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- [实用新型]混合滤波器-CN202321271088.1有效
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刘艳丽;蔡敏豪
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绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
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2023-05-24
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2023-10-10
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H03H1/00
- 本实用新型提供一种混合滤波器。该混合滤波器包括第一谐振器和第二谐振器;第一谐振器和第二谐振器形成在相互键合的第一衬底和第二衬底之间;第一衬底的顶面形成有第一谐振结构以及与第一谐振结构连接的导电柱,第一谐振器包括第一谐振结构;第二衬底的顶面朝向第一衬底的顶面,第二衬底的顶面形成有第二谐振结构以及与第二谐振结构连接的导电柱,第二谐振器包括第二谐振结构;第一衬底顶面的导电柱与第二衬底顶面的导电柱位置对应,且位置对应的导电柱相互键合以键合第一衬底和第二衬底并支撑起第一谐振结构与第二谐振结构之间的第一空腔。本申请提供的混合滤波器可以满足移动通信对不同频段使用需求,且可靠性高,工艺难度较低。
- 混合滤波器
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