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[发明专利]一种侧壁保护的金属散热片蚀刻方法及金属散热片-CN202211675052.X有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23F1/02 文献下载
摘要：本发明涉及金属散热片技术领域，尤其是指一种侧壁保护的金属散热片蚀刻方法及所制得的金属散热片,本发明通过一次蚀刻制得一级蚀刻槽后，再对金属基板进行二次涂布曝光显影以使得一级蚀刻槽的侧壁被保护，从而在二次蚀刻时能够在一级蚀刻槽的底部蚀刻成型二级蚀刻槽，通过一级蚀刻槽和二级蚀刻槽的深度之和大于一级蚀刻槽/二级蚀刻槽的宽度，从而达到了深宽比大于1的效果。
一种侧壁保护金属散热片蚀刻方法

[发明专利]一种基于蚀刻及电沉积的金属表面二次加工方法-CN202211734368.1有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23F17/00 文献下载
摘要：本发明涉及金属热管加工技术领域，尤其是指一种基于蚀刻及电沉积的金属表面二次加工方法，包括：A.对金属基板进行涂布曝光显影处理；B.对经涂布曝光显影处理后的金属基板进行蚀刻处理，以使得金属基板表面成型预设深度的沟槽结构；C.对经蚀刻后的金属基板进行清洗；D.对清洗后的金属基板的沟槽结构填充绝缘胶体；E.对填充绝缘胶体后的金属基板进行电沉积处理，以使得金属基板未被蚀刻的位置表面成型图案；F.把对金属基板进行后处理。本发明通过蚀刻成型沟槽结构后，再通过电沉积的方式在金属基板表面成型图案，通过图案加大沟槽结构的深度，从而让沟槽结构的深宽比大于1，使得金属基板表面具有更高效的毛细性能。
一种基于蚀刻沉积金属表面二次加工方法

[发明专利]一种基于激光诱导蚀刻的均热板制备方法及设备-CN202211144556.9有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明涉及金属加工技术领域，尤其是指一种基于激光诱导蚀刻的均热板制备方法及应用于该方法的设备，该方法包括以下步骤：A.对金属工件清洗；B.把金属工件浸没在蚀刻液中并进行固定，由蚀刻液于金属工件表面形成第一孔隙结构；C.采用激光诱导方式成型凹腔，并使得凹腔内形成第二孔隙结构。D.把均热板自蚀刻液中取出，然后清洗均热板以祛除其表面残留的蚀刻液。本发明结合金属蚀刻以及激光诱导两种方式，通过两者同时进行的方式，使得均热板表面形成有凹腔，并让凹腔以及均热板表面分别具有孔隙密度不同的孔隙结构，从而让均热板的毛细性能更好。
一种基于激光诱导蚀刻均热制备方法设备

[发明专利]一种具有孔隙和高深宽比沟槽的工件制作方法及金属工件-CN202211213707.1有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23F1/02 文献下载
摘要：本发明涉及散热金属工件技术领域，尤其是指一种具有孔隙和高深宽比沟槽的工件制作方法及通过该方法制得的金属工件，该方法包括以下步骤：A.对金属工件进行清洁，然后对金属工件进行掩膜；B.对金属工件喷淋蚀刻液，通过蚀刻液对金属工件未掩膜位置进行蚀刻以形成预设槽；C.对金属工件进行清洗；D.通过离子束撞击金属工件的预设槽而形成沟槽；沟槽的侧壁因金属颗粒附着而形成孔隙结构；E.对金属工件进行清洗。本发明通过对蚀刻形成的预设槽进行离子束加工，通过离子束撞击而让预设槽形成深度更大的沟槽，且因离子束撞击而溅射的金属颗粒会附着在沟槽两侧以填补被侧蚀产生的凹陷，并在沟槽两侧形成孔隙结构，使得所制得的产品毛细性能更佳。
一种具有孔隙高深沟槽工件制作方法金属

[发明专利]一种具有互通网格空腔的吸液芯制备方法及吸液芯-CN202211164863.3有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： F28D15/04 文献下载
摘要：本发明涉及湿法蚀刻技术领域，尤其是指一种具有互通网格空腔的吸液芯制备方法及应用该方法所制得的吸液芯，该方法主要包括以下步骤：A.在金属工件表面铺设一层金属粉末；B.对金属工件表面的金属粉末进行选区熔化，以使得该选区的金属粉末与金属工件熔化并黏连以形成黏连结构；C.重复步骤A‑B，直至金属工件表面形成网状空腔结构；D.对金属工件进行除粉；E.对金属工件进行蚀刻前处理；F.往金属工件以及网状空腔结构进行喷淋蚀刻液；G.清洗工件。本发明通过选区熔化的方式，制备处相邻空腔彼此连通的网状空腔结构，再对其进行蚀刻处理以加工出纳米级的多孔结构，从而形成了结构更为复杂的吸液芯结构，使得毛细性能大幅度提升。
一种具有互通网格空腔吸液芯制备方法

