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- [发明专利]半自动晶圆清洗机及晶圆清洗方法-CN202310886043.3在审
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江永;顾华平;熊伟
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2023-07-18
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2023-10-24
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H01L21/67
- 本发明涉及晶圆清洗机领域的半自动晶圆清洗机及晶圆清洗方法，包括机架和设置于机架的电控箱及人机交互界面，清洗区内设置有清洗机构，清洗机构包括清洗腔体、主轴组件、毛刷摆臂、N2摆臂和二流体摆臂，机架的后端设有与清洗腔体的内部导通的排风管，排风管连接有水汽分离机构，水汽分离机构包括强排风机和水汽分离箱。整个清洗过程通过自动化控制来完成，依次进行多项清洗步骤，确保晶圆被清洗干净，且各喷头清洗有序，清洗完成后先由主轴电机带动主轴转盘和晶圆高速转动，快速甩干晶圆表面的积水；设置的水汽分离箱用于将清洗腔体内部的废气污水进行分离处理，保证进入厂务端的气体含水量极少，确保清洗过程产生的水汽能完善处理。
- 半自动清洗方法
- [发明专利]全自动单晶圆清洗机及单晶圆清洗方法-CN202310885966.7在审
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江永;顾华平;熊伟
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2023-07-18
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2023-10-24
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H01L21/67
- 本发明涉及晶圆清洗机领域的全自动单晶圆清洗机及单晶圆清洗方法，包括机架、电控箱和装载机构，机架与装载机构之间设置有上下料机械手，清洗区内由靠近上下料机械手的一端至远离上下料机械手的一端依次设置有中转校正机构、正面清洗机构、背面清洗机构和翻转机构，中转校正机构与翻转机构之间还设置有搬运机械手，通过装载机构、上下料机械手、中转校正机构、搬运机械手、翻转机构、背面清洗机构和正面清洗机构共同组成用于进行全自动高效清洗的自动化设备，整体自动化程度高，分别对晶圆的背面和正面进行三种组合式清洗，确保晶圆的背面和正面均能够被高效清洗且符合清洗要求，全自动工作可提高整体清洗效率。
- 全自动单晶圆清洗方法
- [实用新型]一种自动上下料机-CN202122202517.7有效
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孙庆
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2021-09-10
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2023-06-09
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B65G47/74
- 本实用新型公开了一种自动上下料机，包括一结构主体，所述结构主体包括设置于水洗机两侧的上料机与下料机，所述上料机与包括第一防护罩以及设置于所述第一防护罩内的第一机架，所述第一机架上设置有上料料仓、第一弹夹夹持机构、载板夹料机构以及第一载板中转输送机构；所述下料机与包括第二防护罩以及设置于所述第二防护罩内的第二机架，所述第二机架上设置有第二载板中转输送机构、载板推料机构、第二弹夹夹持机构以及下料料仓；本实用新型采用机械自动化操作，减少了人力资源投入，节约了人工成本；降低了员工的搬运强度，减少员工的工作量，提高了生产效率。
- 一种自动上下
- [发明专利]全自动单晶圆清洗机及晶圆清洗方法-CN202210927272.0在审
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江永
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2022-08-03
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2023-03-28
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H01L21/67
- 本发明公开了全自动单晶圆清洗机及晶圆清洗方法，包括机架、机构安装板、晶圆装载端口、风机过滤机组、晶圆搬运机构、晶圆校正机构、晶圆离心清洗机构、二流体清洗摆臂、挡水圈及CDA风干摆臂，晶圆清洗方法包括以下步骤：步骤S100，第二机械臂及真空盘板将晶圆放置在定位槽中，步骤S200，三组三爪校正组件运转，滑块前移或后退直至定位块对晶圆的定位步骤完成，步骤S300，第二机械臂及真空盘板将晶圆放置在晶圆离心清洗机构后退出，二流体清洗摆臂及出水管对晶圆进行清洗，步骤S400，清洗结束之后CDA风干摆臂及CDA出风管对晶圆进行风干，步骤S500，第二机械臂及真空盘板将晶圆从晶圆离心清洗机构中取出，同时将清洗吹干后的晶圆放置在成品收集区中。
- 全自动单晶圆清洗方法
- [实用新型]在线式晶圆清洗机-CN202222036538.0有效
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江永
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2022-08-03
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2023-03-14
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H01L21/67
- 本实用新型公开了在线式晶圆清洗机，包括一结构主体，所述结构主体包括机架、设置于所述机架上端面的机罩，所述机罩侧壁设置有触控屏，所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗腔体机构；所述机罩上端面还设置有若干个与机罩内部相通的FFU空气过滤装置，若干个所述FFU空气过滤装置等间距的排列于所述机罩上端面；所述机架底部四周连接有多个自由调节的升降脚杯，所述机罩顶部电性连接有与所述触控屏电性连接的三色灯；本实用新型实现一体化全自动清洗，提高了工作效率，降低了人工投入。
- 在线式晶圆清洗
