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[发明专利]流体输送系统、方法、控制设备及可读存储介质-CN202310167924.X在审
发明人：张国庆;杨苏;任春虎;张广平;洪兴峰 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2023-02-22 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本公开提供了一种流体输送系统、方法、控制设备及可读存储介质，流体输送系统包括流体储存装置、流体支管、流体主管、泵和控制器，流体支管连通流体储存装置且设置有第二阀，流体主管连接流体支管和制程腔室且设置有第一阀，流体支管设置检测装置以获取流体信息，泵与制程腔室连接，控制器根据流体信息控制第一阀、第二阀和泵的状态。控制器根据某一制程腔室的流体信息，判断该流体输送通道内出现堵塞时，控制器能够控制第一阀、第二阀和泵的状态，以阻止该流体输送通道内的流体回灌流体支管进而回流至流体储存装置，避免对流体储存装置内的流体纯度产生影响，进而避免流体储存装置向其余正常的制程腔室输送低纯度流体的情况，提高了产品良率。
流体输送系统方法控制设备可读存储介质

[发明专利]晶圆传送盒及其控制系统-CN202310070208.X在审
发明人： 任春虎;杨军;张国庆;洪兴峰;田乐 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2023-01-12 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本公开提供了一种晶圆传送盒及其控制系统。晶圆传送盒包括壳体、多层支撑凸缘、隔板和排气通道。其中，壳体内具有第一腔室，用于容纳晶圆；多层支撑凸缘凸出于第一腔室的内壁并在竖直方向上间隔分布，用于承载晶圆；隔板设于多层支撑凸缘之间，将第一腔室分隔为多个第一子腔室，第一子腔室的侧壁开设有排气孔；排气通道位于壳体内并与外部连通，排气通道在壳体内位于第一腔室的外侧，并与排气孔连通。本公开实施例的晶圆传送盒能够避免未加工的晶圆受到污染，提高半导体产品的良率。
传送及其控制系统

[发明专利]机械手臂的校正装置-CN202110583905.6在审
发明人：杨军;任春虎;田乐;王刘光 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种机械手臂的校正装置，包括：第一机械手臂，位于真空传输腔室；第一治具晶圆，包括第一晶圆主体及第一治具，第一治具位于第一晶圆主体的正面；第一测距传感器，位于第一晶圆主体背面的中心位置，用于探测第一治具晶圆的中心与晶圆吸盘的中心是否对准；第二测距传感器，位于第一晶圆主体的正面，且位于第一治具的外侧，用于检测第一机械手臂控制第一治具晶圆在晶圆吸盘上表面的取放时抬起的高度；第一控制装置，与第一测距传感器和第二测距传感器相连接，用于在第一治具晶圆的中心与晶圆吸盘的中心有偏差时发出控制信号；和驱动装置，与第一控制装置相连接，用于在接收到控制信号后控制第一治具带动第一晶圆主体移动。
机械手臂校正装置

[发明专利]机械手臂的校正方法-CN202110583355.8有效
发明人：杨军;任春虎;田乐;王刘光 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2021-05-27 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种机械手臂的校正方法，包括：提供校正装置，所述校正装置包括治具晶圆；使用机械手臂抓取和/或传送所述治具晶圆，以得到采集数据；基于所述采集数据判断是否需要对所述机械手臂进行校正；当需要对所述机械手臂进行校正时，根据所述采集数据得到补偿值，并基于所述补偿值对所述机械手臂进行校正。上述机械手臂的校正方法，无需人工使用外接手柄和校正治具进行操作，可避免手动校准导致的误操作风险，减少由于误操作而造成的额外损失，从而提高机械手臂校正过程的准确性；同时本申请提供的机械手臂的校正方法，无需打开腔室即可完成校正，在校正完成后也无需进行复机工作，可以有效地减少机台的宕机时间，提升机台工作效率。
机械手臂校正方法

[实用新型]一种新型的自动寻找盲区吊位的塔吊设备-CN202121257392.1有效
发明人：徐庆龙;张朝霞;赵善善;任春虎;梁红日;高德峰;薛敏 -专利权人：德州天元集团有限责任公司
申请日： 2021-06-07 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： B66C23/26 文献下载
摘要：本实用新型提供一种新型的自动寻找盲区吊位的塔吊设备，包括下塔身架，稳定支撑座，回转机构平台，工作台，上塔身架，塔吊驾驶室，平衡臂架，配重块，第一拉杆，吊臂，第二拉杆，变幅小车，升降吊钩，摄像头，定位仪，升降台架结构和辅助连接架结构，所述的下塔身架下端螺栓安装有稳定支撑座；所述的回转机构平台螺栓安装在下塔身架的上端，同时回转机构平台上端螺栓安装有工作台；所述的上塔身架螺栓安装在工作台上端的中间部位；所述的塔吊驾驶室螺栓安装在工作台上端的前部左侧。本实用新型的有益效果为：通过升降台架结构和辅助连接架结构的设置，便于配合组装板和站立板升降进行使用，从而使工作人员到达工作台上进行工作使用。
一种新型自动寻找盲区塔吊设备

[发明专利]晶圆传送装置及半导体处理设备-CN201911132100.9在审
发明人： 任春虎 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种晶圆传送装置和一种半导体处理设备，所述晶圆传送装置包括：底座；机械臂，所述机械臂一端固定于所述底座，可绕所述底座转动，另一端设置有承载部，用于放置晶圆；静电吸附组件，与所述承载部之间相对固定连接，用于通过静电吸附力将晶圆吸附于所述承载部表面。所述晶圆传送装置能够减少晶圆破片风险。
传送装置半导体处理设备

[实用新型]一种适用于多种型号塔机的水平防护装置-CN202020914192.8有效
发明人：徐庆龙;张朝霞;梁红日;沙鲁霞;李洋;任春虎;高德峰 -专利权人：德州天元集团有限责任公司
申请日： 2020-05-27 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： B66C23/62 文献下载
摘要：本实用新型提供一种适用于多种型号塔机的水平防护装置，包括塔机，多型号可调节抱箍环梁结构，可调节支撑骨架，砌体垂直防护墙，连接板，防护钢板和可拆卸式警示牌结构，所述的塔机安装基坑内部，并通过多型号可调节抱箍环梁结构进行固定，所述的可调节支撑骨架一端连接砌体垂直防护墙，另一端连接多型号可调节抱箍环梁结构。本实用新型主调节弯梁，主调节中空弯梁，从调节中空弯梁，从调节弯梁和调节螺栓的设置，有利于适用于多种型号的塔机安装，并可进行调节，便于拆卸，便于进行周转，方便操作；法兰盘，可调节方管，固定方管，定位孔和定位销的设置，有利于伸缩调节，满足固定需求，可进行拆卸，操作简单，工作效率高，便于周转。
一种适用于多种型号水平防护装置

[实用新型]晶圆传送装置及半导体处理设备-CN201921997172.5有效
发明人： 任春虎 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种晶圆传送装置和一种半导体处理设备，所述晶圆传送装置包括：底座；机械臂，所述机械臂一端固定于所述底座，可绕所述底座转动，另一端设置有承载部，用于放置晶圆；静电吸附组件，与所述承载部之间相对固定连接，用于通过静电吸附力将晶圆吸附于所述承载部表面。所述晶圆传送装置能够减少晶圆破片风险。
传送装置半导体处理设备

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