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- [实用新型]微轮廓测量仪-CN01265708.5无效
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蒋庄德;赵玉龙;宋康;吴祖堂
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西安交通大学
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2001-09-30
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2002-08-21
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G01B11/24
- 本实用新型公开了一种微轮廓测量仪,它包括系统工作台和立柱,它还包括设置在系统工作台上的宏动工作平台,立柱上设置有步进电机和激光感测头,宏动工作平台与精密工作台相连。本实用新型不仅可测量工件的表面粗糙度,平面度,直线度,还可测量表面微沟槽的深度,以及微台阶高度值等,且人机对话界面丰富直观,数据,图形图像处理快捷,方便,采用非接触式光学三角量测原理,适用于不透明或半透明材质,而与表面质量无关。
- 轮廓测量仪
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