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[发明专利]由不饱和聚酯和聚硅氮烷制成的树脂及由此制得的热固性反应性树脂模制材料-CN201180047289.7有效
发明人： M·鲍尔;S·斯特芬;D·德克尔;F·里希特 -专利权人：弗劳恩霍弗应用技术研究院;克拉瑞特金融（BVI）有限公司
申请日： 2011-09-13 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： C09K21/00 文献下载
摘要：本发明涉及不饱和聚酯树脂，其包含由至少一种不饱和二羧酸和至少一种二醇制得的聚酯或聚酯混合物，及至少一种能够与二羧酸的C=C双键进行共聚合的硅氮烷。此外，本发明还涉及通过使如前所定义的不饱和聚酯树脂进行交联获得的不饱和聚酯树脂模制材料。该模制材料任选可以含有增强性材料。该不饱和聚酯树脂可以通过采用以下步骤制得：a）提供由至少一种二醇和至少一种不饱和二羧酸制得的聚酯；b）提供至少一种能够与二羧酸的C=C双键进行共聚合的硅氮烷；c）将根据（a）和（b）的组分进行混合。该不饱和聚酯树脂模制材料可以由前述聚酯树脂通过其借助自由基引发剂进行完全硬化而制得。
不饱和聚酯聚硅氮烷制成树脂由此热固性反应制材

[发明专利]具有优异防模糊性和防雾性的农用合成树脂膜-CN98800586.7无效
发明人：法元琢也;大泽浩;中村真规 -专利权人： 克拉瑞特金融（BVI）有限公司
申请日： 1998-04-27 - 公布日： 2004-08-11 - 主分类号： C08L101/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种适宜用作温室温度农业覆盖材料的衣用合成树脂膜，从开始铺展后就显示出优异的防模糊性和防雾性，并且所述优异性能可保持超过2年的时间。这种农用合成树脂膜是使用下述成份获得的：(a)作为防模糊剂的下述物质：脱水山梨醇与主要包含24～34个碳原子的高级脂肪酸(褐煤酸蜡)的酯；甘油与褐煤酸蜡的酯和/或它们的氧化烯加合物和/或聚氧乙烯与褐煤酸蜡的酯，和(b)作为防雾剂的含氟表面活性剂，将它们与成膜树脂如氯乙烯树脂、聚乙烯、乙烯/乙酸乙烯酯共聚物捏合，使它们进入膜中。还可各其中掺入下述组份(c)：脱水山梨醇与含12～22个碳原子的高级脂肪酸的酯、甘油与含12～22个碳原子的高级脂肪酸的酯或其氧化烯加合物，以进一步改善防模糊性。
具有优异模糊防雾性农用合成树脂

[发明专利]含有鎓盐型光敏酸发生剂的化学增强辐射敏感组合物-CN99801309.9有效
发明人：格奥尔格·帕夫洛夫斯基;冈崎博;木下义章;津釜奈保子;菱田有高;马晓明;山口优子 -专利权人： 克拉瑞特金融（BVI）有限公司
申请日： 1999-08-09 - 公布日： 2004-07-28 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：一种化学增强辐射敏感组合物，通过一种成膜的羟基苯乙烯基树脂与产生氟化链烷磺酸的鎓盐前体(光敏酸发生剂)混合，提供了该组合物。该组合物不会由于除气引起设备的腐蚀，也没有T形顶图案轮廓，也没有因加工时间延迟产生显著的线宽变化，另一方面，它具有高灵敏性和分辨率，和良好的图形轮廓及稳定性。
含有鎓盐型光敏发生化学增强辐射敏感组合

[发明专利]用于形成辐射吸收涂层的组合物和由其形成的抗反射涂层-CN99801068.5无效
发明人：康文兵;木村健;松尾祥子;西协良典;田中初幸 -专利权人： 克拉瑞特金融（BVI）有限公司
申请日： 1999-06-23 - 公布日： 2004-06-02 - 主分类号： C08G18/80 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于形成辐射吸收涂层的组合物，该组合物包含一种有机溶剂，一种辐射吸收聚合物或一种溶解于其中的辐射吸收材料及具有封端的异氰酸酯基团的交联剂。由于交联剂的异氰酸酯基团被封端，因此，包含该交联剂的组合物具有优异的稳定性。当将组合物涂敷于基底上并烘烤时，交联反应给出抗反射涂层，其不会与通过涂敷在其上形成的抗蚀剂层相互混合，因而不会发生来自抗蚀剂层的光产酸的扩散。结果，可形成无沉积或浮渣的抗蚀剂图像。
用于形成辐射吸收涂层组合反射

[发明专利]光致抗蚀图形的形成方法-CN99802141.5无效
发明人：康文兵;松尾祥子;木村健;西胁良典;田中初幸 -专利权人： 克拉瑞特金融（BVI）有限公司
申请日： 1999-11-17 - 公布日： 2004-04-07 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：在据照相平版法(光刻)的集成电路元件的制备方法中，一个可降低在形成抗蚀图形过程中由于基片的性质或基片表面的酸度所导致的不利影响的方法，其中用一个化学增强性抗蚀剂作为光致抗蚀剂，以及一个用于该方法的基片处理剂组合物。该基片处理剂组合物包含一个含有由至少一个如伯、仲、叔胺和含氮的杂环化合物的碱性化合物与一个如磺酸或羧酸的有机酸所形成的盐的溶液，把该组合物涂敷在一个具有底部抗反射涂层，如SioN层的基片表面上，接着将其烘烤，如需要还可清洗之，然后在上述处理过的基片上涂敷化学增强性抗蚀剂，接着进行曝光和显影，由此在该基片上可形成一个光致抗蚀图形。
光致抗蚀图形形成方法

[发明专利]水溶性树脂组合物-CN00801157.5有效
发明人：神田崇;田中初幸 -专利权人： 克拉瑞特金融（BVI）有限公司
申请日： 2000-06-16 - 公布日： 2004-01-14 - 主分类号： C08L101/14 文献下载
摘要：一种水溶性树脂组合物，其中包含有(1)水溶性树脂，(2)水溶性交联剂，(3)表面活性剂，它至少选自下列物质之一，炔属醇类，乙炔二醇类，炔属醇的乙氧基化物和乙炔二醇的乙氧基化物，以及(4)溶剂，该溶剂可以是水或一个由水与一个水溶性溶剂所组成的混合物。将该水溶性树脂组合物涂敷在光致抗蚀图案上，接着加热并通过抗蚀(剂)层提供的酸使其交联化，然后通过显影(冲洗)除去未交联化的水溶性树脂涂层，该水溶性树脂组合物具有在抗蚀图案上面的涂敷性能，而且在制作精致图案时具有优良的尺寸调节性能。因此，可以使抗蚀图案，例如沟槽图案与孔穴图案有效地得到精致。
水溶性树脂组合