专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种蒸镀冷却板-CN201810143221.2有效
  • 井昱 - 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
  • 2018-02-11 - 2020-02-21 - C23C14/24
  • 本发明公开了一种蒸镀冷却板,用于解决现有精细金属掩膜蒸镀贴合存在某区域褶皱,没有办法消除所有的褶皱的问题。本发明实施例冷却板设置有多个磁力单独可控的磁力单元,每个磁力单元上都设置有磁力单元一一对应的力学传感器,用于检测磁力单元对应位置的精细金属掩膜板贴合后对冷却板的作用力信息。还设有控制单元,其中,控制单元与各力学传感器和磁力单元连接,用于根据各力学传感器的反馈的作用力信息控制对应的磁力单元的磁力大小。在具体蒸镀贴合时,如果冷却板存在某区域褶皱,控制单元根据力学传感器的反馈,进而控制力学传感器对应的磁力单元的磁力大小。这种方式能够针对不同的区域褶皱施加不同的磁力,使每个区域褶皱都得到修复。
  • 一种冷却
  • [实用新型]清洗设备-CN201720474012.7有效
  • 曹飞;吴文泽;井昱 - 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
  • 2017-04-28 - 2017-11-24 - H01L21/02
  • 本实用新型公开了一种清洗设备,包括多个盛放部,多个盛放部并排设置且分别盛放有不同的清洗液;用于取放掩膜板的取放装置,取放装置在多个盛放部的排列方向上可移动;干燥装置,在取放装置将掩膜板从盛放部内取出时,干燥装置用于干燥掩膜板。本实用新型的清洗设备,在保证清洗设备工作效率的同时还可以解决不同的清洗液之间的污染问题,并且能有效地改善清洗液低落到清洗设备上或滴落到清洗设备的周围而造成的污染问题。
  • 清洗设备

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