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[发明专利]一种体声波谐振器、声学滤波器及电子设备-CN202280006025.5在审
发明人：张本锋;黄裕霖;李昕熠;高宗智;侯航天 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本申请的实施例提供一种体声波谐振器、声学滤波器及电子设备，涉及半导体技术领域，可以提升声学滤波器的性能。该体声波谐振器包括压电材料层、叉指换能器和介质层；叉指换能器设置于压电材料层上，叉指换能器包括相对设置的第一汇流条、第二汇流条、多个第一电极指和多个第二电极指，多个第一电极指沿第一汇流条延伸方向，依次从第一汇流条向第二汇流条突出；多个第二电极指沿第二汇流条延伸方向，依次从第二汇流条向第一汇流条突出；其中，多个第一电极指和多个第二电极指在第一汇流条和第二汇流条之间依次交错排布；介质层覆盖压电材料层以及叉指换能器，介质层位于至少一对相邻的第一电极指和第二电极指之间的部分的厚度有高低起伏。
一种声波谐振器声学滤波器电子设备

[发明专利]滤波器以及滤波器的制备方法-CN202080108240.7在审
发明人： 侯航天;杜波;刘鹏;高宗智 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-12-31 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H03H9/54 文献下载
摘要：一种滤波器(100)和滤波器(100)的制备方法，该滤波器(100)包括：衬底(10)；串联谐振器(20)，串联谐振器(20)包括依次堆叠于衬底(10)之上的第一布拉格反射层(201)和第一压电换能结构(202)；并联谐振器(30)，并联谐振器(30)包括依次堆叠于衬底(10)之上的第二布拉格反射层(301)和第二压电换能结构(302)，第一布拉格反射层(201)的结构与第二布拉格反射层(301)的结构不同；串联支路(C)，所述串联支路(C)包括所述串联谐振器(20)，所述串联支路(C)耦合于所述滤波器输入端(Vi)和所述滤波器输出端(Vo)之间；并联支路(P)，所述并联支路(P)包括所述并联谐振器(30)，所述并联支路(P)耦合于所述串联支路(C)与公共地(Gnd)之间；该结构可以提高滤波器(100)的滤波性能。
滤波器以及制备方法

[发明专利]谐振器及其制备方法、滤波器、电子设备-CN202080105371.X在审
发明人： 侯航天;杜波;刘鹏;高宗智 -专利权人：华为技术有限公司
申请日： 2020-09-23 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：一种谐振器及其制备方法、滤波器、电子设备，该谐振器包括依次堆叠设置的衬底(3)、布拉格反射层(2)以及压电层(1)；压电层(1)朝向布拉格反射层(2)的表面设置有第一电极(11)，压电层(1)背离布拉格反射层(2)的表面设置有第二电极(12)；第二电极(12)背离压电层(1)的表面设置有的边界环(13)，谐振器具有第一谐振区域(A1)和与边界环(13)对应的第二谐振区域(A2)；沿堆叠方向，布拉格反射层(2)包括低声阻结构(21)以及埋设于低声阳结构(21)中的第一高声阻结构(22)；第一高声阻结构(22)设置有与第二谐振区域(A2)对应的不连续性结构(D，F)。通过合理设计第一高声阳结构(22)，可以减弱边界环(13)产生的边界模式谐波影响，保持谐振器的高品质因子；此外，第一高声阻结构(22)的制作工艺实现可行性强。
谐振器及其制备方法滤波器电子设备