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[发明专利]自动化运输系统及其控制方法-CN202311054656.7在审
发明人：龚昱;余君山 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-08-22 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请的实施例公开了一种自动化运输系统及其控制方法，自动化运输系统包括天车主体、转轴、行走轮、锁定件、抓取件以及移转组件。转轴可转动地设置于天车主体；锁定件活动设置于行走轮，并能够在锁定状态和解锁状态间切换，在锁定状态时，行走轮通过锁定件连接于转轴，在解锁状态时，行走轮与转轴能够分离；抓取件用于抓取或释放行走轮，抓取件在抓取行走轮的过程中对锁定件施加作用力，使得锁定件由锁定状态切换至解锁状态，抓取件在释放行走轮的过程中撤销对锁定件的作用力，使得锁定件由解锁状态切换至锁定状态；移转组件用于带动抓取件移动。本申请的实施例简化了更换行走轮的动作。
自动化运输系统及其控制方法

[发明专利]物料搬运系统-CN202311054655.2在审
发明人：龚昱;余君山 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-08-22 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请的实施例公开了一种物料搬运系统，物料搬运系统包括第一轨道、第二轨道、天车主体、第一行走轮、第二行走轮、第一换轮装置以及第二换轮装置。第一轨道的承载表面具有第一凹陷，第二轨道的承载表面具有第二凹陷；第一换轮装置用于在第一行走轮位于第一凹陷处时更换第一行走轮；第二换轮装置用于在第二行走轮位于第二凹陷处时更换第二行走轮；其中，第一行走轮位于第一凹陷处时，第一行走轮悬空，第二行走轮位于第二凹陷以外区域并承载于第二轨道；第二行走轮位于第二凹陷处时，第二行走轮悬空，第一行走轮位于第一凹陷以外区域并承载于第一轨道。本申请实施例能够自动化更换第一行走轮以及第二行走轮，降低了劳动强度。
物料搬运系统

[发明专利]侧向换电的物料搬运系统及控制方法-CN202310752874.1有效
发明人：龚昱;余君山 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请的实施例公开了一种侧向换电的物料搬运系统及控制方法。物料搬运系统包括第一轨道、物料搬运天车、第一电池以及第一换电装置。物料搬运天车架设于第一轨道，并在第一轨道上行走；第一电池与物料搬运天车在水平方向插接配合，并与物料搬运天车电性连接；第一换电装置用于抓取并带动电池移动以更换第一电池。本申请实施例缩短了物料搬运天车补充电量的时间，提高了物料搬运系统的工作效率。另外，第一电池与物料搬运天车在水平方向插接配合，更便于布置第一换电装置，避免第一换电装置占用高度方向的空间。
侧向物料搬运系统控制方法

[发明专利]侧向换电的物料搬运系统-CN202310752862.9有效
发明人：龚昱;余君山 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请的实施例公开了一种侧向换电的物料搬运系统。其中，第一电池通过第一导向部滑动配合于物料搬运天车。第二电池通过第二导向部滑动配合于第一承载件。第二导向部的横截面与第一导向部的横截面相同。第一驱动件用于驱动第一电池脱离物料搬运天车，以及驱动第二电池由第一承载件移动至物料搬运天车，以使得第二电池与物料搬运天车电性连接。本申请实施例缩短了物料搬运天车补充电量的时间，提高了物料搬运系统的工作效率。
侧向物料搬运系统

[发明专利]一种带翘曲校正功能的晶圆承载器-CN202310737242.8有效
发明人：龚昱;朱飞;余君山 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种带翘曲校正功能的晶圆承载器，包括：承载板、密封盖板、吸附校正组件及第一中心吸附源，吸附校正组件包括两条吸附条、平行轨道，初始位置，两条吸附条位于所述承载板的中心下方；在校正状态下，两条吸附条沿平行轨道在承载板下方的中间朝相反方向移动；第一中心吸附源在完成校正后使得晶圆被吸附于承载板上。本发明通过吸附条从中间向两侧移动吸附的方式，从而使得晶圆能够从中间向两侧逐渐被展平，实现对晶圆翘曲部分的校正。
一种带翘曲校正功能承载

