专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]加热装置-CN201710519305.7有效
  • 梁耀祥;卢祈鸣;黄之骏;黄志昌;曹荣志 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2017-06-30 - 2021-02-26 - H01L21/324
  • 本揭露有关于一种加热装置。此加热装置包含承载平台及复合加热环。此承载平台是用以承载晶圆,且复合加热环设置于承载平台及晶圆之间。其中,复合加热环是沿着晶圆的边缘延伸。此复合加热环包含第一加热环及第二加热环。第一加热环的底面直接接触承载平台的承载面,且第一加热环具有阶梯状结构。第二加热环设置于阶梯状结构的开口中,且第二加热环的顶面直接接触晶圆的底面。
  • 加热装置

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