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[发明专利]半导体器件检查装置用布线基板及其制造方法-CN201310043634.0无效
发明人：望月纯;保坂久富;星野智久 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2013-02-04 - 公布日： 2013-08-14 - 主分类号： G01R1/02 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体器件检查装置用布线基板及其制造方法。该半导体器件检查装置用布线基板具有较低的热膨胀率和较高的机械强度，并且能够易于制造且能够谋求降低制造成本。其特征在于，半导体器件检查装置用布线基板包括：金属基材，其是通过将利用蚀刻在规定部位形成有多个透孔的金属板材以使上述透孔的位置重叠的方式层叠并进行固定接合而形成的；树脂层，其配置于上述金属基材的表面和上述透孔的内壁部；导体图案，其以与上述金属基材之间被上述树脂层电绝缘的状态配置。
半导体器件检查装置布线及其制造方法

[发明专利]探针卡-CN200910171094.8无效
发明人：望月纯;保坂久富 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-06-19 - 公布日： 2010-02-24 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明提供一种可以与电极间隔窄的被检测体相对应、制造简单、并且价格便宜的探针卡。在探针卡(2)的印刷布线基板(12)的下表面一侧设置有探针支承板(11)。在探针支承板(11)上支承有多个探针(10)。探针(10)由上部接触子(20)、下部接触子(21)、以及主体部(22)构成。上部接触子(20)的上端部向探针支承板(11)的上方突出并与印刷布线基板(12)的端子(12a)接触。下部接触子(21)的下端部向探针支承板(11)的下方突出，并且在检测时与晶片的电极接触。在探针支承板(11)上形成有用于卡定探针(10)的通孔(30a)和凹部(30b)，探针(10)可以相对于探针支承板(11)从上方自由地拔出插入。
探针

[发明专利]挤压件-CN200610131830.3有效
发明人：竹腰清;保坂久富;荻原顺一;初鹿国彦;臼井孝公;金子尚史;早坂伸夫;井户义幸 -专利权人：东京毅力科创株式会社;IBIDEN股份有限公司
申请日： 2002-11-27 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种挤压件，其具备接触器、晶片固定装置以及存放在该晶片固定装置上的半导体晶片(W)，该接触器具有耐热片基以及在该耐热片基上形成的导体电路，被用来在不低于160℃的温度下执行可靠性评估测试，该耐热片基的热膨胀系数为1～50ppm/℃，在使该接触器的连接衬垫部分和半导体晶片的电极衬垫完全接触的状态下，将该晶片固定装置、该半导体晶片及该接触器组合成一体。
挤压

[发明专利]探针卡-CN200710111965.8无效
发明人：望月纯;保坂久富 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-06-19 - 公布日： 2007-12-26 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明提供一种可以与电极间隔窄的被检测体相对应、制造简单、并且价格便宜的探针卡。在探针卡(2)的印刷布线基板(12)的下表面一侧设置有探针支承板(11)。在探针支承板(11)上支承有多个探针(10)。探针(10)由上部接触子(20)、下部接触子(21)、以及主体部(22)构成。上部接触子(20)的上端部向探针支承板(11)的上方突出并与印刷布线基板(12)的端子(12a)接触。下部接触子(21)的下端部向探针支承板(11)的下方突出，并且在检测时与晶片的电极接触。在探针支承板(11)上形成有用于卡定探针(10)的通孔(30a)和凹部(30b)，探针(10)可以相对于探针支承板(11)从上方自由地拔出插入。
探针

[发明专利]探针卡-CN200580021674.9有效
发明人：雨宫贵;保坂久富;米沢俊裕;塚田秀一 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2005-06-29 - 公布日： 2007-06-06 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明的目的在于，即使在探针卡的接触器与探测装置内的被检体之间的平行被破坏时也能够将两者调整为平行状态并进行高可靠性的检测。本发明的探针卡通过固定件而被安装在探测装置上，该探针卡包括：接触器；电路基板，与该接触器电连接；加强部件，对该电路基板进行加强；以及平行调整机构，对所述接触器与配置在所述探测装置内的被检体之间的平行度进行调整。
探针

[发明专利]探针卡-CN200580002852.3无效
发明人： 保坂久富 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2005-01-20 - 公布日： 2007-02-07 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明的目的在于使接触器与被检体不受热量的影响而可靠地电连接，并能够缩短预热时间，进而提高效率。本发明的探针卡包括：接触器；印制线路板；处于上述接触器与上述印制线路板之间并使这二者弹性地电接触的内插器；将它们一体化的连结部件；以及对通过该连结部件而一体化的印制线路板进行加强的加强部件。
探针

[发明专利]检测卡-CN200510002558.4无效
发明人： 保坂久富 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2005-01-20 - 公布日： 2005-07-27 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种检测卡，其具备接触器；印刷线路板；在上述接触点和上述印刷线路板之间，将二者弹性且电气接触的插入物；将它们一体化的连结部件；以及增前经过该连结部件而一体化的印刷线路板的增强部件。
检测

[发明专利]可靠性评估测试装置、可靠性评估测试系统、接触器以及可靠性评估测试方法-CN02821110.3无效
发明人：竹腰清;保坂久富;荻原顺一;初鹿国彦;臼井孝公;金子尚史;早坂伸夫;井户义幸 -专利权人：东京毅力科创株式会社;株式会社东芝;IBIDEN股份有限公司
申请日： 2002-11-27 - 公布日： 2005-02-02 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：可靠性评估测试装置(10)，包括晶片存放单元(12)，该存放单元存放晶片(W)，该晶片则处于该晶片上形成的若干器件的电极衬垫与接触器(11)的凸起彼此完全电气接触的状态。该晶片存放单元(12)向/从测量单元(15)发送/接收一个测试信号，并具有与外界隔离的绝热结构。该晶片存放单元(12)具有对接触器(11)加压的压力机构(13)以及直接将与接触器(11)完全接触的晶片(W)加热到预定高温的加热机构(14)。该半导体晶片上形成的一层互连膜与绝缘膜的可靠性可以在加速条件下加以评估。
可靠性评估测试装置系统接触器以及方法