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[发明专利]光学谐振腔-CN201911099407.3有效
发明人：田中研太;河村让一;万雅史;冈田康弘 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2019-11-12 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01S3/086 文献下载
摘要：本发明提供一种即使前反射镜的朝向外侧的面倾斜且将屋脊反射镜用于后反射镜也能够抑制因前反射镜的朝向外侧的面而产生的不必要的振荡的光学谐振腔。光学谐振腔具有前反射镜及后反射镜，并使光穿过激励激光气体的放电区域而进行往返。前反射镜的朝向外侧的面相对于与光学谐振腔的光轴垂直的假想平面倾斜。后反射镜具有处于彼此交叉的位置关系的平面状的两个反射区域。分别包括后反射镜的两个反射区域的两个假想平面的交线与前反射镜的朝向外侧的面的倾斜方向并不处于正交的关系。
光学谐振腔

[发明专利]折返光学谐振腔-CN201911087510.6有效
发明人：河村让一;田中研太;万雅史;冈田康弘 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01S3/11 文献下载
摘要：本发明提供一种不易产生反射镜的损伤的折返光学谐振腔。折返光学谐振腔的前反射镜由凹面镜构成，后反射镜具有处于彼此交叉的位置关系的平面状的两个反射区域，配置于前反射镜与后反射镜之间的光轴上的折返镜由凹面镜构成。
折返光学谐振腔

[发明专利]激光退火装置的控制装置及激光退火方法-CN202180043232.3在审
发明人： 冈田康弘;万雅史 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2021-06-14 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：控制装置控制退火装置，该退火装置使激光束入射于半导体晶片的表面，并使激光束的光束点在半导体晶片的表面上移动，从而进行激光退火。该控制装置将激光束的光束点的扫掠速度设为快于半导体晶片的热扩散率除以半导体晶片的厚度而得的值的两倍。由此，能够充分地提高半导体晶片的激光照射面的温度并且能够抑制非照射面的温度上升。
激光退火装置控制方法

[发明专利]气密装置-CN201911065217.X有效
发明人： 冈田康弘;万雅史;田中研太;河村让一 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2023-02-24 - 主分类号： H01S3/036 文献下载
摘要：本发明提供一种无需使用密封机构即可将腔室等气体容器内保持为气密的气密装置。具备配置于填充气体的气体容器外且与气体容器一同形成气密空间的马达容器及旋转轴的马达安装于气体容器。马达容器包括分隔气体容器内的空间与马达容器内的空间的分隔部分。旋转轴从马达容器内穿过设置于分隔部分的第1孔而延伸至气体容器内。分隔部分除了设置有第1孔以外，还设置有使气体在马达容器内的空间与气体容器内的空间之间流通的第2孔。
气密装置

[发明专利]退火装置的控制装置、退火装置、及退火方法-CN202210808731.3在审
发明人： 冈田康弘;万雅史 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2022-07-11 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够进一步抑制与激光照射面为相反侧的面的温度上升的退火装置的控制装置、退火装置、及退火方法。利用光束整形光学元件将从激光光源输出的脉冲激光光束在退火对象物的表面上的光束点整形为在一个方向上长的形状。移动机构使光束点相对于退火对象物移动。控制装置对激光光源及移动机构进行控制，进行一边使脉冲激光光束入射到退火对象物，一边使光束点相对于退火对象物在光束点的长度方向上移动的扫掠动作，由此进行退火。
退火装置控制方法

[发明专利]部件压接装置以及部件压接方法-CN202111417135.4在审
发明人：末野茂;足立聪;辻慎治郎;冈田康弘 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2021-11-25 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G02F1/13 文献下载
摘要：本发明提供一种部件压接装置以及部件压接方法，能够实现安装基板的品质提高。部件压接装置具备：下方承受部；压接工具，在基板的缘部压接部件；校正用具，形成分别作为位置的基准的至少一个校正标记；第1相机以及第2相机；和控制部，一对摄像范围的间隔被调整为基板以及部件的一对对准标记分别作为被摄体而收敛于一对摄像范围内，控制部使第1相机以及第2相机拍摄校正用具的校正标记，根据校正用具的拍摄的结果，进行针对一对摄像范围间的距离的校正，基于一对对准标记的拍摄的结果和校正的结果，控制基于压接工具的部件的压接。
部件装置以及方法

[发明专利]激光振荡器-CN201811580719.1有效
发明人：田中研太;河村让一;万雅史;冈田康弘 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2018-12-24 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种不易受腔室的热变形的影响的激光振荡器。激光介质气体容纳于腔室。一对放电电极在腔室内部的放电空间产生放电。配置于腔室的内部空间的一对谐振腔反射镜支承于腔室，并且构成具有通过放电空间的光轴的光学谐振腔。
激光振荡器

[发明专利]评价装置、评价方法及显示装置-CN201811600387.9有效
发明人： 冈田康弘;万雅史;田中研太;河村让一 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2018-12-26 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种无需在激光装置的各部安装传感器即可利用简单的方法来检测动作异常的激光装置的评价装置。将从激光振荡器的开始激励至激光脉冲的上升为止的经过时间(即，累积时间)与取决于激光脉冲的脉冲能量的脉冲能量依存物理量的正常的对应关系存储于存储部。由数据获取部获取表示评价对象的激光振荡器的激励开始时刻的信息及从评价对象的激光振荡器输出的激光脉冲的光强度的随时间变化的测定结果。判定部根据由数据获取部获取的信息计算出累积时间及脉冲能量依存物理量，并将累积时间的计算值及脉冲能量依存物理量的计算值与正常的对应关系进行比较，从而判定评价对象的激光振荡器的动作的正常性。
评价装置方法显示装置

