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[发明专利]带检测器装置的粒子束仪-CN201210243040.X有效
发明人： D·多尼茨;C·瓦格纳 -专利权人： 卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2012-03-31 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种带检测器装置的粒子束仪(1，24)。该粒子束仪具有第一和第二粒子束柱(16、2)，第一和第二粒子束柱分别具有产生第一或第二粒子束的第一或第二束产生器以及将第一或第二粒子束聚焦在目标(11)上的第一或第二物镜。第一粒子束柱具有第一粒子束轴线(28)。第二粒子束柱具有第二粒子束轴线(29)。设置检测相互作用粒子和/或相互作用束的检测器(12)，检测轴线(33)从检测器延伸到目标。第一粒子束柱的第一粒子束轴线和第二粒子束柱的第二粒子束轴线形成不同于0°和180°的第一角度第一粒子束柱的第一粒子束轴线和该第二粒子束柱的第二粒子束轴线布置在第一平面(32)内。检测器的检测轴线和第一粒子束轴线布置在第二平面(34)内。第一平面和第二平面形成第二角度(α)，其数值处于65°至80°的范围内。
检测器装置粒子束

[发明专利]具有偏转系统的粒子束装置-CN201110463206.4有效
发明人： D·普赖克萨斯;A·H·海恩 -专利权人： 卡尔蔡司NTS有限责任公司;卡尔蔡司NTS有限公司
申请日： 2011-12-05 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： H01J37/301 文献下载
摘要：本发明涉及粒子束装置，其包括粒子束发生器、用于将由粒子束发生器产生的粒子束聚焦在目标平面上的物镜。物镜确定光轴。粒子束装置还包括用于偏转目标平面上的粒子束的第一和第二偏转系统，第一和第二偏转系统连续依次沿光轴设置。在第一运行模式中，第一偏转系统产生第一偏转场，第二偏转系统产生第二偏转场，第一和第二偏转场彼此具有第一角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。在第二运行模式中，第一偏转系统产生第三偏转场，第二偏转系统产生第四偏转场，第三和第四偏转场彼此具有第二角取向并被彼此定向，使得它们在目标平面上共同产生粒子束在第一方向上的偏转。第二角取向不同于第一角取向。
具有偏转系统粒子束装置

[发明专利]透射电子显微镜-薄片、其制作方法及用于实施该方法的设备-CN201110318890.7有效
发明人： L·莱克纳;U·凯瑟;J·比斯库佩克 -专利权人：乌尔姆大学;卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2011-08-01 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：一种TEM-薄片制作方法包括将具有厚度的板状基底安装(51)在支撑件内；用粒子束在基底第一侧面上制作(53)相对支撑件成第一角度的第一条形凹部；及用粒子束在基底第二侧面上制作(55)相对支撑件成第二角度的第二条形凹部，使第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度更小的交叠区域。薄片具有较厚的边缘区域和较薄的中央区域，其第一侧上有第一条形凹部，第二侧上有第二条形凹部，第一和第二条形凹部彼此成锐角或直角，且二者间形成厚度小于100nm的交叠区域。一种实施上述方法或制作上述薄片的设备包括可绕横轴和相对竖直方向倾斜的纵轴枢转的薄片支撑件、用于绕纵轴旋转的装置、及限制薄片支撑件绕横轴的倾侧的制动件。
透射电子显微镜薄片制作方法用于实施方法设备

[发明专利]粒子束显微镜及操作粒子束显微镜的方法-CN201110418980.3有效
发明人： S·迪默;H·曼茨;J·帕卢齐恩斯基 -专利权人： 卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2011-09-29 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种操作粒子束显微镜的方法，其中所述方法包括：探测从结构发出的光线和/或从结构发出的粒子的至少之一，其中所述结构包括至少下述之一：物体的表面的至少一部分和粒子束显微镜的载物台的表面的至少一部分；根据探测到的光线和粒子的至少之一生成所述结构的表面模型；相对于目标区域确定所述结构的表面模型的位置和定向；相对于所述结构的表面模型确定测量部位；以及，根据生成的所述结构的表面模型、确定的所述结构的表面模型的位置和定向以及确定的测量部位定位物体。
粒子束显微镜操作方法

