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- [发明专利]一种基于激光诱发原位化学反应的表面改性装置-CN200610011701.0无效
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金永吉;邵天敏
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清华大学
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2006-03-31
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2006-10-11
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C23C8/06
- 一种基于激光诱发原位化学反应的表面改性装置，属于激光表面加工装置技术领域。激光束经反光镜反射后通过真空室面板上的石英窗被聚焦到真空室内的样品台上；运动控制装置固定在底座上带动样品台实现二维运动，样品台中埋有电阻丝；样品台上方有两块极板；真空室面板上安装有针阀，真空室通过气管与气瓶相连；插板阀的下方依次连接有分子泵、电磁隔断阀和机械泵，整个表面改性装置底座固定在机架上。本发明提供真空或纯气体环境，利用激光对基体的局部区域进行作用，辅以预加热和辉光放电，气体与基体材料发生化学反应，为激光在材料表面进行激光诱发原位化学反应提供了条件。本发明应用于电子制造、航空、汽车等行业的材料表面改性中。
- 一种基于激光诱发原位化学反应表面改性装置
- [实用新型]化学热处理滴量仪-CN91221257.8无效
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朱积民
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朱积民
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1991-12-05
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1992-11-18
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C23C8/06
- 一种化学热处理滴量仪，由柜身、液阀、走时机构、电气板、液剂箱、调零杆、表壳、流量杆、滴光板、过滤器、电源插座构成，走时机构、电气板、滴光板、表壳构成测量记录系统，液阀、液剂箱、调零杆、流量杆、过滤器构成流量控制系统，油管连接大管下端，大管侧壁开有小孔具有滴量控制准确、滴速和流量均能控制、自动记录、自动显数、自动报警、使用寿命长的积极效果，是保证化学热处理工艺高质量的新型可靠设备。
- 化学热处理量仪
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