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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]电弧蒸发装置-CN202211005375.8在审
  • 朱国朝;刘琴铭;朱敏杰;袁安素 - 纳狮新材料有限公司;东莞瀚晶纳米材料有限公司
  • 2022-08-22 - 2022-11-01 - C23C14/32
  • 一种电弧蒸发装置，包括阴极弧蒸发源、气体管道、第一磁场装置、第二磁场装置以及第三磁场装置。阴极弧蒸发源的表面包括环状凹槽结构。环状凹槽结构限制阴极弧弧斑的移动并容纳靶材液滴。气体管道嵌入阴极弧蒸发源。气体管道的管道出口设置在环状凹槽结构中。第一磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕所述气体管道，并且经配置以产生第一磁场。第二磁场装置设置于阴极弧蒸发源的第一侧并环绕第一磁场装置设置，并且经配置以产生第二磁场。第三磁场装置环绕阴极弧蒸发源、第一磁场装置和第二磁场装置设置，并且经配置以产生第三磁场。第一磁场和第二磁场的磁场方向相反，第一磁场和第三磁场的磁场方向相同。
  • 电弧蒸发装置
  • [发明专利]电弧蒸发装置-CN202210091792.2在审
  • 朱国朝;刘琴铭;朱敏杰;袁安素 - 纳狮新材料有限公司
  • 2022-01-26 - 2022-05-13 - C23C14/32
  • 一种电弧蒸发装置，包括阴极弧蒸发源、第一磁场装置、第二磁场装置以及第三磁场装置。所述阴极弧蒸发源的表面包括经配置以限制阴极弧弧斑的移动并容纳靶材液滴的凹槽结构。所述第一磁场装置设置于所述阴极弧蒸发源的第一侧且经配置以产生第一磁场。所述第二磁场装置设置于所述第一侧并环绕所述第一磁场装置设置且经配置以产生第二磁场。所述第三磁场装置环绕所述阴极弧蒸发源、所述第一磁场装置和所述第二磁场装置设置，且经配置以产生第三磁场。所述第一磁场和所述第二磁场的磁场方向相反，所述第一磁场和所述第三磁场的磁场方向相同。
  • 电弧蒸发装置
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