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[发明专利]一种制备大面积铁电薄膜的方法-CN200410018579.0无效
发明人：仇萍荪;丁爱丽;何夕云;程文秀;郑鑫森 -专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日： 2004-05-21 - 公布日： 2005-02-16 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种制备均匀大面积铁电薄膜的方法，属于铁电薄膜制备领域。其特征在于采用化学匀胶成膜的方法制备铁电薄膜。关键是改进了匀胶台吸盘的气路槽和优化工艺参数。设计的气路槽宽减小至0.8－1.5mm，槽深减至0.5－0.8mm，增加了槽的数量由圆环状改为发射状，且工艺参数优化，与原来较深的圆槽相比，匀胶后的膜颜色均匀，没有衍射环，所制备的4英寸PZT铁电薄膜厚度均匀性和性能均匀性偏差分别为2.5％和3％。
一种制备大面积薄膜方法

[发明专利]压电层及其形成方法和所述方法使用的加热装置、压电元件-CN200410050093.5无效
发明人：横内俊昭;角浩二 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2004-07-02 - 公布日： 2005-02-09 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种可使铁电前驱体膜可靠脱脂并可获得良好结晶性的压电层的形成方法和其所使用的加热装置、以及具有良好结晶性的压电层和压电元件。本发明的压电层的形成方法包括：干燥工序，在衬底的下电极上至少形成一层铁电前驱体膜并使铁电前驱体膜干燥；脱脂工序，将衬底导入与被加热到一定温度的热板相对的区域，在由接近栓支承的状态下对铁电前驱体膜进行脱脂；烧结工序，将脱脂的铁电前驱体膜进一步烧结作为铁电膜；以及，通过重复进行预定次数的铁电前驱体膜的干燥工序、脱脂工序及烧结工序来形成压电层，并在进行脱脂工序时，调节热板与衬底之间的间隔，同时冷却与衬底的热板相反侧的空间温度，从而调节铁电前驱体膜的加热温度的工序。
压电及其形成方法使用加热装置元件

[发明专利]一种有机压电薄膜极化方法-CN200310114673.1无效
发明人：王清海;张雨;姜维维 -专利权人：中国兵器工业集团第五三研究所
申请日： 2003-12-31 - 公布日： 2004-12-22 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明涉及的有机压电薄膜极化方法，以电接触极化方法为基础，采用直流电源施加极化电压，用均匀、平整的0－3连接复合压电材料3隔离被极化薄膜2与极化电极1，使作用于被极化薄膜上的电场均匀、稳定，按常规条件进行极化，操作简单，避免极化过程中的电击穿，极化过程稳定性好，效率高，可显著提高极化周期完成率，和被极化薄膜的压电性能和压电性能稳定性。
一种有机压电薄膜极化方法

[发明专利]高分子压电材料有序取向装置-CN200310110051.1无效
发明人：刘雅言;张风涛;郝先;李莹 -专利权人：中国科学院长春应用化学研究所
申请日： 2003-11-17 - 公布日： 2004-11-10 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明属于高分子压电材料有序取向装置。由同步运转的高分子压电材料的拉伸仪与有序取向仪组成。高分子压电薄膜经加热后，进行拉伸，并在拉伸的同时对薄膜进行电晕极化，使压电薄膜实现晶型有序取向，拉伸控制在一定倍数，然后通过展平辊将薄膜进行展平处理，最后收卷。本发明通过机械力作用使高分子薄膜发生形变，减速器和齿数比控制两组辊的不同转速，控制薄膜的拉伸比、拉伸速度，从而提高薄膜的晶型转换，同步进行薄膜的有序取向，达到薄膜压电功能化的目的。整套装置结构简单，条件易于控制，操作简便。
高分子压电材料有序取向装置

[发明专利]保持器的制造方法、致动器的制造方法以及滑动部件的制造方法-CN200410008852.1无效
发明人：东条裕志 -专利权人： TDK株式会社
申请日： 2004-03-24 - 公布日： 2004-09-29 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明提供能够精确形成一对臂部长度的保持器的制造方法、致动器的制造方法以及滑动部件的制造方法。本发明的滑动部件(1)的制造方法包括：在第一基板(60)的两面(61、62)相对位置上形成一对沟槽(70、71)的工序；形成有一对沟槽的两面上分别接合第二基板(80)与第三基板(80)的接合工序；从该第一基板的端部(60a)至一对沟槽的位置对接合有第二基板与第三基板的第一基板进行蚀刻并使第二基板与第三基板中的第一基板侧的一部分面露出，从而形成一对臂部(42、42)的工序；第二基板与第三基板中与第一基板相反一侧的面上分别安装压电元件(30、30)的工序；在一对臂部之间安装磁头滑块(10)的工序。
保持制造方法致动器以及滑动部件