[实用新型]一种结构紧凑的散热模组-CN202223609704.8有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H05K7/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及散热技术领域，尤其是指一种结构紧凑的散热模组，包括基体以及连接于基体的散热组件，散热组件包括锁紧件、若干根热管以及多片散热翅片，散热翅片的上表面和下表面分别经蚀刻成型有对流结构，上表面的对流结构与下表面的对流结构以散热翅片为对称面对称设置；多片散热翅片彼此叠设后通过锁紧件与基体连接；散热翅片具有若干个导热孔，若干根热管与若干个导热孔一一对应安装，热管与基体连接并用于把基体的热量传递至散热翅片。本实用新型通过在散热翅片蚀刻成型对流结构，即在加工过程中尽可能减小散热翅片的温度变化，从而避免散热翅片幅度过大，有效压缩了散热翅片的厚度，使得本实用新型结构更为紧凑。
一种结构紧凑散热模组

[实用新型]一种具有高效沸腾沟槽的泵环路热管蒸发器-CN202223524762.0有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： F28D15/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有高效沸腾沟槽的泵环路热管蒸发器，自上而下依次设置有补偿腔、蒸发腔以及热源，所述蒸发腔的上端部设有毛细芯，所述蒸发腔内还设有由金属湿法刻蚀而成的弧形底板，所述补偿腔的左右侧壁分别设置有液体输入管道以及液体流出管道，所述蒸发腔的侧壁上设有蒸汽流出管道，所述毛细芯与所述弧形底板接触。在本实用新型中，毛细芯直接与高温的弧形底板接触，使得蒸发器内的工质能够及时补充，避免工质供应不足而影响整体散热性能，甚至烧干蒸发腔损坏器件。本实用新型可以更加有效地提升沸腾效率，从而提升泵环路热管的工作效率，在航天热控系统，新能源汽车整体散热等领域具有广阔的发展前景。
一种具有高效沸腾沟槽环路热管蒸发器

[实用新型]一种用于曲面金属的蚀刻设备-CN202223609717.5有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及金属蚀刻技术领域，尤其是指一种用于曲面金属的蚀刻设备，包括机体以及模具，所述机体还设置有支撑台以及蚀刻机构，模具安装于支撑台，模具的上表面为弧形，模具用于与曲面金属的凹面进行贴合，蚀刻机构用于往曲面金属的上表面喷淋蚀刻液；支撑台的顶部各侧壁分别设置有挡板，多块挡板围设形成用于防止蚀刻液溅射至外界的蚀刻区域。本实用新型通过模具的上表面与曲面金属的凹面进行贴合以实现定位，再由蚀刻机构对曲面金属的凸面进行喷淋蚀刻液，基于蚀刻液到达工件表面不同位置的蚀刻压力均不同，导致结构蚀刻的深度不同，从而实现了不同位置所蚀刻成型的微结构深度和形状不同。
一种用于曲面金属蚀刻设备

[发明专利]一种曲面金属表面微结构蚀刻加工装置及方法-CN202211731851.4在审
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本发明涉及金属蚀刻技术领域，尤其是指一种曲面金属表面微结构蚀刻加工装置及方法，包括机体、支撑台、模具以及蚀刻机构，支撑台设置于机体，模具安装于支撑台，模具的顶部设置有弧形定位面，弧形定位面用于支撑曲面金属；蚀刻机构用于往曲面金属的上表面喷淋蚀刻液。本发明通过在模具设有弧形定位面，经弧形定位面对曲面金属进行定位后，再由蚀刻机构对曲面金属进行喷淋蚀刻，基于蚀刻液到达工件表面不同位置的蚀刻压力均不同，导致结构蚀刻的深度不同，从而实现了不同位置所蚀刻成型的微结构深度和形状不同。
一种曲面金属表面微结构蚀刻加工装置方法

[实用新型]一种具有高效冷凝功能的泵环路热管冷凝器-CN202223506746.9有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： F28D15/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有高效冷凝功能的泵环路热管冷凝器，包括用于容设冷媒的冷媒腔，冷媒腔设置有冷媒入口、冷媒出口、蒸汽通道、液体通道及若干个冷凝片，冷媒经由冷媒入口进入冷媒腔内并经由冷媒出口排出，冷凝片内部设置有空腔，蒸汽通道与液体通道分别连通于冷凝片的空腔的两端。该具有高效冷凝功能的泵环路热管冷凝器，体积更小，且将散热环节集成到一个冷凝器内部，便于泵环路热管整体布局；若干个冷凝片可以将导入其中的水蒸气以大面积、小厚度的方式与冷源接触，以增强换热效果，在小的空间内达到了更高的冷凝率。
一种具有高效冷凝功能环路热管冷凝器