[发明专利]激光退火装置-CN201610955064.6有效
发明人：若林直木;万雅史;冈田康弘;铃木刚臣;木村定彦;坂本正树 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2016-11-03 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种能够推测注入于较深区域的掺杂剂的活性化率的激光退火装置。退火对象物保持在从激光光源输出的激光束入射的位置。红外线检测器检测来自退火对象物的热辐射光。在从退火对象物到红外线检测器为止的热辐射光的路径上配置有不使波长比1μm短的光入射到红外线检测器的光学元件。
激光退火装置

[发明专利]激光控制装置-CN201910004435.6有效
发明人：田中研太;河村让一;万雅史;冈田康弘;田坂泰久 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2019-01-03 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： H01S3/13 文献下载
摘要：本发明提供一种能够抑制脉冲能量的偏差的激光控制装置。激光控制装置求出输出脉冲激光束的激光振荡器开始激励至激光脉冲的上升为止的经过时间即累积时间作为测定值。根据累积时间的测定值，计算出从激光振荡器输出的激光脉冲的脉冲宽度的指令值。控制激光振荡器以使当前输出的激光脉冲的脉冲宽度成为计算出的指令值。
激光控制装置

[发明专利]激光退火方法及激光控制装置-CN202010392037.9在审
发明人： 冈田康弘;万雅史 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2020-05-11 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H01L21/268 文献下载
摘要：本发明提供一种能够抑制半导体晶片的非照射面的温度上升并且能够高效地对照射面进行加热的激光退火方法。使激光脉冲周期性地入射于半导体晶片从而进行退火。此时，使下一周期的激光脉冲入射于基于上一次的激光脉冲的入射而温度上升后处于冷却过程中的位置。
激光退火方法控制装置

[发明专利]部件安装装置以及部件安装方法-CN202010375994.0在审
发明人： 冈田康弘;松尾畅也 -专利权人：松下知识产权经营株式会社
申请日： 2020-05-06 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H05K13/04 文献下载
摘要：本发明提供一种部件安装装置以及部件安装方法，在防止装置的大型化的同时通知部件的冲裁不良状况。部件安装装置具备：冲裁单元(107)，一边以给定的间隔进给带构件(200)，一边从带构件(200)依次冲裁部件(202)，该带构件(200)以给定的间隔设置有多个部件(202)；安装头(142)，保持部件(202)并安装到基板(201)；摄像单元(116)，对保持于安装头(142)的状态的部件(202)进行摄像；和运算部(410)，根据摄像单元(116)摄像的摄像数据，计算表示部件(202)的端缘与部件所具备的对准标记(222)的位置关系的关系信息并进行通知。
部件安装装置以及方法

[实用新型]印刷机械-CN201921610510.5有效
发明人： 冈田康弘 -专利权人：脉欣仪器有限公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： B41F31/00 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种印刷机械，包括：印刷机械主体，该印刷机械主体内设有印刷用油墨供给装置；和电器箱，与所述印刷机械主体相连，其内部设置有控制组件或/和电气组件，其用于印刷机械上各个构成装置的电气供给，其具有气密性结构；还包括：供气管，与所述电器箱连通，用于给所述电器箱供给空气或惰性气体；和差压开关，其根据给所述电器箱内供给的空气或惰性气体的压力进行开闭；在对印刷机械上各个构成装置进行电气供给及控制前，通过所述供气管给所述电器箱供给空气或惰性气体；当所述电器箱内的空气或惰性气体的压力大于外部气压达到所定压力值时，所述差压开关打开；在差压开关打开后，通过所述电器箱开始对印刷机械上各个构成装置进行电气供给。这种印刷机械能将电器箱内的易燃易爆气体排除干净以确实消除安全隐患。
印刷机械

[发明专利]气体激光装置-CN201911087507.4在审
发明人： 冈田康弘;万雅史;田中研太;河村让一 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： H01S3/034 文献下载
摘要：本发明提供一种无需在腔室内配置用于去除微粒的专用的装置也能够抑制由微粒引起的反射镜等光学组件的劣化的气体激光装置。在充满有激光气体的腔室之中配置有封闭激光的光学谐振腔。在高度方向上，用于将激光气体导入到腔室中的导入端口设置在配置有光学谐振腔的范围内或比配置有光学谐振腔的范围更高的位置。激光气体经由排气端口从腔室中排出。
气体激光装置

[发明专利]气体激光装置及激光振荡方法-CN201911087506.X在审
发明人：河村让一;田中研太;万雅史;冈田康弘 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2019-11-08 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： H01S3/041 文献下载
摘要：本发明提供一种能够提高光束点的位置精度并且能够抑制效率的下降的气体激光装置。所述气体激光装置在激光气体进行循环的循环流路的一部分(即，放电区域)产生放电从而输出激光束。热交换器对在循环流路中循环的激光气体进行冷却。温度传感器测定从热交换器流向放电区域的激光气体的温度。控制装置根据温度传感器的温度测定值控制热交换器的冷却能力，以使温度传感器的测定值成为30℃以下的目标温度。
气体激光装置振荡方法

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