- [实用新型]一种在线清洗机-CN202222031383.1有效
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江永
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2022-08-03
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2023-01-06
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B65G47/91
- 本实用新型公开了一种在线清洗机，包括机体，机体设有机罩以及装配在内部的层板，层板表面设有一面开口的清洗罩，清洗罩内设有清洗转盘，清洗转盘表面还设有若干清洗工位，层板表面还设有置于清洗罩开口处外侧的输送轨道，输送轨道装放了从一端投入滑动的载板以及置于内部控制载板停留的卡头，清洗罩开口处外侧还设有取料臂，取料臂一端设有吸附输送轨道上载板至清洗工位的取料吸盘，输送轨道一侧设有至少一个板架，板架上装放了若干带盖板缺口的盖板，板架一侧设有盖板机械臂，盖板机械臂连接有介于板架和输送轨道之间来回移动并吸附盖板的盖板吸盘，输送轨道末端设有衔接的差出座，差出座一侧还设有匹配使用的储料盒。各环相辅相成，效率高。
- 一种在线清洗
- [实用新型]全自动单晶圆清洗机-CN202222036591.0有效
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江永
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2022-08-03
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2022-11-25
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H01L21/67
- 本实用新型公开了全自动单晶圆清洗机，包括机架及机构安装板，机架的前侧与左侧均设有一个晶圆装载端口，且机架的上端设有至少一组风机过滤机组，机架的内部还设有晶圆搬运机构及晶圆校正机构，机构安装板上设有晶圆离心清洗机构、二流体清洗摆臂、挡水圈及CDA风干摆臂，晶圆搬运机构包括安装箱、移动模组、双臂组件及真空盘板，双臂组件包括连接臂、安装板以及一组第一机械臂与一组第二机械臂，晶圆校正机构包括一块具有定位槽的定位板及至少三组三爪校正组件，定位槽内放置有晶圆，三爪校正组件包括旋转电机、导轨、齿条、滑块、传动齿轮以及定位块，定位块固定设于滑块的前端位置处，同时滑块与导轨滑动配合。
- 全自动单晶圆清洗
- [实用新型]在线式清洁机-CN202222031379.5有效
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江永
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2022-08-03
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2022-11-22
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B08B3/02
- 本实用新型公开了在线式清洁机，包括一结构主体，结构主体包括外壳，外壳包括电控柜以及设置于电控柜上的清洁柜；清洁柜内设有清洁箱，清洁箱内设有清洗转盘，清洁箱内壁上设有清洁装置，清洗转盘上设有若干个治具，治具上设有用于夹紧的压板机构，治具内设有治具槽，清洁装置包括清洗喷杆，清洗喷杆下设有若干个喷头；清洁箱正面设有输送轨道，输送轨道上设有扫码机构，输送轨道中间设有校正平台，扫码机构包括扫码枪以及用于扫码枪支撑连接的固定架；清洁箱一侧设有入料装置，入料装置包括用于清洁转盘与输送轨道之间移动的入料机械臂；清洁箱另一侧设有与输送轨道配合连接的储料装置，储料装置包括下料平移轨道以及储料机构。
- 在线清洁
- [实用新型]一种晶圆盒清洗设备-CN202222036540.8有效
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江永
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2022-08-03
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2022-11-22
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B08B9/28
- 本实用新型公开了一种晶圆盒清洗设备,包括一机架，所述机架内设有清洗腔，所述清洗腔内侧设有放料架、清洗切水机构及烘干机构，所述放料架设于所述清洗腔内侧中心部，所述清洗切水机构及烘干机构呈圆周均匀分布于所述放料架的侧面且固定于所述机架上；所述放料架由连接件及呈圆周等距分布于所述连接件下端的料架组成，所述连接孔内设有与所述连接件固定连接的主轴，所述主轴的上端连接设有驱动连接的主轴电机及行星减速机可用于清洗半导体工厂使用的各种300mm晶圆盒，通过高压去离子水及洁净氮气对晶圆盒进行清洗，并采用放料架的离心转动脱水以及红外灯管烘干，提高清洗效率的同时确保晶圆盒表面无残留水迹。
- 一种晶圆盒清洗设备
- [发明专利]一种晶圆盒清洗设备及其清洗工艺-CN202210928568.4在审
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江永
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2022-08-03
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2022-10-21
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B08B9/28
- 本发明公开了一种晶圆盒清洗设备及其清洗工艺,包括一机架，所述机架内设有清洗腔，所述清洗腔内侧设有放料架、清洗切水机构及烘干机构，所述放料架设于所述清洗腔内侧中心部，所述清洗切水机构及烘干机构呈圆周均匀分布于所述放料架的侧面且固定于所述机架上；所述连接件的中心部穿设有圆形连接孔，所述连接孔内设有带动所述放料架转动的主轴，所述主轴的上端连接设有提供动力的主轴电机及行星减速机；可用于清洗半导体工厂使用的各种300mm晶圆盒，通过高压去离子水及洁净氮气对晶圆盒进行清洗，并采用放料架的离心转动脱水以及红外灯管烘干，提高清洗效率的同时确保晶圆盒表面无残留水迹。
- 一种晶圆盒清洗设备及其工艺
- [发明专利]在线式晶圆清洗机-CN202210930240.6在审
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江永
