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- [实用新型]晶圆存储盒-CN202320620790.8有效
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邱摩西;何江波;谭文明
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义柏应用技术(深圳)有限公司
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2023-03-20
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2023-08-04
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B65D25/02
- 本实用新型属于晶圆片存储及运输技术领域,具体涉及一种晶圆存储盒。晶圆存储盒包括:顶盖,可拆卸连接有弹片架;底盖,能够容置有多种型号的晶圆片架;锁紧组件,设置于晶圆存储盒;当锁紧组件处于锁紧状态时,弹片架抵接于晶圆片架内的晶圆,以实现晶圆片架内的晶圆固定;当锁紧组件处于解锁状态时,弹片架解除抵接于晶圆片架,以实现晶圆片架内的晶圆解除固定;本实用新型实施例中的晶圆存储盒能够供多种类型的晶圆片架容置,也就是说,晶圆存储盒在存储和/或运输过程中能够放置多种规格的晶圆片,从而增大了晶圆存储盒的使用范围。
- 存储
- [实用新型]一种晶圆片架寻边器-CN202320123676.4有效
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请求不公布姓名
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义柏应用技术(深圳)有限公司
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2023-01-17
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2023-07-21
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H01L21/68
- 本实用新型公开了一种晶圆片架寻边器,包括主支撑台、支撑限位块组件以及寻边定位组件,所述支撑限位块组件和寻边定位组件都设置在所述主支撑台上,所述支撑限位块组件用于固定晶圆片,所述寻边定位组件包括寻边轴、手柄件、定边件以及调节开关,所述寻边轴与所述手柄件连接,所述手柄件控制所述寻边轴转动,所述定边件设置在所述寻边轴的一侧,所述定边件与晶圆片的定位边连接,所述调节开关与所述定边件连接,所述调节开关控制所述定边件的位置。本实用新型公开的一种晶圆片架寻边器具有适用于所有类型的不同片架、提升使用效率等优点。
- 一种晶圆片架寻边器
- [实用新型]一种芯粒载具贴膜结构-CN202223540605.9有效
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邱摩西;何江波;谭文明
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义柏应用技术(深圳)有限公司
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2022-12-29
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2023-07-04
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H01L21/67
- 本实用新型涉及芯粒贴膜技术领域,尤其涉及一种芯粒载具贴膜结构,包括横向移动模组,横向移动模组上纵向设置有纵向移动模组,纵向移动模组上安装有固定板,固定板上安装有用于贴膜的贴膜机构,贴膜机构包括第一气缸,第一气缸的一侧连接有第二气缸,第二气缸横向连接在第一气缸上,第二气缸的安装有旋转气缸,第二气缸的一端安装有刮板,第一气缸的下方固定连接有吸盘。本实用新型通过贴膜机构与固定治具两部分组成,贴膜机构通过多组气缸的推动能够实现贴膜的自动化操作,且能够避免贴膜时未贴平整,产生气泡等问题,对比于传统方式,操作更加简单,固定治具能够将芯粒平整度固定,能够有效的避免在贴膜时芯粒偏斜,造成覆膜错位的风险。
- 一种芯粒载具贴膜结构
- [实用新型]晶圆包装盒检测设备-CN202222985379.9有效
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邱摩西;何江波;谭文明
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义柏应用技术(深圳)有限公司
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2022-11-09
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2023-03-21
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G01B21/30
- 本实用新型公开一种晶圆包装盒检测设备,包括机架、治具组件和检测机构;所述治具组件设于所述机架上,用于供待检测晶圆包装盒放置;所述检测机构设于所述机架上且与所述治具组件相对设置,用于对待检测晶圆包装盒进行检测;所述检测机构包括用于将校准晶圆移动至所述待检测晶圆包装盒内的晶圆取放料组件,用于对所述待检测晶圆包装盒进行图像采集的视觉测量组件,以及用于对所述待检测晶圆包装盒的取放料口进行平面度检测的平面度测量组件。该晶圆包装盒检测设备能够实际模拟晶圆包装盒最终的使用条件下进行间距与平面度的高精度快速测量,大大节约了检测的效率与提高检测的精度和重复性。
- 包装检测设备
- [实用新型]用于晶圆包装盒的密封性检测装置-CN202221783066.9有效
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邱摩西;何江波;谭文明
