专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]基于干涉仪的纳米压印找平设备及方法-CN202310751489.5在审
  • 田绪威;刘晓成;史晓华 - 苏州光越微纳科技有限公司
  • 2023-06-25 - 2023-09-01 - G03F7/00
  • 本发明公开一种基于干涉仪的纳米压印找平设备及方法,用于对第一固定板的第一合模面和第二调节块的第二合模面进行找平,包括:至少一个干涉仪,干涉仪用于检测第一固定板的第一合模面与第二调节块的第二合模面上任一点的实时距离d;平移组件,包括:与干涉仪传动连接的平移驱动装置以及平移支架,干涉仪安装于平移支架上,平移驱动装置能够带动干涉仪在第一平面内进行平移,第一平面与第一合模面或第二合模面平行;控制装置,控制装置分别与平移驱动装置和干涉仪电连接,控制装置用于控制平移驱动装置动作,且接收干涉仪检测的实时距离d,并对其进行判断。本发明结构简单,能够快速判断两个平面是否平行,适用于各种纳米压印设备。
  • 基于干涉仪纳米压印找平设备方法
  • [发明专利]用于纳米压印复合模板的复制装置-CN201410504557.9有效
  • 史晓华 - 苏州光舵微纳科技股份有限公司
  • 2014-09-26 - 2023-08-01 - G03F7/00
  • 本发明公开了一种用于纳米压印复合模板的复制装置,其包括第一对接单元和第二对接单元,其之间通过导向机构形成对合,且该第一对接单元和第二对接单元之间在对合后形成腔体。本发明相比于现有技术,其首先精简了结构的设置,使得制造成本得以降低;同时其复制过程简单,只需要向腔体内注入缓冲层即可,复制速度也得以提高;最后,通过设置导向机构,提高了复制的平整度,使得本发明无论相较于其他复制装置还是导向机构本身的作用,都取得了意想不到的技术效果,从而可以实现复合模板对微纳结构图案的高精度且高保真度的复制。
  • 用于纳米压印复合模板复制装置
  • [实用新型]硬板压印装置-CN202223584983.7有效
  • 史晓华 - 苏州光越微纳科技有限公司
  • 2022-12-31 - 2023-06-06 - G03F7/00
  • 本实用新型公开了硬板压印装置,属于纳米压印技术领域,包括底座:底座顶部设于找平组件;找平组件顶部接触有下成型板;下成型板顶部有防滑组件,防滑组件顶部与上成型板;通过上述方式,本实用新型压印前,下成型板和上成型板接触,找平组件通过调整其自身的高度,使得下成型板和上成型板接触时是完全贴合的(即找平),再将产品和模版放置到下成型板和上成型板之间,下成型板和上成型板之间处于平行状态,保证压印效果。
  • 硬板压印装置
  • [实用新型]一种基于软模板的微纳米压印装置-CN202223332002.X有效
  • 袁国华;史晓华;李其凡 - 苏州光越微纳科技有限公司
  • 2022-12-13 - 2023-06-06 - G03F7/00
  • 本实用新型公开一种基于软模板的微纳米压印装置,微纳米压印装置由上至下依次包括:紫外灯、用于承载软模板的支撑环以及用于承载晶圆的压印载台,压印载台与升降驱动装置传动连接,升降驱动装置用于带动压印载台升降;支撑环和紫外灯之间设有封闭的压力调节腔体,压力调节腔体通过管路与压力调节机构连通,压力调节机构用于调节压力调节腔体内压力。本实用新型通过在支撑环和紫外灯之间加设压力调节腔体,可以有效提高软模板与晶圆的贴合性,保证压印施压均匀,进一步提升压印图形的均匀性。
  • 一种基于模板纳米压印装置
  • [发明专利]一种基于遗传算法的编译器参数自动调优方法-CN202310026161.7在审
  • 史晓华;黄达 - 北京航空航天大学
  • 2023-01-09 - 2023-06-02 - G06F8/41
  • 本发明提供了一种基于遗传算法的编译器参数自动调优方法,涉及计算机编译器。本发明方法包括:通过修改调优选项配置文件,记录用户要进行调优的编译选项集合;编写编译运行脚本文件,读取要调优的编译选项集合,运行输出程序性能数据;在要调优的编译选项组合构成的搜索空间中进行迭代编译,获取最优编译选项组合,其中每次迭代训练基于Xgboost的成本模型,并利用该模型进行程序性能数据预测。本发明能在用户给出的编译选项集合中选出能够使得程序性能达到最佳的编译选项组合,超过编译器默认提供的编译选项组合,无需修改用户程序代码和编译器代码,具有较好的通用性和适配性。
