有用于对blade进行位置调整的调整组件。本申请具有方便对blade的位置以及角度进行微调的效果。
一种便于调节 blade 总成结构

[实用新型]晶圆盒滑片检测装置-CN202223181505.1有效
发明人：王金;臧宇;吴金马 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-11-29 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆盒滑片检测装置，其中，晶圆盒滑片检测装置包括滑移阈值设定机构，用于设定晶圆盒中晶圆滑片的阈值标准；可移动的传感器机构，可根据所述阈值标准调节所述传感器机构沿所述晶圆盒中晶圆进出方向的晶圆检测位置。通过设置滑移阈值设定机构可使得晶圆滑片标准可控，可移动的传感器机构根据阈值标准调准其所处的晶圆检测位置，使得检测时的灵活度更高，有效适应针对不同规格的晶圆的检测。本实用新型的晶圆盒滑片检测装置具备灵活度高、使用方便、适应性好、检测精度高的特点。
晶圆盒滑片检测装置

[发明专利]磁极板安装辅助装置-CN202211253547.3在审
发明人：黄善发;臧宇;吴金马 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-10-13 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种磁极板安装辅助装置，该磁极板安装辅助装置包括磁极板安置座和永磁体限位模组，磁极板安置座包括磁极板安置腔；永磁体限位模组包括数个限位机构，各所述限位机构均包括第一固定件和第一限位件，各所述第一限位件均通过对应的所述第一固定件固定于所述磁极板安置座上，所述第一限位件与所述第一固定件活动连接，所述第一限位件可选择性地移动至所述磁极板安置腔上方并固定，以对对应的永磁体进行限位。采用该结构的磁极板安装辅助装置可通过限位机构对各永磁体进行限位，避免永磁体受磁力影响产生位移，有效协助磁极板的安装操作。该磁极板安装辅助装置具备使用方便，易于操作，有效满足单人加工磁极板的生产需求的特点。
磁极安装辅助装置

[实用新型]一种CVD设备中Loadlock传动机构-CN202221441855.4有效
发明人：禅明;吴金马;黄善发;臧宇;王金 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种CVD设备中Loadlock传动机构，涉及Loadlock传动以及控制技术领域，针对原有的丝杆和导杆传动机构在使用时，对于其采用伺服编码器的控制方式，系统传动刚度弱，存在累积误差的问题，现提出如下方案，其包括Loadlock腔体，所述Loadlock腔体的下方设置有Loadlock传动机构。该装置采用丝杆和直线导轨为一体的模组形式，整体的传动刚性更好，模块化的部件安装更方便，装配精度更易保证，相比于原有机构可靠性更高，后期的保养维护更方便；通过绝对值式的直线编码器与伺服电机组成闭环控制，可以准确检测到casstte中wafer的实际位置，控制精度更高。
一种 cvd 设备 loadlock 传动机构

[发明专利]晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法-CN202210716399.8在审
发明人：王金;臧宇;吴金马 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01V8/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法，其中，晶圆盒内晶圆分布状态检测装置包括在晶圆盒两侧设有反射式光电传感组件及反光组件的光源发生检测机构、升降机构及主控模块，令主控模块以所述反射式光电传感组件接收到的所述反射光线的状态为依据判断所述晶圆盒内各层晶圆的放置状态，从而可有效避免因晶圆倒角等原因导致的检测精准性差的问题，配合对应的检测方法可有效检测出晶圆盒内晶圆的放置状态，为后续晶圆加工步骤提供依据。该晶圆盒内晶圆分布状态检测装置及检测方法具备易于实施、测量精度高、适应性好的特点。
晶圆盒内晶圆分布状态检测装置方法

[实用新型]镀膜设备上的可调节铰链-CN202220684541.0有效
发明人：禅明;黄善发;臧宇;王金;吴金马;李靖 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： E05D3/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种镀膜设备上的可调节铰链，涉及镀膜设备的领域，其包括可与底座固定连接的连接块一、可与盖子固定连接的连接块二，连接块二上设置有连接轴，连接块二以连接轴为转轴转动连接于连接块一上，连接块一和连接块二上设置有用于固定连接块一的定位机构。本申请具有减少检查维修时盖子跌落的情况的效果。
镀膜设备调节铰链

[发明专利]PVD和CVD设备中Loadlock传动机构及其控制方法-CN202210678347.6在审
发明人：禅明;吴金马;李靖;臧宇;王金 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-06-16 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： F16H37/12 文献下载
摘要：本发明公开了PVD和CVD设备中Loadlock传动机构及其控制方法，涉及Loadlock传动以及控制技术领域，针对原有的步进电机通过同步轮连接丝杠传动结构，步进电机控制器的控制方法存在传动机构传动刚性差，传动机构定位精度和重复定位精度不准确的问题，现提出如下方案，其包括Loadlock腔体，所述Loadlock腔体的下方设置有Loadlock传动机构。本发明采用丝杆和直线导轨为一体的模组形式，整体的传动刚性更好，相比于原有机构可靠性更高；通过绝对值编码器与控制伺服电机和直线栅尺传感器随时反馈位置信号把整个传动控制做成了一个闭环，控制精度更高。
pvd cvd 设备 loadlock 传动机构及其控制方法

[实用新型]stage平台调节水平机构-CN202220684325.6有效
发明人：禅明;臧宇;王金;黄善发;吴金马;李靖 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请涉及CVD真空镀膜设备领域，尤其是涉及一种stage平台调节水平机构，包括载片台基板、载片台导柱、载片调节弹簧和载片台安装板，载片台导柱的一端与载片台安装板连接，另一端通过螺丝连接载片台基板，载片调节弹簧套设在载片台导柱上，载片调节弹簧的一端紧抵载片台安装板，另一端紧抵载片台基板，载片台导柱之间呈等腰三角形分布。本申请中由于载片台导柱之间呈等腰三角形分布，与常用的导向柱之间呈直角三角形分布相比，调节后，载片台基板的稳定性会更好。
stage 平台调节水平机构

