专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]高强韧高导电的Cu/Mo梯度多层膜的制备方法-CN202310533616.4在审
  • 于首明;卢静静;张国君;王涛;孙宇轩;梁中强 - 西安理工大学
  • 2023-05-11 - 2023-08-04 - C23C14/35
  • 本发明公开了高强韧高导电的Cu/Mo梯度多层膜的制备方法,采用磁控溅射技术,依据设计的单层膜厚度分布,在基片上交替沉积Cu单层和Mo单层,制备出单层厚度沿薄膜生长方向梯度下降的Cu/Mo梯度多层膜。本发明制备的高强韧、高导电的Cu/Mo梯度多层膜,其梯度多层结构基于幂函数设计,能在保持“薄膜总厚度”、“最表面的单层厚度”和“靠近基体的单层厚度”等几个参数相同或相近的情况下,仅改变“结构梯度”(即幂指数m)便可获得一系列具有不同单层厚度分布的Cu/Mo梯度多层膜,经力学和电学性能测量,可确定能协同提高强度、韧性和导电性的最优结构梯度。
  • 强韧导电cumo梯度多层制备方法

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