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[发明专利]流体控制阀和流体控制装置-CN202111014079.X在审
发明人： 今井和也 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： F16K1/36 文献下载
摘要：本发明提供流体控制阀和流体控制装置，不牺牲阀体的驱动区域就能实现扩大接触面，而且在由树脂层形成所述接触面的基础上能够实现提高量产性，流体控制阀(V)将来自致动器(30)的动力通过柱塞(40)传递到阀体(20)，通过阀体(20)的接触面(21)相对于阀座(10)的阀座面(11)接触分离来控制流体的流动，阀体(20)与柱塞(40)分开，接触面(21)由树脂层(20b)形成。
流体控制装置

[发明专利]流体控制装置-CN201911180542.0在审
发明人：堀口博史;安田忠弘;今井和也 -专利权人：株式会社堀场STEC
申请日： 2019-11-27 - 公布日： 2020-07-07 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供流体控制装置，能够高精度地控制流道中流通的流体。流体控制装置包括：块件，内部具有供流体流通的流道；阻力件，设置在所述流道内，且所述流体流过所述阻力件；第一压力传感器，检测所述阻力件的上游侧的压力；第二压力传感器，检测所述阻力件的下游侧的压力；以及流体控制阀，根据所述第一压力传感器和所述第二压力传感器的检测值控制所述流体。所述块件在内部还具有构成所述流道的一部分并收容所述阻力件的收容部，构成所述流道的比所述收容部更靠下游侧的下游侧流道的基端连接于所述收容部中的供流过所述阻力件之后的流体流通的下游侧区域，所述第二压力传感器连接于所述收容部的下游侧区域或所述下游侧流道的基端附近。
流体控制装置