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[发明专利]一种利用离子注入结合化学刻蚀制备KTiOPO4单晶薄膜的方法-CN201510308632.9有效
发明人：卢霏;马长东;许波;范冉冉 -专利权人：山东大学
申请日： 2015-06-08 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： C23C14/48 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用离子注入结合化学刻蚀制备KTiOPO4单晶薄膜的方法法。将低能量范围(100～6000keV)的H或He离子注入到晶体样品中，注入离子剂量范围是1×1016～10×1016离子/平方厘米，注入温度是室温或低温。然后将样品进行退火处理，退火温度范围为200℃到600℃，退火总时长10秒～2小时。将样品用化学试剂刻蚀，实现晶体薄膜剥离。采用本发明中的方法，我们将2000keV能量，4×1016剂量的He离子在室温条件下注入到Z切向的KTP样品后，退火处理后再放入HF溶液中刻蚀实现了薄膜剥离。利用本发明中的方法我们已经获得了厚度为5微米的磷酸钛氧钾(KOTiPO4)晶体薄膜，这是至今首次利用离子注入结合化学刻蚀方法得到的KTP单晶薄膜。
一种利用离子注入结合化学刻蚀制备 ktiopo sub 薄膜方法

[发明专利]一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法-CN201410199630.6有效
发明人：卢霏;马钰洁;马长东 -专利权人：山东大学
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2014-07-30 - 主分类号： C30B31/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜的方法，将磷酸钛氧钾晶体分别放入乙醇和丙酮中超声清洗处理；将低能量的轻离子-H离子或He离子在常温下注入到磷酸钛氧钾材料中，注入离子能量范围是100keV～300keV，注入离子剂量范围1×10¹⁶离子/平方厘米～10×10¹⁶离子/平方厘米；将注入轻离子后的材料通过树脂胶绑定在衬底上，或将注入轻离子后的材料直接键合在衬底上，注入面粘在衬底上；对上述样品进行退火处理。该方法可以获得晶格结构较好的单晶材料；并且这种方法对于衬底材料的要求不高，很容易实现绑定。
一种利用离子注入制备磷酸钛氧钾薄膜方法

[发明专利]一种低损耗铌酸锂条型波导和分支结构的制备方法-CN201210193195.7有效
发明人：胡卉;卢霏;王雪林;陈峰;王克明 -专利权人：山东大学
申请日： 2012-06-12 - 公布日： 2012-10-03 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本发明涉及一种低损耗铌酸锂条型波导和分支结构的制备方法，采用多能量中/重离子注入，注入离子的能量范围是2MeV~6MeV，注入后采用温度由低到高阶梯式退火处理，温度范围200℃~500℃,逐渐增加退火温度，每次增加温度的间隔至少15℃，每一退火温度下的退火时间为20min~60min。多能量注入减小了漏光损耗，多温度梯度退火在减少吸收和散射损耗的同时确保折射率减小层的稳定，采用本发明中的方法我们已经在铌酸锂晶体上获得了损耗只有0.17dB的能够在1.5微米波段传输的单模条形波导和分支器，这是目前能够测到的离子注入波导损耗的最小值。
一种损耗铌酸锂条型波导分支结构制备方法

[发明专利]用离子注入和退火制备铌酸锂晶体波导的方法-CN03111918.2无效
发明人：卢霏;胡卉;陈峰;王雪林;王克明 -专利权人：山东大学
申请日： 2003-03-04 - 公布日： 2003-09-03 - 主分类号： C30B31/22 文献下载
摘要：本发明用离子注入和退火制备铌酸锂晶体波导的方法，至少应包含离子注入和电子束退火等步骤。采用能量1MeV～6MeV的C+，Cu+等离子注入，注入剂量在1×1013离子/平方厘米到5×1015离子/平方厘米范围内，在注入区内造成折射率的改变，然后利用聚焦电子束或者激光束扫描，使扫描区的折射率增高，形成埋层或者沟道形式的光波导。光波导的导波模式可以由工艺参数控制。该方法的线宽可以达到纳米量级。可以制成基于条形波导结构的光器件和折射率光栅。
离子注入退火制备铌酸锂晶体波导方法

[发明专利]用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法-CN03111917.4无效
发明人：陈峰;王雪林;王克明;卢霏;胡卉 -专利权人：山东大学
申请日： 2003-03-04 - 公布日： 2003-08-06 - 主分类号： H01S3/063 文献下载
摘要：本发明用离子注入制备钕掺杂钒酸钇晶体波导激光的方法，主要在(Nd3+：YVO4)晶体中形成平面及条形波导和实现波导激光输出。采用能量为2.0－6.0MeV，剂量为1×1012～5×1015离子/平方厘米范围的磷离子注入，在钕离子掺杂钒酸钇晶体表面形成平面光波导，或利用先做条形掩膜，再做磷离子注入的方法，形成钕离子掺杂钒酸钇的条形光波导。对波导端面进行激光谐振腔镀膜后，通过一定波长和功率的泵浦激光对钕离子掺杂钒酸钇平面波导或条形波导进行泵浦，输出波长为1064nm左右的红外激光。
离子注入制备掺杂钒酸钇晶体波导激光方法