专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种磁控溅射阴极-CN202210971525.4在审
  • 吴忠振;崔岁寒;马正永;吴忠灿 - 深圳元点真空装备有限公司
  • 2022-08-12 - 2023-01-17 - C23C14/35
  • 本发明公开了一种磁控溅射阴极。磁控溅射阴极,包括:靶材、冷却系统、磁铁架、磁铁、导磁板及底座。本发明磁控溅射阴极的冷却系统内设置若干个栅格,通过格栅将冷却通道分隔成若干个分流道,从入口流入的冷却液分别向各分流道进行分流,最终汇聚到出口流出。由于分流道中冷却液以层流的形式流动,且具有高导热性的栅格增大了换热面积和换热效率,有效的提高了磁控溅射阴极的热循环效率,实现了快速均匀的冷却,因此能够大幅提高磁控溅射技术的功率密度,进而显著改善等离子体离化率和薄膜沉积速率。
  • 一种磁控溅射阴极
  • [发明专利]一种阳极层离子源-CN201911081661.0有效
  • 吴忠振;余浩洋;崔岁寒;刘亮亮;吴忠灿 - 北京大学深圳研究生院
  • 2019-11-07 - 2022-10-04 - C23C14/32
  • 本发明提供一种新型阳极层离子源,包括位于轴心位置的内阴极,环绕在所述内阴极外侧的外阴极,所述内阴极和所述外阴极之间的间隙为离子束流通道;均匀排列在内阴极与外阴极之间的永磁体;位于所述内阴极和所述外阴极之间且环绕所述内阴极的阳极环,开设在所述阳极环内的通气孔,开设在所述阳极环上且连通所述通气孔的通气狭缝,所述通气狭缝朝向所述离子束流通道。通过改变离子源的通气方式,减少工作气体与阳极接触,从而降低工作气体对阳极造成污染和附着物吹出造成对沉积涂层的污染。
  • 一种阳极离子源

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