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[发明专利]一种凝胶研磨工具制备装置-CN201710756297.8有效
发明人：徐西鹏;王文珊;于怡青;赵欢;胡中伟;陆静 -专利权人：华侨大学
申请日： 2017-08-29 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种凝胶研磨工具制备装置。包括溶胶分散单元和凝胶单元；其中溶胶分散单元包括溶胶池，溶胶池内设搅拌器；凝胶单元包括料缸，料缸内设有活塞，料缸进料口通过进料口单向阀连接溶胶池出料口；料缸出料口内设出料口单向阀；料缸出料口连接一出料嘴，料缸出料口下方设反应池，反应池内有反应液。本发明结构简单，易于控制且能够满足连续作业的需要，实现了凝胶研磨工具的自动化批量生产，大大提高了生产率和研磨工具制备稳定性，降低制备成本。
一种凝胶研磨工具制备装置

[发明专利]一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质-CN202210240436.2有效
发明人：胡中伟;陆涵钧;赖志远;崔长彩;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种研磨盘平面度的检测方法、装置、设备和存储介质，涉及平面度测量技术领域。其中，这种检测方法包含步骤S1至步骤S5。S1获取研磨盘的N条径向测量数据。S2分别消除N条径向测量数据的机械误差，以获得N条初始数据。S3根据N条初始数据，分别将各个磨块的高度信息均值化，并删除非磨块的高度信息，以获得N条磨块表面高度数据。S4分别缩放N条磨块表面高度数据至相同的数据长度，然后计算平均值，以获得磨盘径向高度数据。S5根据磨盘径向高度数据进行三维重构，以获得研磨盘的面型模型。采用本发明的检测方法能够根据测量到的高度数据快速计算得到研磨盘的表面模型，从而快速识别研磨盘的平面度，具有很好的实际意义。
一种研磨平面检测方法装置设备存储介质

[发明专利]电磁式在线动平衡系统-CN201811124557.0有效
发明人：胡中伟;于怡青;徐西鹏;方从富;郑咏航 -专利权人：华侨大学
申请日： 2018-09-26 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G01M1/14 文献下载
摘要：本发明公开了电磁式在线动平衡系统，控制器接收振动测量装置测量的振动信息并将该振动信息转化为基座的不平衡量大小、相位以及所需的配重、并控制推拉式电磁铁制动锁紧装置离开第一平衡盘和第二平衡盘且控制吸盘式电磁铁驱动装置驱动第一平衡盘和第二平衡盘双向转动以使第一平衡盘和第二平衡盘通过矢量合成形成的配重与基座所需的配重相同进而使基座达到平衡。该电磁式在线动平衡系统结构简单、控制精度高，调节效率高，平衡盘的旋转步角小，配重精度高。且轴向尺寸小，可安装于狭小空间。
电磁式在线动平衡系统

[发明专利]一种蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线及其控制方法-CN202111532741.0有效
发明人：胡中伟;籍佩佩;王寒山;徐西鹏;于怡青;赖志远 -专利权人：华侨大学
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： B24B37/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线包括控制单元以及分别与控制单元电连接的载片传送装置、双面研磨机、晶片清洗机、控制单元和上下料机械手。上下料机械手包括升降装置、旋转装置和机械手吸盘，且上下料机械手被构造成可通过控制单元控制旋转装置旋转，进而带动机械手吸盘在载片传送装置、双面研磨机和晶片清洗机之间移动，以及可通过控制单元控制升降装置沿竖直方向移动，进而带动机械手吸盘沿竖直方向移动，以夹取或放置蓝宝石衬底。本发明的蓝宝石衬底研磨自动上下料生产线工作时全程无需人工参与且各装置间配合严密，保证整个系统平稳运行，极大的缩短了上下料时间以及降低了人工操作对衬底的影响，从而保证生产效率。
一种蓝宝石衬底研磨自动上下生产线及其控制方法

[实用新型]一种晶棒自动化运输装置及其系统-CN202220580463.X有效
发明人：鲍春同;胡中伟;赖志远;黄辉;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种晶棒自动化运输装置及其系统，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在第一和第二传输机构之间的上下料机械臂机构、控制机构；上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在旋转机构上的升降机构、配置在升降机构上的伸缩机构、配置在伸缩机构上的夹取机构；旋转机构用于带动升降机构在传输机构和晶棒多线切割机之间旋转；升降机构用于带动伸缩和夹取机构升降；伸缩机构用于伸出收回夹取机构；夹取机构用于夹取放在第一传输机构的待加工晶棒并放在切割机内部，夹取切割机内部已加工晶棒放在第二传输机构上；传输、上下料机械臂机构与控制机构连接。旨在解决现有晶棒线切方案存在晶棒随待线切晶棒重量的增加，人工难以搬运的问题。
一种自动化运输装置及其系统

