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[实用新型]一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置-CN201220275545.X有效
发明人：洪婧;陈军;刘黎明;关永卿;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： F16J15/43 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的伞架密封传动装置，特点是包括磁流体密封、从外到内依次设置的同中心轴的固定法兰、传动轴和固定轴，所述传动轴与所述固定轴之间和所述传动轴与所述固定法兰之间均设有磁流体密封，所述传动轴和伞架传动连接。本实用新型传动结构不易磨损；将真空镀膜设备所需的辅助管路放置在固定轴内，安装检修方便。
一种用于真空镀膜设备伞架密封传动装置

[实用新型]一种用于真空镀膜设备的观察窗-CN201220275532.2有效
发明人：陈虹飞;陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： C23C14/52 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的观察窗，包括观察窗主体和设在所述观察窗主体上的观察孔，所述观察孔内设有透光玻璃，还包括调光玻璃、保护膜和主动轴，所述观察窗本体上设有安装所述主动轴的孔，所述主动轴穿过所述孔与所述观察窗主体密封连接；所述调光玻璃设置在所述透光玻璃的外侧即所述透光玻璃背离真空镀膜机腔体的一侧，所述保护膜设置在所述透光玻璃的内侧即所述透光玻璃靠近真空镀膜机腔体的一侧。本实用新型中保护膜的调整及透光度的调整随时可以进行，保证了镀膜的顺利进行；采用保护膜可以大大延长观察窗的维护周期，并节约费用。
一种用于真空镀膜设备观察窗

[实用新型]一种真空镀膜机腔体结构-CN201220275551.5有效
发明人：陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-02-20 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜机腔体结构，包括真空镀膜机主体，所述主体内设置有真空腔体，特点是所述真空腔体的上端设为与基片伞架形状相吻合的半球形，所述真空腔体的下端设为半球形且设有用于安装电子枪的底盘的第一开口，在所述第一开口的两端均设有用于安装加热器的凹槽，所述凹槽的底部设有用于连接所述加热器电源的第二开口，所述第二开口的外侧设有密封挡板。本实用新型缩小了真空腔体体积，保证了电子枪的维护方便，提高了工作效率。
一种真空镀膜机腔体结构

[实用新型]一种多坩埚电子枪-CN201220275517.8有效
发明人： 关永卿;陈军;刘黎明;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多坩埚电子枪，包括多个坩埚、传动轴和盖板，所述多个坩埚沿所述传动轴轴心圆周排列，所述坩埚上方设有盖板，所述盖板上设有孔，还包括一升降机构，所述升降机构设置在所述盖板下方且与所述盖板相连；当镀膜时，所述升降机构将所述盖板下降，所述盖板与坩埚口紧贴；当需要转动坩埚时，所述升降机构将所述盖板升高，所述盖板与坩埚之间产生缝隙，避免盖板与坩埚卡死。本实用新型解决了盖板与坩埚卡死的问题，且盖板紧贴坩埚口，可以防止蒸发源材料通过盖板孔污染其他源材料。
一种坩埚电子枪

[实用新型]一种用于镀膜机的门铰链定位装置-CN201220275099.2有效
发明人：陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： E05F3/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于镀膜机的门铰链定位装置，包括用于固定门铰链和镀膜机腔体的第一固定支架、定位板、用于固定门铰链和门的第二固定支架、活动销，在所述第一固定支架的一端设有所述定位板，所述定位板的侧面设有曲面，所述曲面上设有多个定位槽；所述活动销与所述第二固定支架活动连接且在所述活动销与所述第二固定支架之间设有弹簧；当门开启或关闭时，所述活动销随门在所述定位板的曲面上滑动；当所述活动销滑动到所述定位槽位置时，所述活动销在所述弹簧的作用下插入所述定位槽。本实用新型门开启后，可方便地定位在一个较大开度的位置，不会自由晃动，又不增加关门难度。
一种用于镀膜铰链定位装置

[实用新型]一种可调整真空度的真空镀膜机-CN201220275466.9有效
发明人：刘黎明;陈军;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调整真空度的真空镀膜机，包括真空腔体和低温泵，特点是还包括可控制开口度的插板阀，所述插板阀包括阀体和阀板，所述阀体和阀板密封连接，所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接，另一端与所述低温泵的冷端固定连接。本实用新型在保证工作效率的情况下，可以将真空腔体的真空度控制在一定范围，而不影响低温泵的使用周期。
一种可调整真空真空镀膜

[实用新型]一种用于真空镀膜设备的升降装置-CN201220275478.1有效
发明人：陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： B66F7/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备的升降装置，包括第一固定架、导轨、丝杆、升降机构、摆出机构、托架、蜗轮蜗杆和手柄；所述丝杆和导轨分别固定于所述第一固定架上，所述托架通过固定件与所述摆出机构固定连接，所述升降机构的一端与所述丝杆螺纹连接，另一端与所述导轨滑动连接，所述摆出结构包括两个与所述导轨相套的轴套，所述轴套分别设置在所述升降机构与所述导轨相连一端的上下两侧并可随所述升降机构沿所述导轨上下滑动，所述手柄通过所述蜗轮蜗杆使所述丝杆转动从而带动所述升降机构及摆出机构沿所述导轨上下滑动；所述托架可随所述摆出机构的轴套绕所述导轨转动。本实用新型能方便地将电子枪进行升降和摆出。
一种用于真空镀膜设备升降装置