[发明专利]压电体极化处理方法-CN00124189.3有效
发明人：友广宏;藤井直树 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2000-08-14 - 公布日： 2004-09-15 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种压电体的极化处理方法，其中压电体构成得使电流响应于将DC电压施加到压电体而流过压电体，该方法包含步骤：测量流过压电体的电流，在测量到的电流值达到设定值时停止施加DC电压。通过利用极化过程中的电流和极化程度的相关性，根据电流值控制极化程度。通过这种方法，得到理想的极化程度，并且减小了极化的分散。
压电极化处理方法

[发明专利]微电子压电结构-CN01813280.4无效
发明人：拉马默西·拉麦士;王玉;詹福瑞·M·芬德;库特·艾森比萨;于志毅;拉文卓诺斯·卓柏德 -专利权人：摩托罗拉公司
申请日： 2001-07-19 - 公布日： 2004-07-07 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：通过首先在硅晶片上生长一个钛酸锶层(104)，可以在大硅晶片上生长高质量的单晶Pb(Zr，Ti)O₃外延层(110)。该钛酸锶层(104)为单晶层，与所述硅晶片之间隔有一个氧化硅无定形中间层(116)。
微电子压电结构

[发明专利]压电体膜的制造方法、压电体元件和喷墨式记录头-CN03157462.9有效
发明人：小林本和;汤浅俊哉;久保田纯;襟立信二;内田文生;清水千惠美;前田宪二 -专利权人：佳能株式会社;富士化学株式会社
申请日： 2003-09-22 - 公布日： 2004-05-12 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：一种压电体膜的制造方法，该方法包括以下步骤：将用于形成压电体的涂布液涂布在基板上形成涂布膜的涂布步骤；干燥所述涂布膜的干燥步骤；预焙烧所述涂布膜形成氧化物膜的预焙烧步骤；焙烧所述氧化物膜形成压电体膜的主焙烧步骤；和冷却所述压电体膜的冷却步骤；上述各步骤在含有水分的气体存在下进行，在所述涂布步骤中所述基板的温度为50℃或50℃以下，含有水分的气体在25℃下的相对湿度为60％RH或60％RH以下；在所述干燥步骤中所述基板的温度为200℃或200℃以下，所述相对湿度为10～70％RH；在所述预焙烧步骤中所述基板的温度为200～450℃，所述相对湿度为70～100％RH；所述主焙烧步骤中所述基板的温度为500～800℃，所述相对湿度为70～100％RH。
压电制造方法元件喷墨式记录

[发明专利]片式压电变压器连续极化的方法及其装置-CN02114440.0有效
发明人：陈耀强 -专利权人：西安康鸿信息技术股份有限公司
申请日： 2002-02-08 - 公布日： 2004-04-07 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明公开一种片式压电陶瓷变压器(包括单层变压器和多层变压器)连续极化装置，它由电压控制系统、温度控制系统、油压推进系统、连续加热炉和专用的装卡具极化车等组成，它以空气为介质，对片式压电陶瓷变压器压电端和发电端同时极化。本发明也适用于以压电陶瓷材料为原料制成的其他压电陶瓷产品极化，如压电陶瓷滤波器、压电陶瓷峰鸣器等产品，本发明结构简单，特别是专用极化车应用，大大提高了生产效率，操作方便等特点在实际应用获得满意的效果。
压电变压器连续极化方法及其装置

[发明专利]压电器件与其盖密封方法、盖密封装置、利用压电器件的便携电话装置及利用压电器件的电子设备-CN03122687.6有效
发明人：川内修;樱井贤治;村田健一郎 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2003-03-24 - 公布日： 2003-10-08 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：就压电器件的封装件盖密封而言，提供一种可迅速且确实进行多个或多数封装件的盖密封的压电器件的盖密封方法。一种盖密封方法，就盖体(39)固定在支持固定压电振荡片一部分的封装件(36)中的压电器件而言，上述盖体密封在上述封装件中，其中，排列多个上述封装件，使其底部一侧面向卤素灯，向上述多个封装件(36)的底部照射卤素灯发出的光束L3，通过其热量来熔化配置在上述封装件与上述盖体间的钎料(33)。
压电器件与其密封方法装置利用便携电话电子设备