[实用新型]一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线-CN202220568458.7有效
发明人：王寒山;胡中伟;赖志远;陈悦;章玉强;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种蓝宝石衬底粗抛和精抛的自动化产线。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、粗抛机、清洗机和精抛机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入粗抛机，并能抓取粗抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入精抛机，以及能抓取精抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本实用新型利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。
一种蓝宝石衬底自动化

[发明专利]一种蓝宝石衬底铜抛-CMP抛光的自动化产线及生产方法-CN202210256476.6在审
发明人：胡中伟;王寒山;赖志远;陈悦;章玉强;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-07-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种蓝宝石衬底铜抛‑CMP抛光的自动化产线及生产方法。该自动化产线，包括皮带运输机构、机械手组件、铜抛机、清洗机和CMP抛光机。自动化产线配置为机械手组件能抓取皮带运输机构上的贴有蓝宝石衬底的承载件进入铜抛机，并能抓取铜抛机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入清洗机中，以及能抓取清洗机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入CMP抛光机，以及能抓取CMP抛光机中的贴有蓝宝石衬底的承载件进入皮带运输机构上。本发明利用自动化设备设计自动化产线代替目前的贴有蓝宝石衬底的承载件的上下料、清洗以及工序间的搬运主要靠人工来完成的产线，能够实现工件从传送带上自动上下料，减少了人工参与对衬底的污染和损伤，提高了产品的质量和生产效率。
一种蓝宝石衬底 cmp 抛光自动化生产方法

[实用新型]一种平面度检测装置-CN202220535579.1有效
发明人：陆涵钧;胡中伟;赖志远;崔长彩;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： G01B11/30 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种平面度检测装置，涉及平面度测量装置技术领域。这种平面度检测装置包含旋转定位组件、直线位移组件和测量组件。旋转定位组件包括用以接合于研磨设备的固定座，以及可转动的安装在固定座的旋转座。直线位移组件接合于旋转定位组件和测量组件之间，用以驱动测量组件沿着预定轨迹移动。测量组件包括接合于滑台的夹紧底座、接合于底座的夹紧件，以及夹持于夹紧底座和夹紧件之间的检测件。其中，检测件用以检测被测物体的距离。旋转定位组件能够让平面度检测装置在工作位置和收纳位置之间进行切换，直线位移组件能够让测量组件沿着预定轨迹进行活动，以测量预定轨迹上的高度数据，以得到研磨盘的平面度，效率更高。
一种平面检测装置

[发明专利]一种晶棒自动化运输装置及其方法-CN202210261719.5在审
发明人：胡中伟;鲍春同;赖志远;黄辉;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶棒自动化运输装置及其方法，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在第一和第二传输机构之间的上下料机械臂机构、控制机构；上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在旋转机构上的升降机构、配置在升降机构上的伸缩机构、配置在伸缩机构上的夹取机构；旋转机构用于带动升降机构在传输机构和晶棒多线切割机之间旋转；升降机构用于带动伸缩和夹取机构升降；伸缩机构用于伸出收回夹取机构；夹取机构用于夹取放在第一传输机构的待加工晶棒并放在切割机内部，夹取切割机内部已加工晶棒放在第二传输机构上；传输、上下料机械臂机构与控制机构连接。旨在解决现有晶棒线切方案存在晶棒随待线切晶棒重量的增加，人工难以搬运的问题。
一种自动化运输装置及其方法

[实用新型]一种用于半导体衬底研磨的金刚石结构研磨盘-CN202121066512.X有效
发明人：章玉强;胡中伟;李涛;王丽娟;方从富;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： B24B37/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于半导体衬底研磨的金刚石结构研磨盘,包括基盘；基盘设有若干凸台，每相邻两凸台间留有间隙且该间隙形成为流道，凸台端面设凸起部，凸起部端面凹设有水平贯穿的沟槽，沟槽和流道相连通；凸台上套设有磨块，磨块由金刚石磨粒和金属结合剂制备而成且包括周壁和成型在周壁内的蜂窝结构，蜂窝结构上形成多个贯穿布置的孔洞；磨块的周壁套设在凸起部外且蜂窝结构位于凸起部上，孔洞和沟槽上下相连通。它具有如下优点：孔洞、沟槽和流道连通，既能供研磨液流动，提升流动均匀性，又能起到冷却和排屑作用，提高冷却、排屑性能；设有孔洞能提高磨块自锐性，提升研磨效率。
一种用于半导体衬底研磨金刚石结构

