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[实用新型]一种高精度纳米划痕测试装置-CN202320766359.4有效
发明人：张浩飞;吴浩翔;王博;何贵浩;刘通;刘宇欣;黄雅明;黄虎 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G01N3/46 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高精度纳米划痕测试装置，属于机电一体化领域。测试装置包括底座、大理石龙门架、z轴方向宏动调整单元、精密压入驱动单元、横向力检测单元、x轴方向调整单元、y轴方向调整单元和轴向力检测单元。其中z轴方向宏动调整单元安装在大理石龙门架上，精密压入驱动单元安装在z轴方向宏动调整单元上，横向力检测单元安装在精密压入驱动单元底部，x轴方向调整单元、y轴方向调整单元安装在底座上，轴向力检测单元安装在x轴方向调整单元上。优点在于：通过合理设计划痕主运动与力检测单元的结构，达到了结构简单、加工方便的目的，且可以实时检测划痕过程轴向力和横向力，提高了判断涂层剥落或延脆转变临界力的精准度。
一种高精度纳米划痕测试装置

[实用新型]可用于扫描电镜内原位观测的小型化划痕测试装置-CN202320631349.X有效
发明人： 何贵浩;吴浩翔;王博;张浩飞;刘通;刘宇欣;黄雅明;黄虎 -专利权人： 何贵浩
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可用于扫描电镜内原位观测的小型化划痕测试装置，属于材料力学性能测试领域。该装置包括底座、压电精密压入单元、压电精密划痕单元、轴向力传感器和横向力传感器。压电精密压入单元、压电精密划痕单元分别固定在底座上；轴向力传感器和横向力传感器均由弹性梁与应变片组组成，分别固定在压电精密压入单元、压电精密划痕单元上。优点在于：可以同时实现横向力与轴向力的测量，且横向力和轴向力间无耦合，测量精度高；该装置结构紧凑，三维尺寸为90mm×70mm×70mm，可满足绝大多数扫描电镜真空腔体积的限制。
用于扫描电镜原位观测小型化划痕测试装置

[发明专利]一种用于涂层附着力测试的大载荷划痕装置与方法-CN202310309998.2在审
发明人：王博;吴浩翔;何贵浩;张浩飞;刘通;刘宇欣;黄雅明;黄虎 -专利权人：王博
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G01N19/06 文献下载
摘要：本发明提出了一种用于涂层附着力测试的大载荷划痕装置与方法，测试装置具体为：x轴精密定位单元、y轴精密定位单元、z轴精密定位及加载单元、声信号检测单元、三维力信号检测单元。声信号检测单元安装在z轴精密定位及加载单元上，三维力信号检测单元安装在y轴精密定位单元上，y轴精密定位单元安装在x轴精密定位单元上。本发明将声信号检测单元与微米划痕测试相结合，并进行了合理的结构设计，避免了加载载荷对声传感器带来的直接冲击影响，因此可以得到更精确的涂层破碎点，提高了测试精度。装置具有大范围的三自由度定位能力以及大范围加载能力，为测试高强度高硬度的涂层材料表面特征提供了技术支撑。
一种用于涂层附着力测试载荷划痕装置方法

[发明专利]一种用于振动辅助划痕测试的装置与方法-CN202310502844.5在审
发明人：黄虎;吴浩翔;刘通;刘宇欣;何贵浩;王博;张浩飞;黄雅明;姚远 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-05-06 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： G01N3/42 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于振动辅助划痕测试的装置与方法，属于精密测试领域。振动辅助划痕测试装置主要由龙门架、z轴电机平台、精密加载模块、精密测量模块、压头、振动辅助模块、x轴电机平台、y轴电机平台和底座组成。在振动辅助划痕测试方法中，首先将待测试样粘贴到载物台上，然后控制z轴电机平台下压使压头接触到试样，之后抬起脱离接触同时运动y轴电机平台使压头与接触压痕错开，再控制精密加载模块加载到指定划痕载荷，控制振动辅助模块按照设定的振幅频率进行振动同时控制x轴电机平台按设定速度进行划痕测试，最后控制精密加载模块向上运动进行载荷卸载。
一种用于振动辅助划痕测试装置方法

