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- [发明专利]插入式低温冷凝板装置-CN201210259887.7有效
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张素平;潘高峰;邢建升;秦久昌;李振国
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中国原子能科学研究院
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2012-07-26
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2012-11-07
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H05H13/00
- 本发明涉及一种低温冷凝板装置,包括低温冷凝板(3),低温冷凝板(3)的四周设置由下底板和侧面板连接而成的屏蔽板(2),屏蔽板(2)的顶部设置挡板(1),屏蔽板(2)的下底板与制冷机(6)的一级冷头相连接,两套带孔低温冷凝板(3)分别与两台双二级制冷机(6)的二级冷头相连,制冷机(6)固定在安装法兰(4)上,低温冷凝装置通过安装法兰(4)设置在真空室内,因此,本发明能克服传统低温泵对气体的抽速受到低温泵泵口直径以及挡板的限制,通过将气体冷凝到低温表面上,将气体抽除,能获得好于5E-6Pa的清洁超高真空,且本发明涂活性炭时能明显增加对氮气的容量,作为内置泵时能明显提高对氮气的抽速。
- 插入低温冷凝装置
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