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[实用新型]一种双气缸驱动滑台模组-CN202021753619.7有效
发明人：葛敬昌;邱海洲;龚昱;刘红军 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2020-08-20 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： B65G25/04 文献下载
摘要：本实用新型公开一种双气缸驱动滑台模组,滑台模组包括基座和第一滑台支臂和第二滑台支臂，所述基座包括基座底座，基座底座的两侧分别设有第一侧板和第二侧板，基座底座与第一侧板和第二侧板之间均设有加强筋。本实用新型滑台模组通过导轨与基座相连，第三支撑臂和第四支撑臂通过第二支撑臂连接板紧固连接，第一滑台支臂和第二滑台支臂由不同的气缸驱动，且位于第一滑台支臂和第二滑台支臂之间，通过折弯钣金固定于基座侧板上，第一气缸和第二气缸采用侧壁安装的方式，可运用极小的体积，实现开关盒机构和mapping机构的移动；滑台模组基座上设有用于对于气缸的行程进行缓冲的缓冲器，有利于缓解气缸的震动，使得搬运更加稳定。
一种气缸驱动模组

[实用新型]一种新型的FOUP夹持机构-CN202021666462.4有效
发明人：葛敬昌;邱海洲;龚昱;刘红军 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种新型的FOUP夹持机构，包括平台底板，所述平台底板上设有至少三个定位柱，平台底板上还设有钩爪开槽，平台底板上还设有标记点，平台底板下方设有气缸，气缸一侧设有双耳环支座，气缸的底座与双耳环支座之间设有第一铰链销，气缸前端设有伸缩杆，伸缩杆前端设有Y型带销接杆，钩爪开槽至设有转动轴，转动轴与Y型带销接杆顶端共同设有钩爪，钩爪与转动轴之间通过轴承转动连接，平台底板上设有FOUP。本实用新型结构简单，便于安装和放置，提高了FOUP的定位准确度，同时夹持力度可调，避免了夹持对FOUP造成的损伤，钩爪前端装有滚轮，在压紧FOUP或松开FOUP时，将滑动摩擦改为滚动摩擦，用来减小摩擦力。
一种新型 foup 夹持机构

[发明专利]一种运输晶圆的末端执行器及控制方法-CN201811098858.0有效
发明人：赵宁;白富强 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种运输晶圆的末端执行器及控制方法，末端执行器包括基板，基板的第一端连接至机械臂，基板上远离第一端的第二端设有开口，开口的凹陷方向朝基板的第一端延伸；开口周围设有若干个吸附机构；吸附机构包括至少一个凹槽，凹槽的侧壁上设有至少一个出风口；基板还设有吹风机构，吹风机构通过通风道与吸附机构的出风口连通；气体自吹风机构抽入，通过通风道从出风口吹出，在凹槽内产生气旋，气体在凹槽内形成的气旋而形成低压，将晶圆吸附于末端执行器上；末端执行器还包括夹持装置，夹持装置用于夹持晶圆。本发明在抓取晶圆时，末端执行器与晶圆表面无接触，减小了对晶圆的污染和破坏，同时夹持装置可防止晶圆在运输晶圆时脱落。
一种运输末端执行控制方法

[发明专利]一种晶圆抓取装置及控制方法-CN201811096641.6有效
发明人：赵宁;白富强 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2018-09-19 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供了一种晶圆抓取装置及控制方法，晶圆抓取装置包括：基板，基板的第一端连接至机械臂，基板上远离第一端的第二端设有开口，开口的凹陷方向朝基板的第一端延伸；开口周围设有若干个吸附机构；吸附机构包括至少一个凹槽，凹槽的侧壁上设有至少一个出风口；基板上还设有吹气机构，吹气机构通过通风道与吸附机构的出风口连通；气体自吹气机构进入，通过通风道传输至出风口处，并从出风口吹出，在凹槽内形成气旋，然后从凹槽的侧壁边沿流出，气体在凹槽内形成的气旋而产生低压，将晶圆吸附于晶圆抓取装置上。在抓取晶圆时，晶圆抓取装置与晶圆表面无接触，减小了对晶圆的污染和破坏。
一种抓取装置控制方法

[发明专利]一种洁净室专用晶圆自动上下料设备-CN202010802753.X在审
发明人：龚昱;王伟忠;李耀孟;赵超;刘红军 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2020-08-11 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开一种洁净室专用晶圆自动上下料设备，晶圆自动上下料设备包括上料机台，所述上料机台一侧设有缓存机台，缓存机台一侧设有下料机台，下料机台与上料机台左右对称，金属烤架前方设有RFID红外射频设备，安装框架一侧设有二维码读头，缓存组件包括镜像分布的晶圆缓存提升机构，晶圆缓存提升机构一侧设有入口导向装置，晶圆缓存提升机构之间设有皮带输送机构，皮带输送机构内设有晶圆定位对中机构，吸盘型真空抓手一端设有吸盘组件，晶圆预对准器上同样设有轴向分布的吸盘组件。本发明采用特殊的真空吸盘，预对准器上同样设有真空吸盘，设有多种工作模式，兼容多种晶圆料盒，能自动识别放置料盒种类，减少了人工误操作带来的风险。
一种洁净室专用自动上下设备

