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[实用新型]晶圆检测设备-CN202220944176.2有效
发明人：曾安;唐寿鸿;陈建强;朱充 -专利权人：南京中安半导体设备有限责任公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本申请提供一种晶圆检测设备，所述晶圆检测设备包括两个干涉仪，用于分别位于待检测晶圆的两侧对晶圆进行检测；每个所述干涉仪包括标准镜单元及用于驱动所述标准镜单元移动的驱动机构；其中，两个所述干涉仪的所述标准镜单元相对放置，在两个所述标准镜单元之间形成用于放置待检测晶圆的间隙，所述驱动机构能够驱动所述标准镜单元移动来调整两个所述标准镜单元之间的间隙大小。本申请提供的晶圆检测设备，可以方便将待检测晶圆装载到两个标准镜单元之间，利于提高待检测晶圆的装载速度，并能够较好地调整待检测晶圆与标准镜之间的距离，从而利于提高晶圆的检测精度。
检测设备

[发明专利]具有共振腔的等离激元波导传感器及其使用和制备方法-CN202010599335.5有效
发明人：陶金;刘子晨;尤全;肖希;余少华 -专利权人：武汉邮电科学研究院有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本申请涉及一种具有共振腔的等离激元波导传感器及其使用和制备方法，该具有共振腔的等离激元波导传感器包括等离激元波导和光学共振结构；等离激元波导用于传输表面等离激元信号，并将传输的表面等离激元信号耦合到光学共振结构中；光学共振结构与所述等离激元波导间隔设置，光学共振结构用于存储待测物质，并将接收到的表面等离激元信号耦合到所述等离激元波导中，使所述光学共振结构耦合出来的表面等离激元信号与等离激元波导中的表面等离激元信号发生干涉。本申请提供的具有共振腔的等离激元波导传感器，具有低插损、探测灵敏度更高的优点。
具有共振离激元波导传感器及其使用制备方法

[实用新型]多线成像型速度干涉仪-CN202220420126.4有效
发明人：闫亚东;何俊华;李奇;吴冰静;刘霞刚;高炜 -专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本实用新型提供一种多线成像型速度干涉仪，解决现有激光聚变球形燃料压缩对称性诊断无法准确推断燃料压缩时空过程的问题。干涉仪包括激光源、探针耦合镜、探针分束镜、前端镜头、信号分束镜和两个差频干涉光路单元；激光源出射的激光经探针耦合镜、探针分束镜、前端镜头聚焦于待测物面，经待测物面反射的信号经前端镜头、探针分束镜入射至信号分束镜，分成两束并分别进入两个差频干涉光路单元；每个差频干涉光路单元包括干涉仪前置镜、多线分束镜组、差频干涉组件一、条纹相机和N‑1个差频干涉组件二；信号光经多线分束镜组分为N个支路；N个支路分别经差频干涉组件一和N‑1个差频干涉组件二成像于条纹相机。
成像速度干涉仪

[发明专利]一种全息点阵相干成像方法与系统-CN202210541282.0有效
发明人：杨海宁;雷弈;初大平 -专利权人：剑桥大学南京科技创新中心有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：一种全息点阵相干成像方法与系统，在OCT光源即入射光束光路上加空间光调制器和透镜，空间光调制器上显示具有分束效果的全息图，入射光束经过空间光调制器和透镜，形成一行光斑点阵；采用上述改进的OCT光源进行OCT光学相关断层扫描。所述空间光调制器为液晶空间光调制器LCOS、MEMS空间光调制器；LCOS生成的这一行光斑点阵被分束镜一分为二，一束打至参考臂光路，另一束打至待测样品成为样品臂光路；经过参考臂光路和样品反射的点阵光束分别再一次经过分束镜合束后在一透镜的后焦平面发生干涉形成成像面。
一种全息点阵相干成像方法系统

