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[发明专利]中心注液式光学抛光头-CN202210388316.7在审
发明人：侯瑞;邵建达;嵇文超;顿爱欢;吴伦哲;杨扬;刘斌;吴令奇;徐学科 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种中心注液式光学抛光头，包括装置支架、驱动轴、涨紧轴和抛光轴。装置支架由高强度铝合金板拼接。驱动轴包括：驱动电机、联轴器套、联轴器、第一轴承(1对)、轴套、转轴、第一锁紧环和第一同步带轮。涨紧轴包括锁紧螺母、涨紧杆、反力块和涨紧轮。所述的抛光轴包括接头固定架、回转接头、第二轴承(1对)、抛光轴套、轴承压紧板、第二锁紧环、第二同步带轮、抛光盘、抛光海绵、抛光杆、胀套、夹头螺帽、内部液管和内部喷头。本发明适用于先进的光学镜片全自动抛光和修形，具有抛光液内部中心注液、出液均匀、定量可控的特点，在保证抛光质量的前提下，有效控制成本，配合工业机器人可实现全自动高速稳定抛光和修形。
中心注液式光学抛光

[实用新型]中心注液式光学抛光头-CN202220854095.3有效
发明人：侯瑞;邵建达;嵇文超;顿爱欢;吴伦哲;杨扬;刘斌;吴令奇;徐学科 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种中心注液式光学抛光头，包括装置支架、驱动轴、涨紧轴和抛光轴。装置支架由高强度铝合金板拼接。驱动轴包括：驱动电机、联轴器套、联轴器、第一轴承(1对)、轴套、转轴、第一锁紧环和第一同步带轮。涨紧轴包括锁紧螺母、涨紧杆、反力块和涨紧轮。所述的抛光轴包括接头固定架、回转接头、第二轴承(1对)、抛光轴套、轴承压紧板、第二锁紧环、第二同步带轮、抛光盘、抛光海绵、抛光杆、胀套、夹头螺帽、内部液管和内部喷头。本实用新型适用于先进的光学镜片全自动抛光和修形，具有抛光液内部中心注液、出液均匀、定量可控的特点，在保证抛光质量的前提下，有效控制成本，配合工业机器人可实现全自动高速稳定抛光和修形。
中心注液式光学抛光

[发明专利]基于机器人抛光系统抛光力调整修形方法-CN202011018596.X有效
发明人：徐学科;吴伦哲;吴福林;张宝安 -专利权人：恒迈光学精密机械（杭州）有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种基于力控机器人抛光系统抛光力调整修形方法。包含力去除函数标定，导入修形面形，计算抛光力分布，生成包含加工路径，抛光力和进给速率的加工文件，并导入力控机器人抛光系统。使用力控机器人抛光系统，通过调整抛光力对加工元件进行修形。本发明可以避免使用驻留时间修形导致加工过程过长，提高加工光学元件的加工效率。
基于机器人抛光系统调整方法

[发明专利]提升熔石英元件损伤阈值的加工方法-CN202111512053.8在审
发明人：陈军;程鑫;吴伦哲;徐学科;魏朝阳;邵建达 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请日： 2021-12-07 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：一种提升熔石英元件损伤阈值的加工方法，对熔石英元件进行清洗后，使用特定气体流量配比和功率的大气等离子体，处理精密抛光后熔石英元件一定时间，不改变熔石英元件的面形，明显提升熔石英元件的损伤阈值。本发明具有成本低、操作简单、高效快速的特点，在不改变熔石英元件原有的高精度光学面形的前提下，同时有效明显提升熔石英元件的损伤阈值。
提升石英元件损伤阈值加工方法

[发明专利]超薄光学元件的加工方法-CN202010353969.2有效
发明人：顿爱欢;彭冰;宋力;吴伦哲;朱杰;杨成龙;徐学科 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种超薄光学元件的加工方法，该方法主要包括：线切割、高精度铣磨、研磨、粗抛、大气等离子体高效抛光、大磨盘光顺等关键工序，本发明是一种基于传统点胶上盘加工结合APPP技术的超薄元件精密加工方法，实现了超薄元件的高精度加工，解决了目前超薄元件加工容易变形、面形极难控制的难点。具有加工精度高、加工效率高的特点。
超薄光学元件加工方法