[实用新型]一种具有防止蒸汽回流功能的泵环路热管蒸发器-CN202223522549.6有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： F28D15/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有防止蒸汽回流功能的泵环路热管蒸发器，包括自上而下排布设置的第一补偿腔、单向流道、第二补偿腔、毛细芯及蒸发腔，第一补偿腔经由单向流道连通于第二补偿腔，第二补偿腔经由毛细芯连通于蒸发腔。由于单向流道的存在，蒸发腔中的高压气体难以突破逆流的阻力，从而避免了其回流造成的性能损失以及对部件的损伤；采用一大一小两个补偿腔设计，在避免蒸汽及液体回流的同时利用蒸发腔的漏热预热第二补偿腔中的工质，提高其进入蒸发腔时的温度，从而提升蒸发腔的蒸发效率并巧妙利用蒸发腔的漏热。
一种具有防止蒸汽回流功能环路热管蒸发器

[实用新型]一种基于增材制造和蚀刻的多尺度形貌金属板-CN202222549136.0有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-09-23 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01L23/427 文献下载
摘要：本实用新型涉及相变传热技术领域，尤其是指一种基于增材制造和蚀刻的多尺度形貌金属板，包括板体，所述板体的一面通过增材制造成型有多个微柱，微柱的侧面具有多个微米级的孔隙，微柱的外表面通过湿法蚀刻成型有纳米级的多孔结构。本实用新型结合增材制造以及湿法蚀刻两种彼此独立的工艺，使得微柱具有微米级以及纳米级的结构，从而提升了本实用新型强化沸腾以及表面毛细的功能。
一种基于制造蚀刻尺度形貌金属板

[实用新型]一种具有孔隙的金属表面异形截面沟槽结构-CN202222625942.1有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-09-30 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： F28D15/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及湿法蚀刻加工技术领域，尤其是指一种具有孔隙的金属表面异形截面沟槽结构，包括主体，所述主体表面通过湿法蚀刻成型有多个凹槽，凹槽经离子束加工形成沟槽，沟槽的截面形状为非矩形；沟槽的内表面以及主体设有沟槽的表面均具有孔隙结构，孔隙结构经由离子束加工而形成。本实用新型通过湿法蚀刻成型凹槽后，再通过离子束加工而使得凹槽形成沟槽，从而让沟槽同时具有毛细性能以提升亲水性能，结构简单且便于生产。
一种具有孔隙金属表面异形截面沟槽结构

[实用新型]一种具有多尺度孔隙的吸液芯结构-CN202222494621.2有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： F28D15/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及均热板技术领域，尤其是指一种具有多尺度孔隙的吸液芯结构，包括主体，所述主体于蚀刻液中经激光诱导蚀刻而形成凹腔，凹腔的内表面因蚀刻而形成第一孔隙结构；相邻的凹腔之间形成凸台，凸台的顶部经蚀刻液蚀刻而形成第二孔隙结构；第一孔隙结构的密度大于第二孔隙结构的密度。本实用新型通过在蚀刻液中成型凸台上的第二孔隙结构时，通过激光诱导蚀刻而形成凹腔，由于凹腔形成后其内部被激光加热而温度比凸台高，因此在凹腔内部的蚀刻效果更强，从而可形成致密程度比第二孔隙结构高的第一孔隙结构，提升了本实用新型的毛细力。
一种具有尺度孔隙吸液芯结构

[实用新型]一种激光诱导蚀刻设备-CN202222490803.2有效
发明人：王文涛;张亮旗;王世权 -专利权人： 东莞赛诺高德蚀刻科技有限公司
申请日： 2022-09-20 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及金属蚀刻技术领域，尤其是指一种激光诱导蚀刻设备，包括激光发生装置、蚀刻池、换热器以及恒温池，蚀刻池用于装蚀刻液，恒温池用于装换热介质，换热器用于把蚀刻池内的蚀刻液与恒温池内的换热介质进行换热，激光发生装置用于对蚀刻池内的工件发射激光；恒温池具有用于保持恒温池内部蚀刻液温度恒定的控温机构。本实用新型能够实现对于金属工件的化学蚀刻以及激光加工，有利于提升对于金属工件的蚀刻效率。
一种激光诱导蚀刻设备

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