专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]原子沉积镀膜设备-CN202122993417.0有效
  • 陈文翰;乌磊;刘磊;李哲峰 - 深圳市原速科技有限公司
  • 2021-11-30 - 2022-05-17 - C23C16/455
  • 本实用新型公开一种原子沉积镀膜设备,包括镀膜真空腔室、与所述镀膜真空腔室连接的源进气装置、与所述镀膜真空腔室连接的抽气装置以及与所述镀膜真空腔室连接的喷淋进气组件;所述喷淋进气组件包括可拆卸安装于所述镀膜真空腔室上的壳体,设于所述壳体上侧的进气管,所述进气管一端连接气源、另一端延伸进入所述壳体内腔且其喷淋口朝向下设置,以向所述镀膜真空腔室内部吹扫。原子沉积镀膜设备设有喷淋进气组件可以使得源气体分散更均匀,可提高镀膜效率及良品率。
  • 原子沉积镀膜设备
  • [发明专利]原子层沉积方法、装置及计算机可读存储介质-CN202010348348.5有效
  • 李哲峰;乌磊;梁立元;聆领安辛 - 深圳市原速光电科技有限公司
  • 2020-04-27 - 2022-02-01 - C23C16/455
  • 本发明公开了一种原子层沉积方法,原子层沉积装置包括沉积设备和卷料的输送装置,所述卷料的输送装置包括相邻设置的主辊筒和第一从辊筒,所述原子层沉积方法包括以下步骤:启动所述沉积设备开始运行;启动所述卷料输送装置工作,且在所述主辊筒转动时,获取第一从辊筒对应的卷料参数,其中,所述卷料参数包括卷料张力和/或卷料压力;在所述卷料参数超出预设参数范围内时,调节所述第一从辊筒对应的电机的转速。本发明还公开了一种原子层沉积装置及计算机可读存储介质,通过主辊筒转动时获取第一从辊筒对应的卷料参数,根据卷料参数的大小调节第一从辊筒对应的电机的转速,使得电机的转速更加合理,卷料表面的原子层沉积更加均匀。
  • 原子沉积方法装置计算机可读存储介质
  • [发明专利]线性串联的原子层沉积系统-CN202010348349.X在审
  • 李哲峰;乌磊;聆领安辛 - 深圳市原速光电科技有限公司
  • 2020-04-27 - 2021-11-12 - C23C16/455
  • 本发明公开一种线性串联的原子层沉积系统,其中,所述线性串联的原子层沉积系统包括真空放卷装置、真空收卷装置、至少一个真空沉积装置及至少一个真空卷料辅助装置,真空放卷装置套设有卷料,用于将卷料拉出;真空收卷装置与真空放卷装置间隔设置,真空收卷装置用于将拉出后的卷料回收;至少一个真空沉积装置设于真空放卷装置和真空收卷装置之间,并依次连接;真空沉积装置用于对卷料沉积处理;真空卷料辅助装置设于相邻两个真空沉积装置之间、和/或真空沉积装置与真空放卷装置之间、和/或真空沉积装置与真空收卷装置之间。本发明技术方案调整卷料在传送过程中的位置,以改善卷料表面的原子沉积效果。
  • 线性串联原子沉积系统
  • [实用新型]卷料固定装置及原子层沉积设备-CN202020673238.1有效
  • 李哲峰;乌磊;聆领安辛 - 深圳市原速光电科技有限公司
  • 2020-04-27 - 2021-02-26 - C23C16/455
  • 本实用新型公开了一种卷料固定装置及原子层沉积设备,其中,卷料固定装置包括第一承重座、第二承重座及卷料轴,第一承重座上设置有第一安全夹头,第二承重座与第一承重座相对设置,第二承重座上设置有第二安全夹头,卷料轴具有相对的安装端及驱动端,安装端与第二安全夹头转动连接,驱动端与第一安全夹头转动连接,并用于与卷料装置的驱动件驱动连接,以使卷料轴用于对缠绕设置于其上的待沉积样品进行卷料处理。本实用新型改进了卷料固定装置的结构,提升了卷料固定装置的装配效率,方便组装卷料固定装置的各零部件,节省了装配所需的时间。
  • 固定装置原子沉积设备
  • [实用新型]一种冷水辊及原子层沉积设备-CN202020669811.1有效
  • 李哲峰;乌磊 - 深圳市原速光电科技有限公司
  • 2020-04-27 - 2021-01-29 - C23C16/54
  • 本实用新型提供了一种冷水辊及原子层沉积设备,其中冷水辊主要包括外筒和内筒。内筒的轴心位置开设第一流道,且内筒套设于外筒内,外筒的周壁与内筒的周壁之间形成第二流道,第二流道呈螺旋设置,第一流道与所述第二流道连通,可使冷水从第一流道进入,再流至第二流道内,由于第二流道呈螺旋设置,使得第二流道内的水流与冷水辊的接触面积增大,有效降低冷水辊的热量,提高冷水辊与卷料之间的热交换效果。
  • 一种冷水原子沉积设备
  • [实用新型]张力检测装置及原子层沉积设备-CN202020682211.9有效
  • 李哲峰;乌磊 - 深圳市原速光电科技有限公司
  • 2020-04-27 - 2021-01-15 - B65H23/04
  • 本实用新型公开了一种张力检测装置及原子层沉积设备,通过合理安排所述第一传送辊和两个所述第二传送辊的相对位置,也即,两所述第二传送辊设置于所述第一传送辊两侧并与所述第一传送辊平行设置;且所述第一传送辊与所述第二传送辊分别位于物料的两侧,以使所述物料在所述第一传送辊与所述第二传送辊构成的传送路径上呈弯曲状传送,产生对所述第一传送辊的压力,并通过所述第一传送辊上两端的张力传感器检测所述物料也即基材的张力,从而可以获知物料在所述张力检测装置上传送时的张力,并基于检测结果对所述物料的张力进行调节,从而可以提高原子层沉积品质。
  • 张力检测装置原子沉积设备

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