[实用新型]一种用于涂层附着力测试的大载荷划痕装置-CN202320631352.1有效
发明人：王博;吴浩翔;何贵浩;张浩飞;刘通;刘宇欣;黄雅明;黄虎 -专利权人：王博
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01N19/04 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种用于涂层附着力测试的大载荷划痕装置，测试装置具体为：x轴精密定位单元、y轴精密定位单元、z轴精密定位及加载单元、声信号检测单元、三维力信号检测单元。声信号检测单元安装在z轴精密定位及加载单元上，三维力信号检测单元安装在y轴精密定位单元上，y轴精密定位单元安装在x轴精密定位单元上。本实用新型将声信号检测单元与微米划痕测试相结合，并进行了合理的结构设计，避免了加载载荷对声传感器带来的直接冲击影响，因此可以得到更精确的涂层破碎点，提高了测试精度。装置具有大范围的三自由度定位能力以及大范围加载能力，为测试高强度高硬度的涂层材料表面特征提供了技术支撑。
一种用于涂层附着力测试载荷划痕装置

[发明专利]可用于扫描电镜内原位观测的小型化划痕测试装置及方法-CN202310310003.4在审
发明人： 何贵浩;吴浩翔;王博;张浩飞;刘通;刘宇欣;黄雅明;黄虎 -专利权人： 何贵浩
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01N3/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种可用于扫描电镜内原位观测的小型化划痕测试装置及方法，属于材料力学性能测试领域。该装置包括底座、压电精密压入单元、压电精密划痕单元、轴向力传感器和横向力传感器。压电精密压入单元、压电精密划痕单元分别固定在底座上；轴向力传感器和横向力传感器均由弹性梁与应变片组组成，分别固定在压电精密压入单元、压电精密划痕单元上。优点在于：可以同时实现横向力与轴向力的测量，且横向力和轴向力间无耦合，测量精度高；该装置结构紧凑，三维尺寸为90mm×70mm×70mm，可满足绝大多数扫描电镜真空腔体积的限制。
用于扫描电镜原位观测小型化划痕测试装置方法

[发明专利]一种用于压划痕测试中倾斜校正的装置与方法-CN202310408847.2在审
发明人：吴浩翔;刘通;刘宇欣;何贵浩;王博;张浩飞;黄雅明;姚远;黄虎 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01N3/62 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于压划痕测试中倾斜校正的装置与方法，属于精密测试领域。倾斜校正装置主要由载物台(1)、压电精密定位单元a(2‑a)、压电精密定位单元b(2‑b)、压电精密定位单元c(2‑c)和底板(3)组成。所述的压电精密定位单元a(2‑a)、压电精密定位单元b(2‑b)和压电精密定位单元c(2‑c)完全相同。校正方法为，利用压划痕测试仪在等腰直角三角形的三个顶点上进行小载荷压痕，测量三点的z向坐标，并计算得到试样绕x轴和y轴的偏转角度，之后通过倾斜校正装置修正试样的倾斜角度。本发明的优点在于：可以准确测量试样的倾斜角度，三组柔性机构成等边三角形排列可以减小装置尺寸，柔性机构采用二级放大可以提高校正范围。
一种用于划痕测试倾斜校正装置方法

[发明专利]一种高精度纳米划痕测试装置与方法-CN202310371586.1在审
发明人：张浩飞;吴浩翔;王博;何贵浩;刘通;刘宇欣;黄雅明;黄虎 -专利权人：吉林大学
申请日： 2023-04-10 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01N3/46 文献下载
摘要：本发明涉及一种高精度纳米划痕测试装置与方法，属于机电一体化领域。测试装置包括底座、大理石龙门架、z轴方向宏动调整单元、精密压入驱动单元、横向力检测单元、x轴方向调整单元、y轴方向调整单元和轴向力检测单元。其中z轴方向宏动调整单元安装在大理石龙门架上，精密压入驱动单元安装在z轴方向宏动调整单元上，横向力检测单元安装在精密压入驱动单元底部，x轴方向调整单元、y轴方向调整单元安装在底座上，轴向力检测单元安装在x轴方向调整单元上。优点在于：通过合理设计划痕主运动与力检测单元的结构，达到了结构简单、加工方便的目的，且可以实时检测划痕过程轴向力和横向力，提高了判断涂层剥落或延脆转变临界力的精准度。
一种高精度纳米划痕测试装置方法

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