专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种基于MEMS的远紫外紫外探测器校准用热电堆结构-CN202310084212.1在审
  • 陈玉;王子怡;李昌熹;侯潇涵;钟辉;王双;成永红 - 西安交通大学
  • 2023-02-02 - 2023-07-04 - H10N10/17
  • 本发明公开了一种基于MEMS的远紫外紫外探测器校准用热电堆结构,包括硅基底,在硅基底上有支撑层、吸收层、热电偶对、铝导线、铝电极和单晶硅材料结构。采用双层热电偶堆叠结构提高器件占空比,在保持一层结构尺寸不变的情况下可铺设更多的热电偶对,提高了探测器的响应率。采用圆形结构符合温度以吸收层中心点为圆心呈径向扩散向周围递减的分布趋势,达到热电偶对的热端能更接近温度较高区域且热电偶对热端温度更均匀一致,提高了探测器的响应率。实现了将远紫外紫外辐射源的辐射能量转化为输出温差电动势,通过建立傅里叶定律以及塞贝克效应的数学模型进行计算,从而测得远紫外紫外辐射源的热流量密度。
  • 一种基于mems紫外探测器校准热电结构

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