[发明专利]遮罩特征分析的方法及设备-CN202110851395.6在审
发明人：陈建诚;林秉勳;李环陵;连大成;陈嘉仁;李信昌 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-07-27 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：一种遮罩特征分析的方法及设备，遮罩特征分析的方法包含量测用于微影的反射或透射遮罩的干涉信号、以及基于干涉信号确定反射或透射遮罩的品质指标。一种遮罩特征分析的设备包含光源、光学光栅及光学侦测器阵列。光源经配置以用光照射反射或透射遮罩，由此产生遮罩反射或遮罩透射光。光学光栅经配置以将遮罩反射或遮罩透射光转换为干涉图案。光学侦测器阵列经配置以通过量测干涉图案来产生干涉信号。
特征分析方法设备

[发明专利]一种变压器套管油中溶解气体光纤传感系统-CN202210571768.9有效
发明人：马国明;陈章霖;史荣斌;谢洋洋;王渊;郑迪雅 -专利权人：华北电力大学
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明提出一种变压器套管油中溶解气体光纤传感系统，包括光源、环形器、2×2耦合器、掺铒光纤放大器、第一1×2耦合器、延迟光纤、气体传感模块、第二1×2耦合器、声光调制器、声光调制器驱动、平衡光电探测器、数据采集和上位机；气体传感模块由陶瓷膜和空心光子晶体光纤构成，涂覆高分子材料的陶瓷膜可实现高效油气分离，空心光子晶体光纤可作为光与气体相互作用的气室。气体传感模块内置于变压器套管储油柜中，缩短了故障气体对流扩散至气体传感模块的时间。本发明提高了在线监测实时性，在保证较高灵敏度和检测下限的同时，降低了对光源和平衡光电探测器的性能要求，降低成本。
一种变压器套管溶解气体光纤传感系统

[发明专利]一种用于光学层析测量的混叠正弦波信号分离方法-CN202210668836.3在审
发明人：谈季;何昭水;苏文青;刘太亨;林志洁;王沛涛;谢胜利 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于光学层析测量的混叠正弦波信号分离方法，其包括以下步骤：通过测量系统采集层析测量混叠正弦波信号；根据三角恒等式求取层析测量混叠正弦波信号相邻三帧之间的关系；利用求取得到的层析测量混叠正弦波信号相邻三帧之间的关系，构建层析测量混叠正弦波信号频率估计优化问题；将构建的层析测量混叠正弦波信号频率估计优化问题转化为拉格朗日优化方程；利用交替迭代方式求解拉格朗日优化方程，并最终将层析测量混叠正弦波信号中所有频率估计出来，从而实现层析测量混叠正弦波信号的分离。与传统光学层析测量信号处理方法相比，本发明能够在更少的采样数据和更窄的光源带宽下，实现更高的深度分辨率。
一种用于光学层析测量正弦波信号分离方法

[发明专利]可用于活体细胞实时检测的干涉定量相位显微成像系统-CN202210246376.5在审
发明人：杨甬英;江佳斌;曹频;肖翔 -专利权人：杭州晶耐科光电技术有限公司
申请日： 2022-03-14 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种可用于活体细胞实时检测的干涉定量相位显微成像系统。本发明包括改进的显微成像系统、四波前横向剪切干涉系统；四波前横向剪切干涉系统包括混合光栅与CCD；改进的显微成像系统包括还包括窄带滤光片与孔径光阑共同组成的LED光源相干性限制系统；LED光源发出的光束经相干性限制系统的窄带滤光片与孔径光阑后，经第一准直透镜产生平行光，穿过样品载物台进入倒置显微物镜，出射光经反射镜与第二准直透镜后平行入射到四波前横向剪切干涉系统的混合光栅发生干涉，由CCD记录干涉图，再通过解调重构算法得到细胞三维图像。本发明可以在不损伤细胞的基础上进行实时成像，为细胞生物学的研究提出了新的活体检测方法。
用于活体细胞实时检测干涉定量相位显微成像系统

