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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]成膜方法以及成膜装置-CN200610163091.6有效
发明人：古谷弘;西林道生;中泽诚一;三谷慎一 -专利权人：纽富来科技股份有限公司
申请日： 2006-11-30 - 公布日： 2007-06-06 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供成膜方法以及成膜装置。将多枚晶片放置在设置于反应室内的基座(a susceptor)上；加热上述晶片；从多段设置在被设置为贯穿上述基座中心的气体供给喷嘴上的开口部供给处理气体；从上述多段设置的开口部中最上段的开口部，向斜下方供给上述处理气体；使来自开口部的上述处理气体的供给方向相对于上述反应室相对地变动。通过这样的结构，抑制淀积在反应室壁面上的淀积物的膜厚，能够使成膜装置的维护周期长周期化，提高生产能力。
方法以及装置

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共 1 条

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