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2022-08-03
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2022-09-27
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H01L21/67
- 本发明公开了在线式晶圆清洗机，包括一结构主体，所述结构主体包括机架、设置于所述机架上端面的机罩，所述机罩侧壁设置有触控屏，所述机架上端面且位于所述机罩内部设置有提篮上料机构、夹爪机构、校正机构、上料机械手机构、下料机械手机构以及清洗腔体机构；所述机罩上端面还设置有若干个与机罩内部相通的FFU空气过滤装置，若干个所述FFU空气过滤装置等间距的排列于所述机罩上端面；所述机架底部四周连接有多个自由调节的升降脚杯，所述机罩顶部电性连接有与所述触控屏电性连接的三色灯；本发明实现一体化全自动清洗，提高了工作效率，降低了人工投入。
- 在线式晶圆清洗
- [实用新型]一种全自动托盘清洗机-CN202122193076.9有效
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孙庆
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2021-09-10
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2022-03-18
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B08B3/02
- 本实用新型公开了一种全自动托盘清洗机，一种全自动托盘清洗机，包括结构主体，所述结构主体包括机架，所述机架上分别设有机头及机尾，所述机架的底部分别设有水路机构、抽风机构及传动机构，所述机头前端设有进料接驳段，所述机尾远离所述进料接驳段的一端设有出料接驳段，所述机头与所述机尾还分别设有水洗段及烘干段，本实用新型能在输送过程中可以全自动完成清洗和吹干，将工作人员的工作量降到了最低，不再需要像以前那样不停的提着几十斤重的篮具来回的搬运，现在只需要坐在清洗机的入料口将要清洗的产品放到输送轮上即可，其余工序都由机器自动完成，产品被输送到出料口时只需要有人在那里收一下料即可，效率大大提升。
- 一种全自动托盘清洗
- [实用新型]一种在线式清洗机-CN202122193091.3有效
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孙庆
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2021-09-10
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2022-03-18
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B08B3/02
- 本实用新型公开了一种在线式清洗机，包括清洗机主体，所述清洗机主体设有置于外层的机壳，所述机壳内设有固定在内壁形成上下分层的隔板，所述隔板上方设有转动的清洗盘，所述清洗盘四周均匀分布有多个固定在上方的治具，所述治具底部设有对应固定在清洗盘上的载具，所述载具由上夹片和下夹片组成，所述下夹片设有装放槽，所述装放槽分为清洗部和非清洗部，所述上夹片底部嵌入固定有扣压在非清洗部上方的硅胶件，所述上夹片还设有与清洗部连通的清洗槽。由多个辅助机构一次性完成输送、入料、清洗、下料和储料操作，各机构之间相互配合，相辅相成，利用硅胶件对物料局部保护，防止遇水损坏，同时，消除静电，使得被清洗的物料更加洁净、干燥。
- 一种在线清洗
- [实用新型]一种盖板清洗线上下料机-CN202122202308.2有效
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孙庆
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2021-09-10
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2022-03-18
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B65G47/91
- 本实用新型公开了一种盖板清洗线上下料机，包括一结构主体，所述结构主体包括上料机与下料机，所述上料机与下料机呈正反向分布；所述上料机进料端与下料机出料端分别设有推车机构；所述上料机与下料机内部设有输送机构，所述输送机构由上层输送线与下层输送线组成，所述下层输送线末端设有升降机构；所述升降机构下游设有搬料机构；所述上料机出料端与下料机进料端分别设有接收料机构；所述接收料机构与所述输送机构之间设有机械手；本实用新型盖板清洗线上下料机具有自动化程度高、工作效率的优点，降低了人工投入，提高了清洗效率。
- 一种盖板清洗线上下料机
- [实用新型]双工位VCSEL半自动测试机-CN202122202310.X有效
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孙庆
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东莞市凯迪微智能装备有限公司
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2021-09-10
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2022-03-18
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G01R31/28
- 本实用新型公开了双工位VCSEL半自动测试机，包括测试机本体，测试机本体包括设备机架与防护外壳，设备机架台面上具有对VCSEL芯片进行LIV测试的LIV测试工位、对VCSEL芯片进行FF测试的FF测试工位以及对VCSEL芯片进行NF测试的NF测试工位，防护外壳将LIV测试工位、FF测试工位以及NF测试工位包裹防护在内，LIV测试工位设于设备机架台面的前侧位置，NF测试工位设于设备机架台面的尾部位置，FF测试工位设于LIV测试工位与NF测试工位之间，双工位设置，满足其中一治具平台传输机构带动治具平台依次到达LIV测试工位、FF测试工位以及NF测试工位处对产品放置槽上的VCSEL芯片进行测试，另外一治具平台传输机构上的治具平台正进行VCSEL芯片装料，从而实现装料与测试同时进行。
- 双工vcsel半自动测试
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