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义柏应用技术(深圳)有限公司
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2022-07-12
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2022-12-23
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G01M3/32
- 本实用新型涉及用于晶圆包装盒的密封性检测装置,包括第一模具、第二模具、驱动机构、充压组件、以及气压检测组件;第一模具以及第二模具可开合设置,用于供待检晶圆包装盒装入;驱动机构与第一模具和/或第二模具连接,用于带动第一模具以及第二模具做开合运动;充压组件与第一模具和/或第二模具连接,用于在第一模具以及第二模具合并后向第一模具以及第二模具中充压;气压检测组件与第一模具和/或第二模具连接,用于检测合并后第一模具以及第二模具中的压力变化。用于晶圆包装盒的密封性检测装置实现在无拆封晶圆包装盒的状态下,对晶圆包装盒进行密封性检测,避免晶圆包装盒在检测过程中破坏,实现对晶圆包装盒进行无尘保护,提高检测效率。
- 用于包装密封性检测装置
- [实用新型]晶圆包装盒-CN202220075173.X有效
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邱摩西;刘汝拯;陈松平;何江波
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义柏科技(深圳)有限公司;义柏应用技术(深圳)有限公司
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2022-01-12
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2022-07-26
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B65D25/02
- 本实用新型涉及晶圆包装盒,包括底壳、与底壳配合的上盖、设置于底壳中用于支撑晶圆的片架、以及设置于上盖中用于对晶圆进行限位的弹性架;上盖上设有对片架进行限位的第一限位组件;第一限位组件包括凸出设置于上盖中的第一限位凸筋,第一限位凸筋包括与片架配合的限位弧面和/或限位斜面;上盖上设有对弹性架进行限位的第二限位组件。该晶圆包装盒通过在第一限位凸筋上设置于该片架配合的限位弧面和/或限位斜面,进而可极大减小该上盖与该片架的接触面积,能减少在运输过程中因摩擦和碰撞产生颗粒物,提高产品洁净度;通过在该上盖中设置第二限位组件,从而可能防止弹片架在运输过程中因撞击而发生变形,防止晶圆错槽或者弹片架和晶圆受损。
- 包装
- [实用新型]上料机构-CN202220553828.X有效
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邱摩西;刘汝拯;陈松平;何江波
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义柏科技(深圳)有限公司;义柏应用技术(深圳)有限公司
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2022-03-14
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2022-07-19
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B65G29/00
- 本实用新型涉及上料机构,包括承托板、至少两个储料架、旋转组件以及升料组件;至少两个所述储料架可间隔设置于所述承托板上;所述升料组件可从所述承托板上升起设置;所述旋转组件与所述承托板连接带动所述承托板旋转使得装有工件的所述储料架旋转至所述升料组件处,通过所述升料组件的往复运动将所述储料架中的工件升起。该上料机构通过设置至少两个储料架,并通过旋转组件带动承托板旋转,从而使得装有工件的储料架旋转至升料组件处,通过升料组件的往复运动可将储料架中的工件升起,进而可使得及其在运行过程中不会出现断料情况,能够保证整个上料机构的相对稳定,保证不错的输出产能,在实际生产过程中不容易发生错误,并可加快生产效率。
- 机构
- [实用新型]晶圆载运装置-CN202120815765.6有效
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邱摩西;刘汝拯;陈松平;何江波
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义柏科技(深圳)有限公司;义柏应用技术(深圳)有限公司
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2021-04-20
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2021-11-23
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B65D6/36
- 本实用新型涉及晶圆载运装置,包括第一盖体以及与第一盖体配合的第二盖体,第一盖体和第二盖体内侧形成有容置晶圆且密闭的容置腔;第二盖体中设有对容置于容置腔中的晶圆进行限位的限位结构;第一盖体包括第一本体、以及设置于第一本体上以加强第一本体强度的第一加强结构;和/或,第二盖体包括第二本体以及设置于第二本体上以加强第二本体强度的第二加强结构。该晶圆载运装置能够有效地防止晶圆被污染,再者,通过在第一本体上设置第一加强结构和/或在第二本体上设置第二加强结构,可有效加强整个晶圆载运装置的强度,另外,通过在第二盖体中设置限位结构,可对晶圆进行限位,实现晶圆水平活动空间的最小化,能有效的保护晶圆。
- 载运装置
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