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- [发明专利]一种小入射角的多波段反射系统及其使用方法-CN202210088784.2在审
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孟永宏;杨良;孙文杰
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北京量拓科技有限公司
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2022-01-25
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2022-05-10
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G01N21/01
- 本申请涉及一种小入射角的多波段反射系统及其使用方法,其包括承载平台、深紫外近红外出光臂、深紫外近红外检测臂、中红外出光臂、中红外检测臂、样品台、第一旋转台以及第二旋转台,深紫外近红外出光臂固定在承载平台的一端,中红外出光臂固定在承载平台远离深紫外近红外出光臂的一端,第一旋转台与承载平台转动连接,转动轴沿垂直承载平台方向设置,深紫外近红外检测臂和中红外检测臂均固定在第一旋转台上,且深紫外近红外检测臂和中红外检测臂相邻设置,中红外检测臂靠近中红外出光臂,第二旋转台与第一旋转台转动连接,转动轴沿垂直承载平台方向设置,且第一旋转台以及第二旋转台为同轴旋转,样品台固定在第二旋转台远离承载平台的一侧,用于承载样品,本申请具有可变入射角范围大的效果。
- 一种入射角波段反射系统及其使用方法
- [实用新型]一种椭偏测量装置-CN202021272230.0有效
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朱宗洋;杨良;尹福钰
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北京量拓科技有限公司
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2020-07-02
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2021-01-01
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G01N21/21
- 本申请公开了一种椭偏测量装置,包括基板、样品台、检测部件、角度切换机构和角度定位机构;样品台固定安装在基板上,样品台台面为平面;角度切换机构转动安装在基板上,角度切换机构的转动轴线位于检测面内;检测部件包括起偏臂和检偏臂,起偏臂和检偏臂安装在角度切换机构上;角度定位机构安装在工作平台上,通过刚性抵触限位或自锁结构限定角度切换机构的转动角度。本申请的椭偏测量装置,无需再变换样品台或改变样品台方位,具有结构简单、操作简捷、重复定位精度高的优点,可实现多种类样品采用相同放置位置,降低测试过程中样品碎片风险,实现样品的任意点测试,提高测试效率。
- 一种测量装置
- [发明专利]一种椭偏测量装置及测量方法-CN202010626758.1在审
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朱宗洋;杨良;尹福钰
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北京量拓科技有限公司
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2020-07-02
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2020-09-04
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G01N21/21
- 本申请公开了一种椭偏测量装置及测量方法,包括基板、样品台、检测部件、角度切换机构和角度定位机构;样品台固定安装在基板上,样品台台面为平面;角度切换机构转动安装在基板上,角度切换机构的转动轴线位于检测面内;检测部件包括起偏臂和检偏臂,起偏臂和检偏臂安装在角度切换机构上;角度定位机构安装在工作平台上,通过刚性抵触限位或自锁结构限定角度切换机构的转动角度。本申请的椭偏测量装置及测量方法,无需再变换样品台或改变样品台方位,具有结构简单、操作简捷、重复定位精度高的优点,可实现多种类样品采用相同放置位置,降低测试过程中样品碎片风险,实现样品的任意点测试,提高测试效率。
- 一种测量装置测量方法
- [实用新型]一种高能量利用率的线偏振光产生装置及其应用-CN201220417782.5有效
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孟永宏
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北京量拓科技有限公司
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2012-08-21
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2013-01-30
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G02B27/28
- 本实用新型公开了一种基于线偏振光源的高能量利用率的线偏振光产生装置及其应用,包括:一个线偏振光源101,四分之一波片103、四分之一波片104、安装在中空旋转器105中的线偏振器102。其中,四分之一波片103与线偏振光源101机械固定,其方位角C1与线偏振光源11的偏振面方位角L夹角为C1-L=[0.5*(k2+k1)+0.25]*π;四分之一波片104的方位角C2与线偏振器102的方位角P的夹角为P-C2=[0.5*(k2-k1)+0.25]*π,二者同步旋转,其中k1取值为-1,0,1中任意一个整数;k2取值为-2,-1,0,1中任意一个整数。本方法的优点是,无论线性起偏器102方位角如何设置,始终可以保持光源能量利用率接近100%。
- 一种高能量利用率偏振光产生装置及其应用
- [发明专利]一种高能量利用率的线偏振光产生装置及其应用-CN201210299893.5无效
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孟永宏
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北京量拓科技有限公司
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2012-08-21
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2012-11-28
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G02B27/28
- 本发明公开了一种基于线偏振光源的高能量利用率的线偏振光产生装置及其应用,包括:一个线偏振光源101,四分之一波片103、四分之一波片104、安装在中空旋转器105中的线偏振器102。其中,四分之一波片103与线偏振光源101机械固定,其方位角C1与线偏振光源11的偏振面方位角L夹角为C1-L=[0.5*(k2+k1)+0.25]*π;四分之一波片104的方位角C2与线偏振器102的方位角P的夹角为P-C2=[0.5*(k2-k1)+0.25]*π,二者同步旋转,其中k1取值为-1,0,1中任意一个整数;k2取值为-2,-1,0,1中任意一个整数。本方法的优点是,无论线性起偏器102方位角如何设置,始终可以保持光源能量利用率接近100%。
- 一种高能量利用率偏振光产生装置及其应用
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