[发明专利]扫描方法-CN201080022141.3有效
发明人： B.W.沃德 -专利权人： 卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2010-05-04 - 公布日： 2012-05-02 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：总体而言，在一个方面，本公开涉及用于样品成像的方法和系统，例如使用带电粒子的样品成像。
扫描方法

[发明专利]激光处理系统，载物件和激光处理方法-CN201110084517.X有效
发明人：霍尔格·多默 -专利权人： 卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2011-02-17 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： B23K26/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种处理系统，包括：共同基座(53)；载物件(101)，被配置为承载用于检查或处理的物体；提供在所述载物件上的至少一个孔径板，具有至少一个孔径；安装在所述共同基座上的激光装置(15)，被配置为在扫描区域(13)上扫描激光束(17)；输送装置(103)，其被配置为相对于所述共同基座将所述载物件从第一位置位移到第二位置，其中，当所述载物件在所述第一位置时，所述物体和所述至少一个孔径位于所述激光装置的扫描区域内；设置在所述载物件上的至少一个光导，其中所述光导具有出口以及由所述至少一个孔径提供的入口；以及至少一个光检测器(151)，被安装在相对于所述共同基座的固定位置处，并被配置为检测从所述光导的出口出射的光。
激光处理系统物件方法

[发明专利]检测方法、粒子束系统和制造方法-CN201010529590.9有效
发明人：休伯特·曼茨;雷纳·阿诺德;迈克尔·阿尔比兹 -专利权人： 卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2010-08-09 - 公布日： 2011-05-25 - 主分类号： G01N23/225 文献下载
摘要：本发明提供一种检测方法、粒子束系统和制造方法。该检测方法包括：将粒子束聚焦到样品上；操作位于样品附近的至少一个探测器；将由至少一个探测器产生的探测信号分配到不同的强度区间；基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的电子相关的至少一个第一信号分量；以及基于分配到强度区间的探测信号，确定与入射到探测器的X射线相关的至少一个第二信号分量。根据本发明，可通过样品发出的电子和X射线二者获得与样品相关的信息。
检测方法粒子束系统制造

[发明专利]粒子束装置、光阑组件及在粒子束装置中改变束流的方法-CN201010510825.X有效
发明人：德克·普雷克扎斯;迈克尔·阿尔比兹 -专利权人： 卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2010-07-26 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：本发明涉及一种粒子束装置(1)，其具有光阑孔可调的第一光阑组件(8)。本发明还涉及一种用于粒子束装置(1)的光阑组件(8)。此外，本发明还涉及一种用于在粒子束装置(1)中调整束流的方法。粒子束装置(1)包括具有第一极靴(6a)和第二极靴(6b)的第一聚束透镜(6)。可以相对于第二光阑组件(9)相互独立地调整第一极靴(6a)与第二极靴(6b)两者。第二光阑组件(9)被设计为压力级光阑，其将具有第一压力的真空的第一区域与具有第二压力的真空的第二区域相互隔开。根据本发明的方法涉及调整该粒子束装置(1)中的束流。
粒子束装置光阑组件改变方法

[发明专利]粒子束显微系统及其操作方法-CN201010504226.7有效
发明人：沃尔夫拉姆·比勒;霍尔格·多默;马赛厄斯·兰;乔尔格·斯托多尔卡;彼得·罗迪杰;埃默里赫·伯塔格诺里;海因茨·万曾伯克 -专利权人： 卡尔蔡司NTS有限责任公司
申请日： 2010-07-15 - 公布日： 2011-02-02 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明提供一种粒子束显微系统及其操作方法。用于清洁自身的该粒子束显微系统1包括：辐射系统，以导引电磁辐射到需要清洁的表面；以及供给系统61，以供给前驱气体到粒子束系统1的真空室11的内部。在将被清洁的表面的附近，前驱气体被激活并转变为与存在于被辐照表面的污染物反应的反应气体，从而所述污染物随后可以被泵出。
粒子束显微系统及其操作方法

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