[发明专利]薄膜干涉型氢气传感器及氢气跟踪检测方法-CN202210712230.5在审
发明人：高炬;赵蒙 -专利权人：枣庄学院
申请日： 2022-06-22 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明涉及一种薄膜干涉型氢气传感器及氢气跟踪检测方法。其包括内设空腔且上表面开口的容器、放置在空腔内下表面上的基片、设置在基片边缘一处与下表面之间的垫片、封闭所述开口的玻璃板以及穿过玻璃板透射入空腔的光源，所述玻璃板与所述下表面平行，所述基片与玻璃板之间存在空气层，所述基片靠近玻璃板的一侧表面设有钯薄膜，所述容器设有通向所述空气层的阀门，所述光源的入射光与玻璃板垂直。本发明提供的技术方案通过在一密闭空间中构建薄膜干涉结构，干涉结构中薄膜厚度会随氢气浓度变化发生变化，从而可以反映到干涉条纹的变化上，设计的传感器结构简单、反映灵敏、成本低、安全性高。
薄膜干涉氢气传感器跟踪检测方法

[发明专利]一种空芯光纤氢气传感器-CN202210400450.4在审
发明人：朱晓松;刘瑞鑫;张娴;石艺尉 -专利权人：复旦大学;复旦大学义乌研究院
申请日： 2022-04-16 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明属于光纤传感技术领域，具体为一种空芯光纤氢气传感器。本发明空芯光纤氢气传感器，包括基管、氢敏薄膜、介质膜和纤芯；其中氢敏薄膜为钯膜，涂覆于基管内壁，介质膜镀覆在所述氢敏薄膜表面；纤芯是中空的，用于装载待测气体样品。本发明通过检测光纤传输光谱中干涉峰波长的变化，获得氢气浓度的变化情况。其结构简单，成本低廉，抗电磁干扰能力强，具有很好的实用价值和应用前景。
一种光纤氢气传感器

[发明专利]一种基于二维材料异质结的D型PCF生物传感器-CN202210506090.6在审
发明人：杨宏艳;刘洋;刘孟银 -专利权人：桂林电子科技大学
申请日： 2022-05-09 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于二维材料异质结的D型PCF生物传感器，该传感器是由一段包层区域抛磨掉部分形成D型PCF、金膜、石墨烯材料以及MoS2材料组成。本发明主要通过将MoS2涂覆在石墨烯层上形成异质结，将两者优异的物理特性相结合，提高对生物分子的吸附，增强金膜表面的SPR，进而提高传感器的灵敏度。该传感器对外界介质折射率的细微变化极其敏感的特性，当金膜表面的外界环境折射率改变时，会导致共振吸收峰的位置发生改变，通过测量共振吸收峰对应位置波长的变化量来计算外界折射率的变化。该传感器的优点在于结构简单，采用两种二维材料堆积形成异质结构，能够获得高灵敏度，低损耗，外部传感能够实时检测。
一种基于二维材料异质结 pcf 生物传感器

[发明专利]混合式蓝宝石晶体双法珀腔光纤折射率传感器及测量方法-CN202010019319.4有效
发明人：刘铁根;王双;于迅;江俊峰;刘琨;严梅瑜;吴雯;张鹏 -专利权人：天津大学
申请日： 2020-01-08 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种混合式蓝宝石晶体双法珀腔光纤折射率传感器及测量方法，该传感器包括蓝宝石实心晶片(1)、蓝宝石C型环(2)、蓝宝石反射镜(3)、蓝宝石插芯(4)以及构成高温区和常温区光信号传输波导的蓝宝石‑石英光纤；所述蓝宝石实心晶片(1)、所述蓝宝石C型环(2)和所述蓝宝石反射镜(3)同轴并且沿中心轴对齐、贴紧设置，所述蓝宝石实心晶片(1)再与所述蓝宝石插芯(4)的水平截面对齐、贴紧固定；所述蓝宝石实心晶片(1)和所述蓝宝石C型环(2)构成混合双法珀干涉腔。与现有技术相比，本发明极大地提高了混合式法珀传感器高温耐受度，具有极高的温度折射率测量灵敏度，可实现极端环境下温度折射率双参量的准确测量。
混合式蓝宝石晶体双法珀腔光纤折射率传感器测量方法

