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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置-CN202111249981.X有效
发明人：肖连丰;中冈一司;马文鹏;任海宾 -专利权人：南阳清水科技有限公司
申请日： 2021-10-26 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，包括一镀膜腔，所述镀膜腔内部设有工件架，顶部设有带动工件架旋转的驱动机构；所述工件架包括底板和设于底板上方的顶板，所述底板与顶板之间设有多个用于放置工件的工件盘，各工件盘两侧均设有台阶，相邻工件盘通过台阶匹配契合形成一外部密封的圆周；各工件盘端部均设有翻转机构，所述顶板上方还设有拨杆机构，工件架旋转时，通过拨杆机构多次拨动翻转机构，使翻转机构带动工件盘正反面实现自动翻转。与现有技术相比，本发明不仅能够实现镀膜时零件正反面的自动翻转，而且能防止膜料衍射污染零件背面的功能。
一种用于滚桶式磁控溅射自动翻转装置

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