  • 一种基于遗传算法编译器参数自动方法
  • [发明专利]智能空气源热泵烘干设备-CN202211363380.6在审
  • 范同春;李嘉业;李玮;史晓华;陈虎;贺业强 - 山东齐昊新能源科技有限公司
  • 2022-11-02 - 2023-05-23 - F26B9/06
  • 本发明公开了智能空气源热泵烘干设备,包括装置本体,所述装置本体的内部设置有连接框架,所述连接框架上方的装置本体内部设置有两个放置托盘,两个所述放置托盘皆通过轴柱和装置本体的内壁转动连接,所述放置托盘的顶部固定连接有限位板一,所述放置托盘底部的两侧皆固定连接有连接底板二,所述连接底板二的底部皆开设有限槽一,所述装置本体内部的侧壁上固定连接有温度检测仪。本发明不仅降低装置本体的拐角出现污垢堆积的现象,实现了该空气源热泵烘干设备使用时拐角自清洁的功能,降低过滤网出现空运行的现象,而且实现了该空气源热泵烘干设备一动力源带动两个结构同步工作的功能,从而提高了该空气源热泵烘干设备使用时能源的利用率。
  • 智能空气源热泵烘干设备
  • [实用新型]PET膜固定装置-CN202223570713.0有效
  • 刘晓成;史晓华 - 苏州光越微纳科技有限公司
  • 2022-12-30 - 2023-05-16 - H01L21/68
  • 本实用新型公开了PET膜固定装置,属于PET膜固定技术领域,PET膜固定装置,包括固定座:固定座顶部中端处固定连接有抽正空垫板;固定座顶部连接有定位组件;固定座顶部贴合接触有PET膜框组件,定位组件用于PET膜框组件定位安装,PET膜框组件包括框架、固定压紧组件和活动压紧组件,压紧组件压紧端与框架外端四角处接触,实现PET膜框组件固定压紧;框架两端分别连接有固定压紧组件和活动压紧组件,固定压紧组件和活动压紧组件底部与PET膜贴合接触,且抽正空垫板顶部与PET膜底部贴合接触,实现PET膜固定平整、拉紧;通过上述方式,本实用新型实现PET膜固定平整、拉紧。
  • pet固定装置
  • [实用新型]一种防污染的单向过滤装置-CN202223574422.9有效
  • 宋崇顺;史晓华 - 苏州光越微纳科技有限公司
  • 2022-12-30 - 2023-05-16 - B01D36/02
  • 本实用新型公开了一种防污染的单向过滤装置,包括固定箱,固定箱的顶部固定安装有真空泵,真空泵的输入端固定连接有第三管道,真空泵的输出端固定连接有第四管道,第三管道的一端固定连接有吸附瓶,吸附瓶顶部的左侧固定连接有第二管道,第二管道的一端固定连接有空瓶,空瓶顶部的左侧固定连接有第一管道,第一管道的一端固定连接有沉积装置,第一管道的顶部设有第一阀门,第二管道的顶部设有第二阀门,第三管道的顶部设有第三阀门,吸附瓶的内腔设有有机溶液。本实用新型利用真空泵、吸附瓶对沉积装置进行抽真空,且对抽出的气体进行过滤,防止污染。
  • 一种污染单向过滤装置
  • [实用新型]一种基于纳米压印的精确擦胶设备-CN202223574380.9有效
  • 马腾飞;史晓华 - 苏州光越微纳科技有限公司
  • 2022-12-30 - 2023-05-12 - B08B1/00
  • 本实用新型公开一种基于纳米压印的精确擦胶设备,包括:卷放料组件、升降组件和承载组件,卷放料组件包括:出料卷、收料卷以及用于驱动出料卷和收料卷滚动的第一驱动电机,出料卷用于将洁净的无尘布进行出料,收料卷用于将使用后的无尘布进行回收,出料卷卷出的洁净无尘布用于为基片上的胶擦拭,预留出精确的微结构区域;升降组件与卷放料组件传动连接,用于驱动卷放料组件升降;承载组件与第二驱动电机传动连接,承载组件用于承载基片,第二驱动电机驱动基片旋转一定角度。本发明采用无尘布将基片上的余胶进行擦拭,精确预留压印区域,省去了后续清洗的步骤。因为不再考虑清洗余胶的问题,压印后曝光的能量可以更高,使得微结构的质量更好。
  • 一种基于纳米压印精确设备

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