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[发明专利]一种三代半导体用等静压石墨舟用支撑舟脚-CN202310999096.6有效
发明人： 吕尊华;冯于驰;纪斌 -专利权人：福建福碳新材料科技有限公司
申请日： 2023-08-09 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明公开了一种三代半导体用等静压石墨舟用支撑舟脚，涉及石墨舟技术领域，包括舟体、舟脚、电极块、支撑柱、浮动套、空心套；多个水平穿设于空心套上的刮板，刮板在空心套上能自由滑动；用于在空心套朝上移动时，能够驱动多个刮板沿空心套径向运动的驱动部；用于在空心套朝上移动时，驱动刮板绕支撑柱轴向旋转的旋转部。当舟体放置于管式PECVD设备内时，随着舟体的下放，空心套将相对舟脚朝上移动，将由旋转部驱动多个刮板绕支撑柱的轴向旋转，使得多个刮板能够旋转并对管式PECVD设备的电极座表面进行清理，进而将电极座表面氮化硅粉末及碎片刮出且远离舟脚，使得能够避免氮化硅粉末或碎片与舟脚接触，进而造成舟脚与电极座接触不良的现象。
一种半导体静压石墨支撑

[发明专利]一种三代半导体用带碳化硅涂层的石墨坩埚-CN202311103402.X在审
发明人： 吕尊华;纪斌;冯于驰 -专利权人：福建福碳新材料科技有限公司
申请日： 2023-08-30 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种三代半导体用带碳化硅涂层的石墨坩埚，属于石墨坩埚技术领域，包括固定底板，所述固定底板上固定设置有安装环，所述安装环上固定设置有两个对称设置的支架，且两个所述支架上均固定设置有支撑台，两个所述支撑台上均转动设置有转轴，其中一个所述支架上固定设置有载物板，启动电机带动轴体转动时，摆动器上的摆动杆能够坩埚内壳中的物料进行摆动放平，并且当物料与坩埚内壳发生卡死时，摆动杆无法推动物料运作，使得摆动杆无法转动，此时扭力弹簧的扭力不断增加，到增加到一定程度时摆动杆压缩挤压弹簧，将限位杆从控制器内部拔出，使得框架与控制器之间转动打滑，避免对坩埚内壁造成损伤的情况出现。
一种半导体碳化硅涂层石墨坩埚

[实用新型]一种石墨炉出料冷却结构-CN202320345075.8有效
发明人：姚亮;吕尊华;徐勤晟 -专利权人：福建沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： F27D15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨炉出料冷却结构，属于出料冷却设备技术领域，包括出料斗和设置在出料斗底端的出料口，所述出料斗外部设置有外冷却结构且内部设置有内冷却结构，所述外冷却结构与内冷却结构相连通；所述内冷却结构包括设置在出料斗顶侧的分流组件，所述分流组件底部连通有输水管，所述分流组件包括与输水管连通的多组导流管，多组所述导流管相互靠近一侧设置有回转体，所述导流管均匀分布在回转体外侧。本装置可以使得石墨炉原料迅速冷却。
一种石墨炉出料冷却结构

[实用新型]焙烧装置及碳素制品生产系统-CN202320772529.X有效
发明人： 吕尊华;李俊海;纪斌;姚亮;万伟光 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： F27B13/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种焙烧装置及碳素制品生产系统，其中焙烧装置包括：环式焙烧炉体及高压焙烧匣钵，所述高压焙烧匣钵包括依次连接的第一承压体、第二承压体及密封封头，所述第一承压体设置在所述环式焙烧炉体中，所述密封封头上设置有冷却器，所述第一承压体的材质为碳‑碳复合材料且所述第一承压体表面设置有耐氧化涂层。通过在环式焙烧炉体中设置碳‑碳复合材料的第一承压体，能够使高压焙烧匣钵承受高温焙烧条件，结合第一承压体依次连接的第二承压体及密封封头，能够保证高压焙烧匣钵的整体密封性，保证碳素制品能够在高压焙烧匣钵中进行高压高温焙烧。
焙烧装置碳素制品生产系统

[实用新型]石墨粉氯化提纯用流化床反应器及石墨粉提纯装置-CN202320433420.3有效
发明人： 吕尊华;李俊海;纪斌;姚亮;万伟光 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B01J8/24 文献下载
摘要：本申请涉及一种石墨粉氯化提纯用流化床反应器及石墨粉提纯装置，其中石墨粉氯化提纯用流化床反应器，包括：反应器本体，所述反应器本体包括由上向下依次设置的流化床固体回收段、流化床反应段以及流化床下封头段，所述流化床固体回收段上设置有抽真空口；所述反应器本体的外部设置有耐烧蚀涂层、保温层、加热层以及保护壳体，所述加热层设置在所述流化床固体回收段与所述流化床反应段的部位；所述反应器本体的材质包括碳‑碳复合材料。能够减少工艺过程中对反应器本体的腐蚀，加热更加方便，同时增强减压的可操作性。
石墨粉氯化提纯流化床反应器装置