[实用新型]一种一体化真空镀膜机-CN201220277371.0有效
发明人：陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种一体化真空镀膜机，包括一侧设置有电气柜的真空腔体和设置在真空腔体另一侧的机架，还包括导轨，所述电气柜和所述真空腔体一体式连接；所述导轨设置在所述真空腔体的底部，所述电气柜通过所述导轨与所述机架滑动连接，所述电气柜通过所述导轨可横向移动；所述电气柜的侧面设有多个用于铺设电缆的通孔。本实用新型既保证了真空腔体的维护方便，又减少了占地面积，方便了安装调试，减少了安装调试的周期。
一种一体化真空镀膜

[实用新型]一种真空镀膜装置及真空镀膜控制系统-CN201220237101.7有效
发明人：陈军;刘黎明;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-05-21 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜装置及真空镀膜控制系统，包括真空腔体、真空泵和低温泵，真空腔体的顶部设有伞架，伞架上放置待镀膜的基片，真空腔体内设有e型电子枪，在电子枪内设有排列成圈并可沿圆心转动的坩埚，坩埚内放置有镀膜材料，低温泵与真空腔体的连接管上设计有插板阀，本实用新型采用多个坩埚分别放置不同的镀膜材料，一次完成多层次的镀膜作业，可控开口度的插板阀可精确控制真空腔体内的真空度和气体分布，防止低温泵的冷端因吸入过多的气体而提前饱和失效，在红外辐射加热基片时，也可减少高温热量的辐射对低温泵的影响。
一种真空镀膜装置控制系统

[发明专利]一种真空镀膜装置、真空镀膜控制系统及控制方法-CN201210164106.6有效
发明人：刘黎明;陈军;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2012-05-21 - 公布日： 2012-11-21 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空镀膜装置、真空镀膜控制系统及控制方法，真空镀膜装置包括真空腔体、真空泵和低温泵，真空腔体的顶部设有伞架，伞架上放置待镀膜的基片，真空腔体内设有e型电子枪，e型电子枪上设有排列成圈并可沿圆心转动的坩埚，坩埚内放有镀膜材料，在坩埚加热位的上方设有挡板，低温泵与真空腔体的连接管上设有插板阀，本发明在电子枪的电子束流轨迹控制中采用分区控制原理，在各区间分别控制X轴扫描线圈和Y轴扫描线圈的电流频率，继而控制电子束流在镀膜材料表面各区块的扫描时间，解决了氧化物材料蒸发不均匀产生的深坑现象，有效防止坩埚损坏或基片报废。
一种真空镀膜装置控制系统控制方法

[实用新型]新型加工石英坩埚的金属模具-CN201020194781.X有效
发明人：洪婧;关永卿;胡铁军;阮根才;刘黎明 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2010-05-19 - 公布日： 2011-01-26 - 主分类号： C03B20/00 文献下载
摘要：新型加工石英坩埚的金属模具，包括外筒、底板、成型内筒，所述外筒与成型内筒的夹层内设有进水管，所述成型内筒底部镂空，所述镂空处连接有水冷底座，所述水冷底座上设有真空抽气孔和出水管，所述真空抽气孔与水冷底座上的真空腔连通，所述水冷底座上设有将水路与气路分隔开的冷却立柱。本实用新型的优点及有益效果：内筒没有变形，石英坩埚尺寸精度提高；自动化焊接，焊缝质量好、效率高；取消了内筒和冷却立柱贴合面的间隙，直接进行水冷，提高冷却效果，提高模具使用寿命；减少辅料消耗量和有害气体排放，实现清洁生产。
新型加工石英坩埚金属模具

[实用新型]投入式半导体制冷装置-CN98209578.3无效
发明人：刘志华;关永卿;骆志成;毛立新;李社刚 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 1998-04-19 - 公布日： 1999-06-30 - 主分类号： F25B21/02 文献下载
摘要：本实用新型属制冷装置,它采用二块半导体制冷器的热侧夹置冷却水板置入冷壳体容腔内,腔壁与半导体制冷器冷侧紧贴,腔内剩余空间填绝热材料将冷却水板与冷壳体隔离,在冷却水板的进出水管伸出冷壳体端有绝热层包住水管。使用时,将该装置投入需冷却介质中,由冷壳体直接冷却介质,增加使用数还可达深冷,它比传统半导体制冷装置省去了循环泵,管路,其结构简单,噪音小,热交换效率高,制冷快速,可广泛用于制冷或恒温控制。
投入半导体制冷装置

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