[发明专利]用于半导体衬底研磨的金刚石结构研磨盘-CN202110539930.4在审
发明人：胡中伟;章玉强;李涛;王丽娟;方从富;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： B24B37/16 文献下载
摘要：本发明公开了用于半导体衬底研磨的金刚石结构研磨盘,包括基盘；基盘设有若干凸台，每相邻两凸台间留有间隙且该间隙形成为流道，凸台端面设凸起部，凸起部端面凹设有水平贯穿的沟槽，沟槽和流道相连通；凸台上套设有磨块，磨块由金刚石磨粒和金属结合剂制备而成且包括周壁和成型在周壁内的蜂窝结构，蜂窝结构上形成多个贯穿布置的孔洞；磨块的周壁套设在凸起部外且蜂窝结构位于凸起部上，孔洞和沟槽上下相连通。它具有如下优点：孔洞、沟槽和流道连通，既能供研磨液流动，提升流动均匀性，又能起到冷却和排屑作用，提高冷却、排屑性能；设有孔洞能提高磨块自锐性，提升研磨效率。
用于半导体衬底研磨金刚石结构

[实用新型]一种超声振动辅助自旋转磨削机床及其主轴装置-CN202020160805.3有效
发明人：林武庆;胡中伟;王丽娟;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2020-02-11 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声振动辅助自旋转磨削机床主体及其主轴装置。该主轴装置包括旋转主轴部分和超声振动部分，该超声振动部分固装在旋转主轴部分上；该超声振动部分包括超声发生器、换能器、变幅杆、砂轮和感应线圈；该超声发生器连接感应线圈，该感应线圈装接在换能器上，该换能器连接变幅杆，该砂轮固装在变幅杆末端上，该超声发生器产生超声信号，通过感应线圈传递至换能器产生超声振动，再通过变幅杆将轴向振动转换为砂轮的径向振动。它具有如下优点：可提高磨削效率，能提高加工表面质量，还可防止砂轮堵塞等，对于推动超声辅助磨削技术的广泛应用具有重要意义。
一种超声振动辅助旋转磨削机床及其主轴装置

[实用新型]一种超声辅助自旋转磨削机床主轴结构-CN202020161093.7有效
发明人：邓招鹏;胡中伟;王丽娟;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2020-02-11 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超声辅助自旋转磨削机床主轴结构，包括换能器、变幅杆、主轴体、法兰盘、裙边结构部分、连接换能器的感应线圈和磨盘砂轮部分；该换能器固接变幅杆第一端，该变幅杆第二端固接主轴体第一端，该主轴体第二端固接有裙边结构部分，该磨盘砂轮部分固装在裙边结构部分，该换能器产生纵向超声振动，该纵向超声振动经变幅杆将纵向超声振动转换为径向超声振动，该裙边结构部分放大径向超声振动的振幅和振速，并带动磨盘砂轮部分径向超声振动；该主轴体中部固接有法兰盘以用于固接传动连接电机的主轴。它具有如下优点：利用超声振动辅助进行自旋转磨削加工，可减小磨削力，抑制裂纹的扩展，减小磨削损伤。
一种超声辅助旋转磨削机床主轴结构

[实用新型]一种带有可调摆动机构的抛光机-CN201922188616.7有效
发明人： 于怡青;黄仕相;雷雨;石平;许志龙 -专利权人：华侨大学
申请日： 2019-12-09 - 公布日： 2020-10-09 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带有可调摆动机构的抛光机，抛光机包括主轴箱、抛光机构、底座、进给机构、载物盘、中心立柱和可调摆动机构，进给机构安装在底座且与载物盘相连接以带动载物盘转动，中心立柱固接在底座上，所述抛光机构安装在主轴箱且其包括能相对主轴箱转动的抛光盘，抛光盘与载物盘相对应，主轴箱与中心立柱转动连接；可调摆动机构安装在底座且传动连接主轴箱，在抛光过程中可调摆动机构可带动主轴箱绕着中心立柱往复摆动进而带动抛光盘往复摆动以增加抛光区域。该抛光机设置有可调摆动机构，该可调摆动机构在抛光过程中能带动主轴箱绕着中心立柱往复摆动进而带动抛光盘往复摆动以增加抛光区域，进而提高了抛光效率，降低了抛光成本。
一种带有可调摆动机构抛光机

[发明专利]超声振动辅助自旋转磨削机床及其主轴装置-CN202010086423.5在审
发明人：胡中伟;林武庆;王丽娟;于怡青;徐西鹏 -专利权人：华侨大学
申请日： 2020-02-11 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：本发明公开了超声振动辅助自旋转磨削机床主体及其主轴装置。主轴装置包括旋转主轴部分和超声振动部分，该超声振动部分固装在旋转主轴部分上；该超声振动部分包括超声发生器、换能器、变幅杆、砂轮和感应线圈；该超声发生器连接感应线圈，该感应线圈装接在换能器上，该换能器连接变幅杆，该砂轮固装在变幅杆末端上，该超声发生器产生超声信号，通过感应线圈传递至换能器产生超声振动，再通过变幅杆将轴向振动转换为砂轮的径向振动。它具有如下优点：可提高磨削效率，能提高加工表面质量，还可防止砂轮堵塞等，对于推动超声辅助磨削技术的广泛应用具有重要意义。
超声振动辅助旋转磨削机床及其主轴装置

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