专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]四分之一节距图案的形成方法-CN201310120628.0有效
  • 刘弘仁 - 南亚科技股份有限公司
  • 2013-04-09 - 2014-05-21 - H01L21/311
  • 本发明提供一种四分之一节距图案的形成方法。首先形成两个光阻层,再定义上光阻层为多个第一图案。接着在下光阻层及第一图案上形成附着层,其包含或可产生使光阻材料可溶解于显影液的反应性物质。接着使反应性物质扩散进入各第一图案的部分及第一图案之间的下光阻层的部分中,并使反应性物质与其反应。接着移除附着层,再显影移除第一图案的上述部分及下光阻层的上述部分,并将下光阻层图案化为多个第二图案。接着在剩余的第一图案及第二图案的侧壁上形成多个间隙壁,之后移除剩余的第一图案,再以第二图案上的间隙壁为罩幕移除部分的第二图案。
  • 分之一节图案形成方法
  • [发明专利]双重图案化的方法-CN201310198556.1有效
  • 李镇玮;刘弘仁 - 南亚科技股份有限公司
  • 2013-05-24 - 2014-03-26 - H01L21/033
  • 本发明提供一种双重图案化的方法。首先,提供基底,此基底包括第一区及第二区。接着,在基底上形成目标层。然后,在目标层上形成第一图案化的光致抗蚀剂层,此第一图案化的光致抗蚀剂层在第一区具有多个开口,并且在第二区上的第一图案化的光致抗蚀剂层至少有一部分的厚度小于在第一区上的第一图案化的光致抗蚀剂层的厚度。之后,在第一开口之中以及第一图案化的光致抗蚀剂层上形成第二光致抗蚀剂层。本发明提供的双重图案化的方法仅利用一道光罩工艺即可在基底的第一区及第二区上形成具有不同厚度的第一图案化的光致抗蚀剂层,此举使得第二光致抗蚀剂层在整个第一区上具有均匀的厚度,以得到良好的曝光显影环境。
  • 双重图案方法
  • [发明专利]半导体结构形成的方法-CN200710002191.5有效
  • 刘弘仁;谢维贤;叶章和 - 南亚科技股份有限公司
  • 2007-01-12 - 2008-07-16 - H01L21/00
  • 一种半导体结构形成的方法,包括:提供一基板;形成一第一下掩模层于基板上;形成一第一图案化掩模于第一下掩模层上,以界定一第三图案化掩模的一部分;形成一第二下掩模层于第一下掩模层上方且覆盖第一图案化掩模;形成一第二图案化掩模于第二下掩模层上,且第二图案化掩模与第一图案化掩模无重叠,以界定第三图案化掩模的另一部分;以第一图案化掩模及第二图案化掩模为掩模下切蚀刻第一下掩模层与第二下掩模层,以形成第三图案化掩模;以第三图案化掩模为掩模蚀刻基板,以形成多个岛;以及移除第三图案化掩模。
  • 半导体结构形成方法
  • [发明专利]显影液组成物-CN200510052183.2无效
  • 陈启盛;刘弘仁;郑孟勋 - 明德国际仓储贸易(上海)有限公司
  • 2005-02-28 - 2006-09-06 - G03F7/32
  • 本发明有关于一种显影液组成物,其包括:(a)碱金属碳酸盐;(b)碱金属碳酸氢盐;(c) 右述式(I)所示非离子性界面活性剂,其中,k、n及m定义如说明书中所示;以及(d) 上述式(II)所示非离子性界面活性剂,其中,p、q定义如说明书中所示;其中相对100重量份水而言,上述(a)成分为0.1~10重量份,上述(b)成分为0.1~10重量份,上述(c)成分为0.1~20重量份,且上述(d)成分为0.1~20重量份者。本发明亦有关于显影液。
  • 显影液组成

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