[发明专利]一种便携式瓦斯检测装置-CN202210261326.4在审
发明人：王丛泉;李贤超;郭凯瑞;李献民;孙新海;汪微;李蒙男;谈利军;张建立;窦海鸥 -专利权人：中交一公局集团有限公司;中交一公局第三工程有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明涉及土木工程领域，尤其涉及一种便携式瓦斯检测装置，包括保护壳、吸气管以及排气管，吸气管和排气管延伸至保护壳内；隔板，其两端固定安装在保护壳内且分布在保护壳两侧，两侧所述隔板将保护壳依次分为分流空腔、检测空腔以及排气空腔；导出机构，其设置在保护壳的分流空腔内，导出机构分别和吸气管及排气管连接；检测机构，安装在检测空腔内且和管道组件远离排气管的出气端连接；排气机构，其主体设置在排气空腔内，排气机构气体输出端延伸至保护壳外。本发明提供的便携式瓦斯检测装置不仅可以通过检测机构对瓦斯浓度进行检测，而且可以通过导出机构将检测装置中所残留的空气排出，大大提高了检测数据的精准度，使用简单，实用性强。
一种便携式瓦斯检测装置

[发明专利]一种基于相位探测的光学材料折射率谱测量系统与方法-CN202110175297.5有效
发明人：杨亚良 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于相位探测的光学材料折射率谱测量系统与方法，包括扫频光源、第一和第二光纤耦合器、第一和第二透射式准直器、第一和第二反射式准直器、第一和第二偏振控制器、平衡探测器、数字示波器和计算机等。本发明利用一马赫‑曾德干涉结构的扫频光学相干层析成像系统来采集干涉光谱信号，通过希尔伯特变换来获得相位分布；通过探测样品引起的相位变化、和利用本发明提出的理论公式，来获得样品在宽光谱范围内的连续折射率谱分布；利用波长线性分布重采样矢量对样品引起的相位变化进行重采样，来获取随波长线性分布的折射率谱。本发明的原理简单、和系统具有小型化潜能，使其有可能成为折射率测量的有用工具、并适用于一些特殊场合。
一种基于相位探测光学材料折射率测量系统方法

[发明专利]一种酸性磷酸酶光纤生物传感器及制备方法与应用-CN202110399943.6有效
发明人：王维;李泽森;洪美静;蔡洁旋;关柏鸥 -专利权人：暨南大学
申请日： 2021-04-14 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01N21/45 文献下载
摘要：本发明属于生物检测技术领域，具体公开了一种酸性磷酸酶光纤生物传感器及制备方法与应用。一种酸性磷酸酶光纤生物传感器的制备方法，(1)将微纳光纤干涉仪浸泡在食人鱼溶液中，活化微纳光纤干涉仪表面的羟基；(2)将含有酸性磷酸酶底物的溶液和阳离子聚电解质溶液混合形成离子交联化合物悬浮液；(3)将表面带有活化羟基的微纳光纤干涉仪浸泡于悬浮液，在微纳光纤表面形成被酸性磷酸酶特异性水解的酸性磷酸酶敏感膜，得到酸性磷酸酶光纤生物传感器。本发明的光纤生物传感器，与传统的电化学传感器相比，具有抗电磁干扰、耐腐蚀性的优势，可以应用于酸性磷酸酶在体实时监测。该检测过程不仅对检测样品免标记，且同时具有简便、快速等优点。
一种酸性磷酸酶光纤生物传感器制备方法应用