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[发明专利]一种通孔接地式相变射频开关及其制备方法-CN202310795295.5在审
发明人：童浩;吴玉琪;冯择阳;蔡经纬;缪向水 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： H01P1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种通孔接地式相变射频开关及其制备方法，属于微波开关器件技术领域，具体包括两端通孔接地式相变射频开关和四端通孔接地式相变射频开关；本发明采用接地通孔电极连接背面接地金属层和接地电极，通孔电极可以很好地等效为金属壁，从而使得部分电磁场被束缚在通孔电极之间，进而减小了辐射损耗和对邻近传输线的干扰，同时提高了有效介电常数，降低了特性阻抗；基于此，本发明能够有效改善相变射频开关的导通电阻和断开电容，适用频段较高。
一种接地相变射频开关及其制备方法

[发明专利]一种基于相变材料的射频开关器件及其制备方法-CN202210747088.8在审
发明人：童浩;冯择阳;缪向水 -专利权人：华中科技大学
申请日： 2022-06-28 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01L45/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于相变材料的射频开关器件及其制备方法，属于射频开关技术领域；包括：自下而上依次设置的衬底层、衬底隔离层、电极层、相变材料层和相变隔离层；电极层包括位于同一平面上的射频电极和相变操作电极；射频电极的射频输入电极和射频输出电极的电极尖端分别连接在相变材料层相对的两端上形成射频传输通路；相变操作正电极和相变操作负电极的电极尖端分别连接在相变材料层另一个相对的两端上形成相变操作通路；通过控制相变操作通路上相变材料层的阻态来控制射频传输通路的开闭。本发明能够减小射频电极与相变操作电极之间的寄生电容；此外本发明结构简单，能够以较低的工艺难度实现更低寄生电容的射频开关器件。
一种基于相变材料射频开关器件及其制备方法