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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和光刻胶组合物-CN202111556168.7有效
发明人：季生象;刘亚栋;李小欧;农美凤 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： C08G8/32 文献下载
摘要：本发明属于光刻胶微电子化学技术领域，公开了一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和光刻胶组合物，所述改性酚醛树脂，包含式I所示聚合物结构，其中n和m为摩尔占比，0.09≤n≤0.91，0.09≤m≤0.91，n+m＝1；所述R1和R2分别独立的为H、CH3、CH2CH3、CH2CH2CH3中的一种或多种。本发明改善了酚醛树脂的溶解性能，同时，本发明将式III化合物引入酚醛树脂的侧链结构中，进一步改善了酚醛树脂耐热性。本发明的改性酚醛树脂制成的光刻胶组合物具有优良的灵敏度和分辨率。#imgabs0#
一种光刻改性酚醛树脂及其制备方法组合

[发明专利]一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和应用-CN202211726912.8在审
发明人：季生象;黄广诚;刘亚栋;农美凤;黄金惠 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： C08G8/08 文献下载
摘要：本发明属于光刻胶微电子化学技术领域，公开了一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和应用，所述改性酚醛树脂包含式I和式Ⅱ所示结构，式I和式Ⅱ分别为酚醛树脂分级后高分子量部分和低分子量部分，式Ⅱ代表本发明通过可控聚合方式将式Ⅲ聚合物引入低分子量酚醛树脂后的结构。其中R代表H或CH3，R1代表式Ⅲ，m、n、x为整数，且n＞m，5≤x≤30。本发明改善了酚醛树脂的玻璃化转变温度，提高了酚醛树脂的耐热性和抗刻蚀性。
一种光刻改性酚醛树脂及其制备方法应用

[发明专利]一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和应用-CN202211580209.0在审
发明人：季生象;黄广诚;刘亚栋;农美凤;梁婷珲;黄金惠 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： C08G8/28 文献下载
摘要：本发明属于光刻胶微电子化学技术领域，公开了一种光刻胶用改性酚醛树脂及其制备方法和应用，所述改性酚醛树脂的结构如式I所示，其中，X代表多酚羟基化合物通过共聚方式引入至式I中的结构；所述R为H或CH3，m、n为摩尔百分比，m+n＝1；本发明改善了酚醛树脂玻璃化转变温度。同时该改性酚醛树脂制成的光刻胶组合物具有优良的灵敏度和分辨率。
一种光刻改性酚醛树脂及其制备方法应用

[发明专利]一种光刻胶组合物及其应用-CN202111499123.0在审
发明人：季生象;李小欧;刘亚栋;农美凤 -专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及光刻胶微电子化学领域，公开了一种光刻胶组合物及其应用，光刻胶组合物包括以下成分：以质量份计，酚醛树脂10‑50份，感光剂0.5‑10份、助剂0.1‑10份和有机溶剂30‑90份；所述助剂包括结构式I所示化合物中的一种或多种：其中，R1‑R10各自独立地选自氢、苯基、C1‑C10的烷基、C5‑C10的环烷基、醇羟基、酚羟基、醚、酯基、Ra取代的氨基、Ra取代的磺酸基、卤代基；Ra各自独立地选自C5‑C10的环烷基、苯基。本发明式I所示化合物作为I线光刻胶的添加剂，光刻胶分辨率可以达到0.5μm以上，灵敏度达到20mJ/cm2，留膜率可以保持在95％以上。
一种光刻组合及其应用

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共 4 条

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