[发明专利]一种辅助天车补偿校正系统及控制方法-CN202310693157.6有效
发明人：龚昱;朱飞;余君山 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-06-13 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B66C13/16 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种辅助天车补偿校正系统及控制方法，包括：天车、承载平台、至少一组传感器组件及控制器，天车用于抓取并移动料盒，料盒的底部包括若干定位槽；承载平台包括承载板，承载板上设置若干定位销，定位销用于卡入所述定位槽中；传感器组件包括第一传感器与第二传感器，第一传感器与第二传感器分别设置在若干定位销中的某个定位销两侧；第一传感器与第二传感器均能够升降。通过在定位销两侧设置可升降的传感器组件，能够及时发现料盒偏移角度达到预设范围，控制器发出补偿命令，解决了因料盒的偏移旋转角度过大，但未能及时发现而导致的定位销失去校正作用，致使设备停机或更换的技术问题。
一种辅助天车补偿校正系统控制方法

[发明专利]基于无线供电的物料搬运天车及其控制方法-CN202310611793.X有效
发明人：龚昱;余君山 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司;华芯（嘉兴）智能装备有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请的实施例公开了一种基于无线供电的物料搬运天车及其控制方法。物料搬运天车架设在两条轨道上行走，每条轨道均设有一条沿轨道延伸的利兹线。物料搬运天车包括取电器以及驱动件。取电器的一侧具有取电开口，取电器通过取电开口卡设于利兹线外，并与利兹线配合进行非接触式取电。物料搬运天车中的取电器在移动到利兹线中断处之前，通过驱动件驱动取电器旋转，以调节取电开口的朝向，进而使得取电器通过取电开口选择两条利兹线中的一者进行配合取电。由此，缩短了取电器取电中断的时间，降低了取电器的功率要求。
基于无线供电物料搬运天车及其控制方法

[发明专利]一种料盒承载平台、控制方法及半导体设备-CN202310671682.8有效
发明人：龚昱;朱飞;余君山 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种料盒承载平台，电机组件与同步带轮组件安装在安装平板上，通过电机组件与同步带轮组件带动承载板旋转，角度调节组件安装在同步带轮组件的第二轮组处，角度调节组件包括金属折板、环形轨道、第一传感器及第二传感器，金属折板安装在第二轮组的轴承上且金属折板上包括第一指针及第二指针，环形轨道绕第二轮组一周而设，第一指针及第二指针分别用于触发第一传感器及第二传感器，第一传感器与第二传感器以第二轮组的轴心所成夹角是承载板旋转的角度。实现了料盒的360°旋转，解决了因OHT轨道与处理设备在水平面投影存在夹角，料盒无法直接转运的问题。
一种承载平台控制方法半导体设备

[发明专利]一种用于晶圆料盒搬运的中转设备-CN202310685398.6有效
发明人：龚昱;朱飞;余君山 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2023-06-12 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种用于晶圆料盒搬运的中转设备，包括：夹取部分、Z向升降部分、Y向移动部分、X向移动部分和支撑组件。从处理设备中接收料盒时，夹取部分在Z向升降部分、Y向移动部分和X向移动部分的共同作用下被送至合适位置后将料盒抬起，后将料盒移动到支撑组件上被天车转运走；从天车接收料盒时，天车将料盒放置到支撑组件上，夹取部分在Z向升降部分、Y向移动部分、X向移动部分的共同作用下被送至合适位置后将料盒抬起，后将料盒送至处理设备，实现了料盒在天车与处理设备之间的中转，且达到了减少设备复杂度及设备运行时干涉的目的。
一种用于晶圆料盒搬运中转设备

[发明专利]一种轨道小车的物料夹持装置-CN202010850408.3有效
发明人：白富强;邱海洲;李耀孟 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2020-08-21 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本发明公开一种轨道小车的物料夹持装置，其中夹持装置包括壳体、第一传感器、第二传感器、第三传感器、第四传感器、圆柱体、顶板、第一挡片、左夹板、右夹板、第二挡片、行程开关、圆锥体。本发明具备有效的安全保护措施，在夹持后能够从各个方位限制FOUP的移动；采用左夹板和右夹板相向运动的方式，位于蘑菇头的下方，蘑菇头的上方有顶板，并且顶板在弹簧力的作用下，始终与蘑菇头紧密接触，不会产生夹不紧的问题，且弹簧力经过精确计算和试验，在保证可靠夹持FOUP的同时不会损坏FOUP，这样避免了夹得过紧的问题。解决了现有技术中FOUP夹持装置夹持转运FOUP过程中容易导致夹持过紧、夹持偏移、容易脱落以及位置有误无法识别的问题。
一种轨道小车物料夹持装置