[发明专利]薄膜压电元件的制造方法和元件收纳夹具-CN03119824.4有效
发明人：三上宽佑;内山博一;桑岛秀树 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2003-03-04 - 公布日： 2003-09-17 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明的薄膜压电元件的制造方法包括：把形成在基板上的多个薄膜压电元件通过粘接层粘接在暂时固定用基板上以使用该基板和暂时固定用基板夹持薄膜压电元件的工序、通过选择地除去该基板使薄膜压电元件露出的工序、使薄膜压电元件与区划范围部对应地固定具有分隔离各个薄膜电子元件的区划范围部的元件收纳夹具的工序、和在垂直方向上下配置元件收纳夹具通过药液溶解除去粘接层以便将薄膜元件收纳在元件收纳夹具的上述区划范围部中的工序，在从基板上分离薄膜压电元件时，可以彼此隔离地收纳。结果可以提高薄膜压电元件的生产效率和成品率。
薄膜压电元件制造方法收纳夹具

[发明专利]一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构及其制备方法-CN00105549.6无效
发明人：任天令;张林涛;刘理天;李志坚 -专利权人：清华大学
申请日： 2000-03-31 - 公布日： 2003-08-27 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于电子元器件的硅基铁电夹心结构的制备方法，首先制备PZT和PT先驱溶胶备用，在单晶硅衬底上生长二氧化硅，再在溅射一层金属Pt/Ti层作底层电极，在其上旋涂一层PT溶胶，再旋涂一层PZT溶胶，最后在铁电薄膜表面旋涂一层正胶，光刻，溅射一层金属Pt/Ti层，正胶剥离形成顶层电极，即得本发明的用于电子元器件的夹心结构。本发明方法降低了铁电薄膜的退火温度，从而提高了铁电薄膜的制备工艺与微电子工艺的兼容性。
一种用于电子元器件硅基铁电夹心结构及其制备方法

[实用新型]片式压电变压器连续极化装置-CN02224541.3无效
发明人：陈耀强 -专利权人：西安康鸿信息技术股份有限公司
申请日： 2002-02-08 - 公布日： 2003-03-26 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种片式压电陶瓷变压器(包括单层变压器和多层变压器)连续极化装置，它由电压控制系统、温度控制系统、油压推进系统、连续加热炉和专用的装卡具极化车等组成，它以空气为介质，对片式压电陶瓷变压器压电端和发电端同时极化。本实用新型也适用于以压电陶瓷材料为原料制成的其他压电陶瓷产品极化，如压电陶瓷滤波器、压电陶瓷峰鸣器等产品，本实用新型结构简单，特别是专用极化车应用，大大提高了生产效率，操作方便等特点在实际应用中获得满意的效果。
压电变压器连续极化装置

[发明专利]电子点焊工艺在压电陶瓷变压器引线连接上的应用-CN02134689.5有效
发明人：程浩川 -专利权人：程浩川
申请日： 2002-09-06 - 公布日： 2003-03-12 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：一种电子点焊工艺在压电陶瓷变压器引线连接上的应用是将引线线头与压电陶瓷片被银电极压合后用电子点焊机直接熔化结合，即完成引线与压电陶瓷片被银电极的焊接。压电陶瓷片在封装入罩壳后，压电陶瓷片引线与罩壳电极间的连接，亦可采用上述电子点焊工艺完成。本工艺完全不用焊料，彻底无铅化，机械点焊克服了手工焊点的不一致性；由于不用焊料，最大限度减少了焊料所带不的附加质量，可使焊点的高度降低0.5～1mm，同时改善了压电陶瓷片自由振动工况。这种点焊工艺在压电陶瓷变压器上的应用，既可提高产品质量，同时降低产品的制作成本，且有利于环境保护。
电子点焊工艺压电陶瓷变压器引线接上应用

[发明专利]压电变压器的制造方法以及压电变压器的制造装置-CN02122631.8有效
发明人：友广宏;生田正人 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2002-06-19 - 公布日： 2003-01-22 - 主分类号： H01L41/22 文献下载
摘要：一种压电变压器的制造方法和压电变压器的制造装置，用绝缘材料(10)覆盖由设在压电陶瓷体(2)上的构成输入部(3)的极化区域和构成输出部(4)的极化区域所构成的压电变压器的输出部(4)的压电陶瓷体(2)的表面区域，并在空气中对输出部(4)的极化区域进行极化处理。目的在于在防止发生裂纹的基础上，提供具有所希望极化度的压电变压器。
压电变压器制造方法以及装置

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