[实用新型]一种晶圆双面宏观观测装置及系统-CN201920420088.0有效
发明人：龚昱;詹翡纱;邱海洲 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2020-04-14 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆双面宏观观测装置及系统，涉及晶圆检测技术领域。包括：基座，基座上设有第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板之间设有翻转盘，翻转盘通过连接轴连接于第一支撑板或第二支撑板上，翻转盘沿连接轴的轴线方向转动连接于第一支撑板与第二支撑板；翻转盘上设有旋转盘，旋转盘沿其轴线方向转动连接于翻转盘，旋转盘的轴线垂直于翻转盘的轴线，翻转盘上设有用于驱动旋转盘转动的旋转机构；旋转盘上设有开合机构，开合机构内设有用于将晶圆压紧于旋转盘的按压板，按压板沿旋转盘的周向方向设置于旋转盘上；翻转盘上开设有第一观察开口，旋转盘上开设有第二观察开口。增加了晶圆观察时的可靠性。
一种双面宏观观测装置系统

[发明专利]一种晶圆双面宏观观测装置及系统-CN201910252497.9在审
发明人：龚昱;詹翡纱;邱海洲 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2019-03-29 - 公布日： 2019-08-02 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆双面宏观观测装置及系统，涉及晶圆检测技术领域。包括：基座，基座上设有第一支撑板和第二支撑板，第一支撑板与第二支撑板之间设有翻转盘，翻转盘通过连接轴连接于第一支撑板或第二支撑板上，翻转盘沿连接轴的轴线方向转动连接于第一支撑板与第二支撑板；翻转盘上设有旋转盘，旋转盘沿其轴线方向转动连接于翻转盘，旋转盘的轴线垂直于翻转盘的轴线，翻转盘上设有用于驱动旋转盘转动的旋转机构；旋转盘上设有开合机构，开合机构内设有用于将晶圆压紧于旋转盘的按压板，按压板沿旋转盘的周向方向设置于旋转盘上；翻转盘上开设有第一观察开口，旋转盘上开设有第二观察开口。减小了晶圆损坏的可能，增加了晶圆观察时的可靠性。
翻转盘旋转盘支撑板晶圆轴线方向转动观测装置开合机构按压板连接轴种晶观察开口方向设置晶圆检测驱动旋转旋转机构轴线垂直盘转动宏观减小压紧

[发明专利]一种架空运输系统-CN201810681251.9在审
发明人：赵宁;温孟川;白富强 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2018-06-27 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： B65G35/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种架空运输系统，包括：固设的架空轨道；沿架空轨道设置的至少一个工作站，工作站设置于架空轨道正下方；于架空轨道上运行的运输装置，运输装置中包括：固定在基板上表面的两对独立控制的车轮，每个车轮内配置有带驱动的轮毂电机，运输装置通过车轮在架空轨道上滚动运行；固定在基板下表面的夹持机构，包括：夹持部，用于夹持和释放待运输物体；夹持驱动单元，用于驱动夹持部动作；夹持升降单元，用于控制夹持部的上升和下降；升降驱动单元，用于驱动夹持升降单元动作；夹持机构通过夹持升降单元控制放置于夹持部上待运输物体的重量。有效解决现有技术中轨道小车在转弯中与轨道打滑摩擦产生的颗粒会对环境造成污染的问题。
架空轨道夹持升降单元运输装置夹持部车轮夹持机构运输物体运输系统驱动架空工作站夹持驱动单元升降驱动单元基板上表面基板下表面独立控制轨道小车滚动运行轮毂电机有效解决控制夹打滑固设转弯摩擦释放轨道配置污染

[发明专利]一种新型的架空运输系统-CN201810678808.3在审
发明人：赵宁;温孟川;白富强 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2018-06-27 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种新型的架空运输系统，包括：固设的架空轨道；沿架空轨道设置的至少一个工作站，工作站设置于架空轨道的下方；于架空轨道上运行的运输装置，运输装置中包括：固定在基板上表面的两对车轮，运输装置通过车轮在架空轨道上滚动运行；固定在基板下表面一侧开口的箱体，用于在运输过程中放置待运输物体，待运输物体通过箱体的开口侧放入和取出箱体；固定在基板下表面箱体内的滑动机构，滑动机构中包括：滑块及滑块驱动单元，滑块在滑块驱动单元的驱动下朝向或背向工作站的方向横向线性移动，控制滑块伸出或退回箱体；固定在滑块下方的夹持机构，用于抓取和释放待运输物体，有效解决待运输物体在运输过程中的安全问题。
架空轨道运输物体运输装置滑块工作站滑块驱动单元基板下表面滑动机构运输过程运输系统架空车轮抓取基板上表面安全问题方向横向滚动运行夹持机构控制滑块线性移动有效解决开口侧放入固设开口取出伸出驱动释放

[发明专利]一种晶圆对中装置及方法-CN201810276575.4在审
发明人：赵宁;白富强;陈波 -专利权人： 上海新创达智能科技有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-08-28 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶圆对中装置及方法，其中晶圆对中装置包括控制器，可旋转的支撑台组件，若干夹爪组件，可径向伸缩的装设于支撑台组件上，且布置在晶圆摆放位置的四周侧，张力模块，连接至夹爪组件，驱动机构，通过张力模块与夹爪组件连接，驱动机构通过张力模块带动夹爪组件伸缩以调整晶圆位置，以及缺边寻找传感器，设置在支撑台组件上，以感测晶圆的缺边位置，其中，控制器根据张力模块的张力变化控制夹爪组件对晶圆的夹紧力，并且根据缺边寻找传感器的检测结果控制支撑台组件旋转以带动晶圆到预设角度，控制器控制驱动机构使其带动夹爪组件将晶圆移动到预设位置。实现对于超薄、形状不规则的晶圆的快速对中。
晶圆夹爪组件张力模块支撑台对中装置驱动机构缺边控制器传感器种晶张力变化控制控制器控制摆放位置检测结果晶圆位置径向伸缩可旋转的预设位置不规则夹紧力伸缩感测预设装设移动

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