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[发明专利]用于制造PERT太阳能电池的方法-CN201880046023.2有效
发明人：弗洛里恩·巴克霍尔兹;皮尔明·普赖斯;克里斯托弗·皮特 -专利权人：国际太阳能研究中心康斯坦茨协会
申请日： 2018-05-15 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L31/0288 文献下载
摘要：提供了一种用于制造PERT太阳能电池(10)的方法，其具有以下步骤：制备n掺杂或p掺杂的硅基板(1)；实施第一掺杂工艺，利用所述第一掺杂工艺对所述n掺杂或p掺杂的硅基板(1)的至少一侧进行掺杂，或者将至少一个掺杂层施加到所述n掺杂或p掺杂的硅基板(1)的一侧，以生成第一掺杂侧；至少在所述PERT太阳能电池(10)的所述第一掺杂侧上沉积至少一种钝化表面或掩盖表面的物质；实施第二掺杂工艺，利用所述第二掺杂工艺至少掺杂所述n掺杂或p掺杂的硅基板的与所述第一掺杂侧相对的另一侧，或者在其上施加掺杂层，其中，在实施这些步骤之后，对所述PERT太阳能电池(10)的边缘(11，12)进行湿法化学蚀刻，其中，在湿法化学蚀刻时，所述PERT太阳能电池(10)的与所述第一掺杂侧相对的另一侧由水帽(4)保护，并且其中，在将所述钝化表面或掩盖表面的物质(5)至少沉积在所述PERT太阳能电池(10)的所述第一掺杂侧上之后并且在所述边缘的湿法化学蚀刻之前，使沉积在所述PERT太阳能电池(10)的所述第一掺杂侧上的所述钝化表面或掩盖表面的物质(5)通过高温处理来烧结。
用于制造 pert 太阳能电池方法

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