[实用新型]单轴机循环稳定注液装置-CN202121911867.4有效
发明人：曹俊;顿爱欢;吴伦哲;陈军;程鑫;嵇文超;吴福林;徐学科 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-01-28 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：一种单轴机循环稳定注液装置，该装置包括铁笔、铁笔座、夹具、工件、抛光模、水槽、一级滤芯、二级滤芯、第一储液槽、三级滤芯、节流阀、水管、泵、出水口、叶轮、第二储液槽及圆管。本实用新型采用多级过滤和双桶静置的方式保证了抛光液粒度的均匀性，解决了抛光液粒度分布不均匀导致的加工表面质量不稳定的问题，提高了抛光液的颗粒均匀度，提高了光学元件加工质量。本实用新型的使用成本低、使用寿命长、容易实现，并且能有效地延长注液时间，实现了单轴机循环稳定的注液，适合单轴机长期使用，节约人工成本，提高了加工效率和生产效率。
单轴机循环稳定装置

[发明专利]可调节干涉位置测试装置及其测试方法-CN201910552419.0有效
发明人： 吴伦哲;顿爱欢;徐学科;邵建达;杨明红;朱杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请日： 2019-06-25 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：一种可调节干涉位置测试装置和方法，包括干涉仪、微机电系统反射镜、分光镜、分光棱镜、位置传感器和计算机等。本发明可作复杂光学曲面的面形的测试头，可以保证比较广的测试范围，高测试精度以及更大的测试视场。
调节干涉位置测试装置及其方法

[发明专利]基于大数据分析的智能环抛交叉修复调拨系统-CN201810215356.5有效
发明人：邵建达;杨明红;吴伦哲;徐学科 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2018-03-15 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： G06F16/28 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于大数据分析的环抛智能交叉修复调拨系统，其结构示意图如下所示，包括面形数据获取模块、交叉修复匹配分析模块、智能存取调拨模块；面形数据获取模块包括静置恒温单元和面形检测单元，通过数字化干涉仪来获取元件全口径反射面形、透射面形及材料非均匀性分布等数据；交叉修复匹配分析模块包括数据分类单元、指标提取单元、数据分析单元、分析结果驱动单元，功能是对获取的面形数据进行处理、分析、判断，最终形成最佳交叉修复匹配方案；智能交叉修复调拨模块包括元件存储单元和自动传输单元，根据交叉修复匹配方案对元件进行自动存取调拨。本发明的智能交叉修复调拨系统应用在多工位环抛机群批量加工过程中，利用多样化的第一面面形分布和多样化的抛光模面形变化特性，基于大数据分析进行匹配决策，整个过程智能控制，有效提升交叉修复命中率和面形控制效率，具有很强的实用性。
基于数据分析智能交叉修复调拨系统

[发明专利]一种基于变去除函数大气等离子体的熔石英抛光方法-CN202011238585.2在审
发明人：彭冰;徐学科;顿爱欢;吴伦哲;王哲 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： C03C15/00 文献下载
摘要：本发明涉及硅基光学元件表面超光滑精密加工技术领域，具体涉及一种基于变去除函数大气等离子体的熔石英抛光方法。以解决现有大气等离子体加工过程中去除函数非线性变化导致加工收敛率不高的问题。先进行前期变去除函数提取实验，再对拟合出的变去除函数与理论去除量进行运算得出加工所需的驻留时间，采用大气等离子体设备进行精修抛光，最终完成了熔石英光学元件的高精密、高效率加工。
一种基于去除函数大气等离子体石英抛光方法

[发明专利]一种小磨头辅助大气等离子体抛光碳化硅反射镜方法-CN202010420477.0在审
发明人：宋力;徐学科;顿爱欢;王哲;吴伦哲;彭冰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2020-05-18 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅(SiC)光学反射镜表面超光滑精密加工技术领域，具体涉及一种小磨头辅助大气等离子体抛光SiC反射镜加工方法。以解决现有大气等离子体加工时，表面产生氟碳化合残留物，致使光学反射镜表面质量严重下降问题。首先用大气等离子体以He为载气，CF4气体为反应气体，O2为辅助气体加工SiC反射镜，产生残留物后粗糙度恶化，后用小磨头抛光技术对SiC反射镜表面进行抛光，所产生的残留物小磨头快速去除，实现SiC光学反射镜的高效高精度抛光。
一种小磨头辅助大气等离子体抛光碳化硅反射方法