[实用新型]一种具有升降功能的晶圆校准器-CN202222422597.1有效
发明人：余君山;龚昱;刘红军 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种具有升降功能的晶圆校准器，属于晶圆校准设备技术领域，包括机体，所述的机体上设置有能够在水平纵向和水平横向上发生位移并且能够发生转动的校准轴，所述的校准轴穿出所述机体，所述机体的一侧固定有一竖直设置的支撑板，所述的支撑板上设置有一与支撑板平行设置的装配板，所述的装配板上固定有一水平设置的U形板，所述的U形板上固定有若干真空吸嘴，且所述的校准轴穿设在所述U形板中，所述的支撑板与装配板之间设置有能够使装配板在竖直方向上发生位移并实现定位的升降定位机构。本实用新型在对晶圆对中时能够实现晶圆的升降，不仅适用于U字形手指，还适用于I字形手指，还具有生产成本低的优点。
一种具有升降功能校准

[实用新型]一种多尺寸晶圆对中转移装置-CN202222423522.5有效
发明人：余君山;温孟川;王伟忠;刘红军;邱海洲 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2022-09-13 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B65G15/12 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种多尺寸晶圆对中转移装置，属于半导体行业自动化设备技术领域，包括机架，所述机架的上侧设置有两根平行设置的皮带，两根所述皮带之间的间距小于晶圆的直径，所述的皮带与机架之间设置有能够驱使皮带传动的驱动机构，所述的机架上固定有第一光电传感器，且第一光电传感器位于皮带输入晶圆的一侧，所述机架的一侧设置有若干夹持块一，机架的另一侧设置有若干与所述夹持块一相对应的夹持块二，所述的夹持块一与机架之间设置有能够使得夹持块一升降且利用夹持块一和夹持块二将晶圆夹紧对中的对中机构。本实用新型具有工作效率高和运行成本低的优点。
一种尺寸转移装置

[实用新型]一种超薄晶圆对中结构-CN202222282705.X有效
发明人：龚昱;贾绍锋 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种超薄晶圆对中结构，属于晶圆加工设备技术领域，包括放置杆，在放置杆上端端面上固定连接有放置板，在所述放置杆外壁上同轴固定连接有一导向板，导向板呈圆形设置，导向板上表面与放置板下表面抵接，在导向板上表面上沿着导向板周向间隔均匀的开设有若干个导向槽，导向槽沿着导向板的径向开设，在所述导向槽中滑动连接有一夹紧杆，在夹紧杆上端外壁上固定连接有夹紧橡胶头，在放置杆上设有用于同时驱动夹紧杆在导向槽中滑动的驱动机构，本实用新型具有方便了操作者将晶圆与放置板进行对中，提高了对晶圆的加工效率的优点。
一种超薄结构

[实用新型]一种半导体晶圆光学字符识别自动切换装置-CN202221098703.9有效
发明人：余君山;王伟忠;刘红军 -专利权人： 上海新创达半导体设备技术有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-12-13 - 主分类号： G06K7/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体晶圆光学字符识别自动切换装置，包括晶圆校准器、晶圆托盘、传感器和读码器，所述晶圆校准器用于晶圆对中以及寻边，所述晶圆托盘设置在晶圆校准器上，所述晶圆托盘可在8吋工位和12吋工位之间进行滑动切换，并且可绕轴旋转，所述传感器设置在晶圆校准器上，所述传感器用于识别晶圆托盘上是否有晶圆，所述读码器设置在晶圆校准器一侧，所述读码器可在8吋晶圆读码位置和12吋晶圆读码位置之间滑动切换；所述读码器的滑动切换轨迹与所述晶圆托盘的滑动切换轨迹之间具有45度夹角。本实用新型在节约成本的同时，大幅减小了晶圆的传输时间，使得最大化提高生产效率得以实现。
一种半导体圆光字符识别自动切换装置

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