[实用新型]一种石墨化炉的废气处理装置-CN202320345379.4有效
发明人： 吕尊华;纪斌;姚亮 -专利权人：福建沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B01D47/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石墨化炉的废气处理装置，属于石墨化炉技术领域，包括废气炉，所述废气炉顶端设置有出气口，所述废气炉内部依次设置有净化组件、喷洒装置及过滤组件，所述废气炉底端设置有进气口；所述喷洒装置包括与废气炉侧壁转动连接的残齿，所述残齿一侧设置有齿轮，所述废气炉的内壁两侧设置有滑台，两组所述滑台之间滑动连接有滑块，所述滑块顶端设置有齿条，所述残齿、齿轮与齿条之间两两啮合，所述滑块底端设置有喷洒组件。本装置通过喷洒装置对废气降温的同时，可以将液体撒至废气炉内的各个地方，增大液体与废气的接触面积，提高废气的处理质量，降低生产成本。
一种石墨废气处理装置

[实用新型]高压焙烧炉及石墨生产装置-CN202320419557.3有效
发明人： 吕尊华;李俊海;纪斌;姚亮;万伟光 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-03-07 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种高压焙烧炉及石墨生产装置，其中高压焙烧炉，包括：球形焙烧炉，所述球形焙烧炉包括球形壳体以及法兰封头，所述球形壳体内部设置有焙烧组件，所述焙烧组件的外围设置有保温层，所述保温层与所述球形焙烧炉之间设置有水冷组件，所述法兰封头与所述球形壳体的相接部位设置有水冷器。本实用新型中的高压焙烧炉，能够使在水冷壁及水冷器保护下的球状金属承压外壳，具有更高的承压能力，解决了高压焙烧炉的承压问题。
高压焙烧石墨生产装置

[实用新型]一种等静压石墨表面处理装置-CN202320574322.1有效
发明人： 吕尊华;纪斌;姚亮;万伟光;徐勤晟 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B24B5/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等静压石墨表面处理装置，具体涉及表面处理装置领域，包括工作台、支腿、电机、转盘以及石墨本体，工作台底端设置有多个支腿，工作台中部底端安装有电机，电机顶端安装有转盘，转盘上放置有石墨本体，工作台一侧顶端安装有支架，支架顶端支撑安装有顶板，顶板上安装有压接机构，工作台另一侧安装有液压升降台，液压升降台顶端安装有支撑板，支撑板一侧连接有伸缩机构。本实用新型不仅能够对等静压石墨柱形面进行表面处理，而且能够对等静压石墨两个端面进行表面处理，使得整个设备能够完全对等静压石墨表面进行彻底处理，避免留有死角，采用人工进行打磨，从而提高处理效率，降低工人使用成本以及提高实用性的优点。
一种静压石墨表面处理装置

[实用新型]一种等静压石墨静压机的排气机构-CN202320419953.6有效
发明人：纪斌;吕尊华;姚亮;万伟光;徐勤晟 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等静压石墨静压机的排气机构，具体涉及排气机构领域，包括箱体、排水管、进气管、排气管、水仓、排气盘以及滤板，箱体内部设置有水仓，水仓一侧底端安装有排水管，排水管顶端设置有进气管，水仓顶端安装有排气盘，排气盘顶端衔接有滤板，箱体顶端设置有排气管，水仓内部底端安装有震动组件，水仓底端安装有固定壳，固定壳内壁与震动组件底端连接，箱体底端安装有底箱，底箱内安装有摆动机构，摆动机构一端与震动组件底部衔接配合，底箱底部安装有密封盖。本实用新型具有能够对水仓中的液体中残留的气泡完全震出，从而防止液体内残留气泡对等静压效果造成影响。
一种静压石墨排气机构

[实用新型]一种等静压石墨夹板-CN202320574294.3有效
发明人： 吕尊华;纪斌;姚亮;万伟光;徐勤晟 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： B66C1/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等静压石墨夹板，具体涉及石墨夹板技术领域，包括石墨块，所述石墨块顶部设置有吊板，所述吊板顶部设置有吊环，所述石墨块外部设置有夹持防护结构，所述夹持防护结构包括多个下夹板，多个所述下夹板均设置在石墨块的底部，且下夹板的顶部设置有上夹板，每相邻的两个下夹板之间设置有调距螺杆，且每个调距螺杆的外部均设置有滑块。本实用新型通过多个上夹板和下夹板的配合，不仅能够对石墨块起到夹持的效果，而且对石墨块起到包裹式防护的效果，避免石墨块在吊起运输时，因晃动发生碰撞，进而引发石墨块发生破损的现象，同时，便于对不同大小的石墨块进行夹持吊装，提高使用范围。
一种静压石墨夹板