[实用新型]一种抛光模修盘周期的检测装置-CN201921616689.5有效
发明人：陈军;邵建达;张慧方;吴伦哲;杨明红;吴福林;秦豪杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：一种抛光模修盘周期的检测装置，该装置包括光学检测组件、处理器、水平度测量组件。该装置的光学检测组件使用结构光对抛光模表面形貌进行探测，处理器通过接收的包含抛光模表面形貌信息的探测光，计算处理得到抛光模表面沟槽的深度和宽度信息，从而确定抛光模的修复周期，监测抛光模的维护时间节点。本实用新型具有结构简单，测量准确，反应迅速，实现对抛光模修盘周期的原位检测，保证抛光模表面的磨削活跃度，提高加工效率和加工质量。
一种抛光模修盘周期检测装置

[实用新型]大型环拋机校正盘下表面平面度测量装置-CN201921560918.6有效
发明人：陈军;邵建达;张慧方;吴伦哲;吴福林;张一林 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请日： 2019-09-19 - 公布日： 2020-06-09 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种大型环抛机校正盘下表面平面度测量装置，该装置包括承载校正盘的转位台和位于转位台内部的测量模组。转位台自下而上是底座、万向球平台、测量狭缝、固定立柱、活动立柱和辅助轮。测量模组自下而上依次是万向轮、平台、水槽、龙门式框架、直线模组、激光位移传感器和触针位移传感器。本实用新型采用液平面作为参考基准，具有结构简单、测量准确、操作方便的特点，实现对大型环抛机校正盘下表面的平面度测量，以避免“大偏差”校正盘对抛光模的影响，有利于及时修正校正盘面形和保持抛光模面形稳定，提高加工效率。
大型环拋机校正表面平面测量装置

[发明专利]抛光力控制柔性抛光工具-CN201911179219.1在审
发明人： 吴伦哲;徐学科;顿爱欢;杨明红;吴福林;秦德华 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：一种抛光力控制柔性抛光工具，包括柔性工具、夹头座、连接板、减速机、伺服电机、机架、力传感器、力控系统等；柔性工具由夹具、弹性层和抛光革组成。本发明通过力传感器测试加工过程中的抛光力并通过力控制系统实现加工力恒定，采用柔性层和抛光垫配合保证光学元件的高表面质量；避免在加工过程中产生中频误差；去除函数在加工过程中的可以调整，减小边缘效应，实现光学元件的高精度加工。
抛光控制柔性工具

[发明专利]一种抛光模修盘周期的检测装置及检测方法-CN201910917228.X在审
发明人：陈军;邵建达;张慧方;吴伦哲;杨明红;吴福林;秦豪杰 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：一种抛光模修盘周期的检测装置及检测方法，该装置包括光学检测组件、处理器、水平度测量组件。该装置的光学检测组件使用结构光对抛光模表面形貌进行探测，处理器通过接收的包含抛光模表面形貌信息的探测光，计算处理得到抛光模表面沟槽的深度和宽度信息，从而确定抛光模的修复周期，监测抛光模的维护时间节点。本发明具有结构简单，测量准确，反应迅速，实现对抛光模修盘周期的原位检测，保证抛光模表面的磨削活跃度，提高加工效率和加工质量。
抛光模光学检测组件处理器表面形貌信息水平度测量表面沟槽表面形貌计算处理加工效率检测装置宽度信息时间节点原位检测活跃度结构光探测光磨削探测测量修复监测检测加工保证维护

[发明专利]大型环拋机校正盘下表面平面度测量装置及方法-CN201910886833.5在审
发明人：陈军;邵建达;张慧方;吴伦哲;吴福林;张一林 -专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司
申请日： 2019-09-19 - 公布日： 2019-12-20 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：一种大型环抛机校正盘下表面平面度测量装置，该装置包括承载校正盘的转位台和位于转位台内部的测量模组。转位台自下而上是底座、万向球平台、测量狭缝、固定立柱、活动立柱和辅助轮。测量模组自下而上依次是万向轮、平台、水槽、龙门式框架、直线模组、激光位移传感器和触针位移传感器。本发明采用液平面作为参考基准，具有结构简单、测量准确、操作方便的特点，实现对大型环抛机校正盘下表面的平面度测量，以避免“大偏差”校正盘对抛光模的影响，有利于及时修正校正盘面形和保持抛光模面形稳定，提高加工效率。
校正盘转位台大型环抛机测量模组抛光模下表面测量触针位移传感器激光位移传感器平面度测量装置水槽龙门式框架平面度测量万向球平台参考基准固定立柱活动立柱加工效率直线模组辅助轮万向轮液平面底座面形盘面狭缝校正承载修正

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