[实用新型]一种CVD、PVD设备Blade在工艺腔的定位工具-CN202220678176.2有效
发明人：禅明;黄善发;臧宇;王金;吴金马;李靖 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本申请涉及真空镀膜的领域，具体公开了一种CVD、PVD设备Blade在工艺腔的定位工具，包括设置在PECVD真空镀膜设备上的定位工装，PECVD真空镀膜设备上设置有工艺腔，定位工装设置于所述定位腔中，定位腔中设置有托片及加热盘，加热盘上开设有第一定位孔，托片上开设有第二定位孔，定位工装包括定位盘及定位针，定位盘上开设有第三定位孔，定位针的端部与第三定位孔相配合且与第三定位孔滑移连接。本申请可提升对托片的定位精度从而保证晶圆片的成膜质量。
一种 cvd pvd 设备 blade 工艺定位工具

[实用新型]一种举升手臂与定位旋转平台同心校正工具-CN202220629531.7有效
发明人：禅明;黄善发;臧宇;吴金马;李靖;王金 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-03-21 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：本申请涉及CVD真空镀膜领域，公开了一种举升手臂与定位旋转平台同心校正工具，其包括圆板本体，圆板本体的一侧设置有圆环，圆板本体与圆环同心设置，圆环用于套设在定位旋转平台的外部，圆环的外圆用于贴合举升手臂弧形的侧壁。本申请具有减小举升手臂安装偏差的效果。
一种手臂定位旋转平台同心校正工具

[实用新型]应用于装载锁定腔内载具的定位工装-CN202220769229.1有效
发明人：禅明;黄善发;吴金马;王金;臧宇;李靖 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种应用于装载锁定腔内载具的定位工装，其中，定位工装包括上定位块、下定位块及定位针；上定位块与下定位块之间设有第一卡槽，所述下定位块中与所述载具中的晶圆盒平台相接触的一面上还开设有第二卡槽，且所述上定位块中开设有第一穿孔，所述下定位块中开设有第二穿孔，所述定位针可依次穿过所述第一穿孔、所述托盘上的开孔及所述第二穿孔进行定位验证。采用本实用新型的定位工装来辅助装载锁定腔内的载具进行定位，可有效提高定位的效率，保障定位的准确性，本实用新型的应用于装载锁定腔内载具的定位工装具备操作方便、成本较低、适应性强、可有效提高装载锁定腔内载具的定位速度的特点。
应用于装载锁定腔内载具定位工装

[实用新型]应用于真空腔内夹持机构的定位组件-CN202220769230.4有效
发明人：禅明;黄善发;李靖;吴金马;王金;臧宇 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种应用于真空腔内夹持机构的定位组件，其中，定位组件包括：设于两个机械臂之间、包括机械臂固定部和机械臂抵触部的限位块，其中，所述机械臂固定部与一所述机械臂中的电机控制端固定连接，所述机械臂抵触部在两个机械臂的电机控制端靠近时，与另一所述机械臂中的电机控制端相抵触，形成限位配合；设于所述夹持机构下方可检测到托盘的位置的光电感应器；分别与所述光电感应器及用于控制两个所述机械臂旋转位置的电机相连接的控制模块。通过设置限位块和光电感应器，使得应用于真空腔内夹持机构的定位组件具备易于实施、使用方便、准确性高、适用范围广泛的特点。
应用于空腔夹持机构定位组件

[实用新型]传感器支架及相应的传感器装置-CN202220769929.0有效
发明人：王金;禅明;黄善发;臧宇;吴金马;李靖 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： G01D11/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种传感器支架及相应的传感器装置，其中，传感器装置包括传感器及用于固定传感器的传感器支架，传感器支架包括固定支座，用于将所述传感器支架固定安装在预设固定位置；活动支座，用于与传感器固定连接；所述活动支座通过调节限位机构可调节地安装于所述固定支座上。通过设置由调节限位机构连接的固定支座与活动支座，可使得将传感器通过传感器支架安装在预设固定位置后，传感器仍然可在一定的范围内调节位置，从而降低安装的难度，节约了维护和调试时间长，并有效降低制造、安装、维护各环节的成本，其具备安装方便、适应范围广泛、适应性好、有效降低安装成本的特点。
传感器支架相应装置

[发明专利]应用于装载锁定腔内载具的定位工装及定位方法-CN202210353178.9在审
发明人：禅明;黄善发;吴金马;王金;臧宇;李靖 -专利权人：盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种应用于装载锁定腔内载具的定位工装及定位方法，其中，定位工装包括上定位块、下定位块及定位针；上定位块与下定位块之间设有第一卡槽，所述下定位块中与所述载具中的晶圆盒平台相接触的一面上还开设有第二卡槽，且所述上定位块中开设有第一穿孔，所述下定位块中开设有第二穿孔，所述定位针可依次穿过所述第一穿孔、所述托盘上的开孔及所述第二穿孔进行定位验证。采用本发明的定位工装及相应的方法来辅助装载锁定腔内的载具进行定位，可有效提高定位的效率，保障定位的准确性，本发明的应用于装载锁定腔内载具的定位工装及定位方法具备操作方便、成本较低、适应性强、可有效提高装载锁定腔内载具的定位速度的特点。
应用于装载锁定腔内载具定位工装方法

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