[实用新型]一种等静压石墨运输箱-CN202320419952.1有效
发明人：纪斌;吕尊华;姚亮;万伟光;徐勤晟 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-03-08 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B65D25/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等静压石墨运输箱，涉及运输箱技术领域，包括运输箱，所述运输箱的底部连接有支撑腿，所述运输箱的外部设有箱门，所述箱门的侧壁与运输箱之间连接有合页，所述运输箱的侧壁且远离箱门的位置设置有连接板，所述连接板的外侧中部连接有固定块，所述连接板的外侧且位于固定块的上下位置均设置有固定卡块，所述运输箱的侧壁且远离固定块的位置设有两个卡块，所述卡块的内部均设有对应固定卡块的卡槽，所述运输箱的内部沿竖直方向设有若干个承重板，所述承重板顶部设有伸缩移动机构。本实用新型方便对不同尺寸的石墨进行固定放置，同时防止多个运输箱在运输过程中产生碰撞，提高运输效率。
一种静压石墨运输

[发明专利]一种特种石墨粉的高效焙烧装置-CN202310391415.5有效
发明人： 吕尊华;纪斌;徐勤晟 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本发明涉及石墨加工技术领域，具体是涉及一种特种石墨粉的高效焙烧装置，包括焙烧筒、偏心转筒和两组弹性伸缩刮板，通过两组弹性伸缩刮板将焙烧筒与偏心转筒之间的区域隔断成两个相对称的焙烧区，焙烧区的位置和形状均会随着两组弹性伸缩刮板的旋转不断变更，因此当石墨粉经过偏心转筒的最下方时，当前偏心转筒与焙烧筒之间的区域容积最小，热量相对较大，当石墨粉经过偏心转筒的最上方时，当前偏心转筒与焙烧筒之间的区域容积最大，热量相对较低，因此石墨粉在焙烧时受热温度是不断变更的，并且石墨粉会在焙烧时不断移动，综上所述来防止石墨粉因静置于恒定的高温中而形成附着于焙烧筒内壁上且难以清除的结块。
一种特种石墨粉高效焙烧装置

[发明专利]一种能够整装高效取放的石墨化焙烧产线-CN202310436610.5有效
发明人： 吕尊华;万伟光;赵振元 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F27D3/12 文献下载
摘要：本发明涉及石墨电极石墨化生产技术领域，具体是涉及一种能够整装高效取放的石墨化焙烧产线。包括：载具；两根第一滑轨，载具与第一滑轨滑动连接；放料组件，包括有置物车、设置于置物车内的传送器、设置于传送器上的间歇拨动机构、设置于置物车内的动力机构和运行轨道，传送器与间歇拨动机构相连，置物车底部两端置有碳棒下料口和保温盖下料口；碳棒输送机构，包括有第一输送器、横向张开器和加片器，加片器与横向张开器传动连接，第一输送器底部一端设置有第一下料口；保温盖输送器，包括有第二输送器，第二输送器底部一端设置有第二下料口。
一种能够整装高效石墨焙烧

[实用新型]一种特种石墨加工气力输送装置-CN202320094480.7有效
发明人：徐勤晟;吕尊华;纪斌;姚亮;万伟光 -专利权人：四川沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-02-01 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B65G53/66 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种特种石墨加工气力输送装置，具体涉及特种石墨加工技术领域，包括输料管，所述输料管一端设置有鼓风机，所述输料管另一端设置有出料环，所述出料环底部设置有出料管，所述输料管顶部设置有进料管，所述进料管顶部设置有储料仓，所述输料管底部设置有两个支腿，且两个支腿之间设置有支撑板，所述储料仓的内部设置有定量输送结构，所述进料管的两侧均设置有击打结构。本实用新型能够对石墨料实现定量输送，避免石墨料因堆积造成堵塞，同时能够对进料管处进行输送，提高物料的输送效率，而且在对物料进行输送的过程中，能够对石墨料中的不同颗粒进行分离输送，提高使用效果。
一种特种石墨加工气力输送装置

[实用新型]一种等静压石墨吊运装置-CN202320626708.2有效
发明人：纪斌;吕尊华;徐勤晟 -专利权人：福建沪碳半导体材料科技有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： B66C1/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等静压石墨吊运装置，属于吊运技术领域，包括下支承板和上支承板，所述下支承板和上支承板内部两侧分别滑动连接有支承柱，和支承件，所述支承柱与上支承板两侧的固定组件卡合固定，所述支承件与下支承板两侧的固定组件卡合固定，两组所述支承柱沿下支承板内部向相互远离一端移动，并与端部的转动头卡合，两组所述支承件沿上支承板内部向相互远离一端移动，并与端部的转动头卡合，所述支承柱和支承件通过转动头分别与与下支承板和上支承板端部转动连接，所述支承柱和支承件之间设置有防护组件，本实用新型公开的一种便于快速组装和使用，并利用防护组件对等静压石墨吊运过程提高防护，保证施工现场安全的吊运装置。
一种静压石墨装置

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